N'ime usoro mkpuchi oghere siri ike,ịdị ọcha nke ụlọNa-ekpebi kpọmkwem nrụgide ntọala, ịdị ọcha nke ihe nkiri ahụ, njikọta, na arụmọrụ kachasị elu nke ngwaahịa ahụ. Nhicha kwa ụbọchị ezughi oke iji wepụ ihe ndị na-adịghị mma siri ike nke a na-agbakọta ka oge na-aga. Ya mere, nhicha miri emi oge niile bụ usoro dị mkpa maka ịnọgide na-enwe ọkwa mmepụta dị elu. Isiokwu a na-akọwa usoro ọkachamara na ihe ndị dị mkpa maka nhicha miri emi nke ụlọ ikuku.
I. Nkwadebe na Usoro Nchekwa Tupu Nhicha
Ikuku na Ikewapụ Sistemụ: Hụ na usoro niile ezuola ma weghachite ọnụ ụlọ ahụ na nrụgide ikuku. Mee usoro mkpọchi-Tagout zuru oke iji kewapụ isi iyi ike niile (voltaji dị elu, RF, ihe na-ekpo ọkụ), ihe na-enye gas, na eriri mmiri, na-ekwe nkwa nchekwa ọrụ.
Mwepụ na Mpaghara Akụkụ: Kpochapụ ihe niile dị n'ime nke a na-ewepụ ewepụ, dị ka ihe njide substrate, shutters, evaporation boats, arc cathodes, baffles, na isi sensọ nke quartz crystal micro monitors. Nke a na-ekewa ụlọ ahụ ụzọ abụọ bụ isi ebe nhicha: "isi ahụ" na "ihe ndị mejupụtara ya," na-eme ka nhicha ahụ dịkwuo mma.
Nnyocha Mmetọ: Mee nyocha mbụ nke ụdị mmetọ, nke gụnyere:
Ihe fọdụrụnụ e ji polymer mee: Ntụpụ mmiri sitere na isi iyi PVD ma ọ bụ ihe na-ekupụ mmiri.
Mkpuchi Na-adịghị n'ime Ahụ: Ihe mkpuchi dị gịrịgịrị nke a na-etinye n'ebe ndị na-abụghị ihe e ji kpuchie elu ụlọ (dịka ọmụmaatụ, mgbidi ụlọ).
Ihe fọdụrụ na mmanụ mgbapụta ikuku: Mmetọ hydrocarbon n'ihi nsogbu nke mgbapụta mmiri ma ọ bụ mmebi nke mgbapụta mmiri.
Ihe Ndị Na-emerụ Ahụ: Uzuzu, eriri, ma ọ bụ ihe nkiri ndị a gbajiri agbaji.
II. Ụzọ nhicha na nhọrọ usoro
A ga-ahọrọ ụzọ nhicha kwesịrị ekwesị dabere na ihe ndị na-emerụ ahụ kpọmkwem, na-agbaso usoro site na nhicha anụ ahụ ruo na kemịkalụ.
Ụzọ Nhicha Anụ Ahụ
Ịgbawa Akọrọ/Mgbawa Anụ: Ọ na-eji ihe dị nro, nke na-anaghị arụ ọrụ nke ọma (dịka ọmụmaatụ, alumina, sodium bicarbonate) na nrụgide a na-achịkwa iji metụta mgbidi ụlọ na mkpuchi dị arọ. Ọ na-ewepụ ihe ndị siri ike na ihe ndị na-emerụ ahụ nke ọma, na-emepụta elu matte otu.
Ihe nhicha na-enweghị lint na ihe mgbaze dị elu: Maka nnukwu ebe nwere mmetọ nkịtị, jiri ihe nhicha na-anaghị akpa ákwà (dịka ọmụmaatụ, polyester ma ọ bụ ákwà na-enweghị lint) nke e tinyere mmiri mmiri dị oke ọcha (dịka ọmụmaatụ, Isopropyl Alcohol, Acetone, ma ọ bụ VOC pụrụ iche). Hichaa ya n'ụzọ otu ụzọ iji zere mmetọ.
Ụzọ Nhicha Kemịkalụ
Nhicha ihe mgbaze: Enwere ike iji ihe mgbaze pụrụ iche dozie mmanụ na ụfọdụ polima maka imikpu ma ọ bụ ihicha ya. Iwepụ ihe mgbaze ahụ kpamkpam bụ iwu mgbe e hichara ya iji gbochie ya ịghọ ebe mmetọ ọhụrụ ma gbochie ya ịnweta ikuku.
Ịmịpụta na Ịmịpụta Kemịkalụ: Tinye ihe ndị e wepụrụ n'ime ihe mkpuchi e ji aka kpuchie ma ọ bụ ihe ngwọta acidic/alkaline (dịka ọmụmaatụ, nitric acid, sodium hydroxide) iji gbazee ihe mkpuchi na oxides na-adịghị n'ime ahụ. Jiri nlezianya chịkwaa njupụta, okpomọkụ, na oge imikpu iji zere ire ere. Jiri mmiri deionized na nkụ ngwa ngwa sachaa ya nke ọma.
Mmelite Elu na Passivation
Maka ụlọ igwe anaghị agba nchara, enwere ike itinye ọgwụgwọ passivation mgbe emechara nhicha miri emi iji mepụta akwa nchekwa chrom oxide dị oke njọ, na-eme ka iguzogide corrosion dịkwuo elu ma na-ebelata ọnụego mfu gas.
III. Ọgwụgwọ na nkwenye mgbe nhichachara
Nhicha Ultrasonic: Maka ihe ndị nwere geometry dị mgbagwoju anya, nhicha ultrasonic na-eji cavitation ewepụ ihe ndị dị n'okpuru micron nke ọma site na obere pores na oghere.
Ịkpọcha: A ga-eji nitrogen ma ọ bụ ikuku na-enweghị mmanụ kpọọ nkụ, kpọọ nkụ ma tinye ya ozugbo n'ime oven maka ime achịcha na okpomọkụ kwesịrị ekwesị (dịka ọmụmaatụ, 80-120°C) iji wepụ mmiri mmiri a mịkọrọ nke ọma.
Ịhazi na Ịlele Ntapụ Mmiri: Tinyeghachi ihe niile kpọrọ nkụ na ndị dị ọcha n'ime ụlọ ahụ. Tupu ị gbapụ mmiri, jiri nitrogen dị ọcha sachaa ụlọ ahụ obere oge. Malite sistemụ mgbapụta ahụ ma mee nyocha mmiri siri ike n'oge oghere ikuku siri ike iji hụ na ọ dịghị mmiri na-agbapụta n'elu ihe mkpuchi na njikọ flange niile.
Nnwale Arụmọrụ: Mee usoro mgbapụta ọkọlọtọ, na-edekọ nrụgide na oge site na oghere siri ike ruo na oghere dị elu, ma jiri ya tụnyere data tupu nhicha. Nrụgide ntọala kachasị elu na nkwụsi ike ya bụ ihe ndị kacha mkpa iji chọpụta irè nhicha. Enwere ike ịme ihe nkwụnye oghere (na-enweghị substrates) na-agba ọsọ, wee soro ya nyochaa site na iji QCM ma ọ bụ ngwa nyocha elu maka mwepụta gas ọ bụla na-adịghị mma ma ọ bụ ihe ruru unyi.
Mmechi
Ịsacha ụlọ ikuku dị ọcha nke ọma bụ ọrụ injinia nhazi na nhazi, ọ bụghị naanị ọrụ nhicha. Ọ chọrọ ka ndị ọrụ nwee nghọta miri emi banyere usoro mmetọ, ndakọrịta ihe, na nkọwapụta usoro. Site n'ịhazi na ịgbaso usoro nhicha miri emi a na-ahazi nke ọma, enwere ike ibelata ọnụego ntụpọ na mmepụta nke ukwuu, mee ka arụmọrụ dị gịrịgịrị dịkwuo mma, ma gbasaa ndụ ọrụ akụrụngwa, si otú a hụ na usoro ahụ dị elu ma nwee ntụkwasị obi na ngwaahịa n'ahịa asọmpi.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya ngwa mkpuchi magnetron sputteringtonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Ọktoba-31-2025