Nínú àwọn ilana ìbòrí afẹ́fẹ́ tó ń béèrè,ìmọ́tótó yàrátaara ni o n pinnu titẹ ipilẹ, mimọ fiimu, lilẹmọ, ati iṣẹ ṣiṣe ọja to ga julọ. Mimọ ojoojumọ lojoojumọ ko to lati yọ awọn idoti lile ti o kojọ lori akoko kuro. Nitorinaa, mimọ jinjin lẹẹkọọkan jẹ ilana pataki fun mimu awọn ipele iṣelọpọ giga. Nkan yii ṣe alaye ni eto lori awọn ilana ọjọgbọn ati awọn ero pataki fun mimọ jinjin ti awọn yara fifẹ.
I. Ìmúrasílẹ̀ àti Ààbò Ṣáájú Ìmọ́tótó
Ìfẹ́ẹ́fẹ́ Ẹ̀rọ àti Ìyàsọ́tọ̀ Agbára: Rí i dájú pé gbogbo ìyípo iṣẹ́ náà parí àti pé yàrá náà padà sí ìfúnpá afẹ́fẹ́. Ṣe ìlànà Títìpa-Àmì-ìdámọ̀ pátápátá láti ya gbogbo orísun agbára (fóltéèjì gíga, RF, àwọn ohun èlò ìgbóná), àwọn ohun èlò gáàsì, àti àwọn ọ̀nà omi sọ́tọ̀, èyí tí ó ń fúnni ní ìdánilójú ààbò iṣẹ́.
Yíyọ àti Ìpínyà Àwọn Ẹ̀yà Ara: Tú gbogbo àwọn ẹ̀ya inú tí a lè yọ kúrò, bí àwọn ohun tí a fi so substrate holders, shutters, evaporation boats, arc cathodes, baffles, àti sensor heads ti quartz crystal micro monitors. Èyí pín yàrá náà sí àwọn agbègbè ìwẹ̀nùmọ́ pàtàkì méjì: “ara àkọ́kọ́” àti “àwọn ẹ̀ya,” èyí tí ó ń mú kí ìwẹ̀nùmọ́ túbọ̀ pé.
Àyẹ̀wò Àkóràn: Ṣe àyẹ̀wò àkọ́kọ́ ti àwọn irú àkóràn, tí ó sábà máa ń ní:
Àwọn Àṣẹ́kù tí a ti fi polymer ṣe: Fọ́ láti orísun PVD tàbí àwọn èéfín.
Àwọn Àwọ̀ Tí Kò Ní Ẹ̀yà Ara: Àwọn fíìmù fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ tí a gbé sórí àwọn ibi tí kò ní ìsàlẹ̀ (fún àpẹẹrẹ, àwọn ògiri yàrá).
Àwọn Ohun Tí Ó ṣẹ́kù Pọ́ọ̀pù Pọ́ọ̀pù: Ìbàjẹ́ Hydrocarbon nítorí ìṣiṣẹ́ padà tàbí ìkùnà pọ́ọ̀pù.
Àwọn Ẹ̀gbin Pátákì: Eruku, okùn, tàbí àwọn pátákì fíìmù tí a ti fọ́.
II. Àwọn Ọ̀nà Ìmọ́tótó àti Yíyan Àwọn Ìlànà
A gbọ́dọ̀ yan àwọn ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ tó yẹ ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ohun ìbàjẹ́ pàtó, tí ó sábà máa ń tẹ̀lé ìtẹ̀léra láti ìwẹ̀nùmọ́ ti ara sí ti kẹ́míkà.
Àwọn Ọ̀nà Ìmọ́tótó Ti ara
Gbẹ Gbigbọn / Gbigbọn Bead: Ó ń lo àwọn ohun èlò kéékèèké tí kò ní agbára ìṣiṣẹ́ (fún àpẹẹrẹ, alumina, sodium bicarbonate) ní ìfúnpá tí a ṣàkóso láti kọlu àwọn ògiri yàrá àti àwọn ìbòrí tí ó wúwo. Ó ń mú àwọn nódù tí ó le koko àti àwọn ohun tí ó nípọn kúrò dáadáa, ó sì ń ṣẹ̀dá ojú tí ó jẹ́ matte kan náà.
Àwọn ìwẹ̀nùmọ́ tí kò ní ìdọ̀tí àti àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ gíga: Fún àwọn agbègbè ńlá tí ó ní ìdọ̀tí gbogbogbòò, lo àwọn ìwẹ̀nùmọ́ tí kò ní ìhun (fún àpẹẹrẹ, polyester tàbí aṣọ tí kò ní ìdọ̀tí) tí a fi àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ gíga (fún àpẹẹrẹ, Isopropyl Alcohol, Acetone, tàbí VOCs pàtàkì) nu ní ọ̀nà kan ṣoṣo láti yẹra fún àtúnṣe.
Àwọn Ọ̀nà Ìmọ́tótó Kẹ́míkà
Ìmọ́tótó Olóró: A lè lo àwọn epo tí a fẹ́ lò àti àwọn polima kan láti fi rì sínú omi tàbí láti fi nu omi. Yíyọ olóró náà kúrò pátápátá jẹ́ dandan lẹ́yìn ìwẹ̀nùmọ́ láti dènà kí ó má baà di orísun ìbàjẹ́ tuntun àti láti dí ìpele afẹ́fẹ́ lọ́wọ́.
Fífún àti Fífún Kẹ́míkà: Fi àwọn èròjà tí a yọ kúrò sínú àwọn ohun èlò ìbòrí tí a yà sọ́tọ̀ tàbí omi acid/alkaline (fún àpẹẹrẹ, nitric acid, sodium hydroxide) láti yọ́ àwọn ohun èlò tí kò ní ẹ̀dá alààyè àti oxides. Ṣàkóso ìfọkànsí, ìwọ̀n otútù, àti àkókò ìrìmọ́lẹ̀ láti yẹra fún ìbàjẹ́ substrate. Tẹ̀lé e pẹ̀lú omi tí a ti yọ ion kúrò àti gbígbẹ kíákíá.
Ìmúṣiṣẹ́ ojú ilẹ̀ àti Passivation
Fún àwọn yàrá irin alagbara, a lè lo ìtọ́jú passivation lẹ́yìn ìwẹ̀nùmọ́ jíjinlẹ̀ láti ṣẹ̀dá fẹlẹfẹlẹ ààbò chrom oxide dídín, èyí tí ó ń mú kí ìdènà ipata pọ̀ sí i àti dín ìwọ̀n ìjákulẹ̀ tí ń jáde kúrò.
III. Ìtọ́jú àti Ìfìdí múlẹ̀ lẹ́yìn ìwẹ̀nùmọ́
Ìmọ́tótó Ultrasonic: Fún àwọn èròjà tí ó ní àwọn geometry dídíjú, ìmọ́tótó ultrasonic ń lo cavitation láti mú àwọn èròjà sub-micron kúrò nínú àwọn micropores àti àwọn àlàfo.
Gbígbẹ: Gbogbo àwọn ohun èlò tí a ti fọ̀ mọ́ gbọ́dọ̀ gbẹ nípa lílo nitrogen gbígbẹ tàbí afẹ́fẹ́ tí kò ní epo, kí a sì gbé wọn sínú ààrò lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ fún yíyan ní iwọ̀n otútù tó yẹ (fún àpẹẹrẹ, 80-120°C) láti mú ọrinrin tí ó ti wọ inú rẹ̀ kúrò pátápátá.
Àtúntò àti Ṣíṣàyẹ̀wò Jíjó: Tún fi gbogbo àwọn ohun èlò gbígbẹ àti mímọ́ sínú yàrá náà padà. Kí o tó fa omi sínú rẹ̀, fi nitrogen tó mọ́ tónítóní fọ yàrá náà fún ìgbà díẹ̀. Bẹ̀rẹ̀ ètò fífún omi náà kí o sì ṣe àyẹ̀wò jíjó tó lágbára ní ìpele gbígbẹ láti rí i dájú pé kò sí jíjó ní gbogbo àwọn ibi ìdìbò àti àwọn ìsopọ̀ flange.
Ìdánilójú Iṣẹ́: Ṣe ìyípo fifa omi tí ó wọ́pọ̀, kí o máa ṣe àkọsílẹ̀ ìfúnpá àti àkókò láti ìgbà tí ó le koko sí ìgbà tí ó ga, kí o sì fi wéra pẹ̀lú àwọn ìwífún ṣáájú ìfọmọ́. Ìfúnpá ìpìlẹ̀ tí ó ga jùlọ àti ìdúróṣinṣin rẹ̀ ni àwọn ìwọ̀n pàtàkì jùlọ fún ṣíṣe ìdájọ́ bí ó ṣe yẹ kí a fọ mọ́. A lè ṣe ìṣiṣẹ́ ìpamọ́ òfo (láìsí àwọn ohun èlò ìṣàyẹ̀wò) lẹ́yìn náà, lẹ́yìn náà a lè ṣe àkíyèsí pẹ̀lú QCM tàbí àwọn ohun èlò ìwádìí ojú ilẹ̀ fún èyíkéyìí ìtújáde outgas tí kò dára tàbí ìtújáde èérí.
Ìparí
Ìmọ́tótó yàrá ìfọṣọ jẹ́ iṣẹ́-ọnà onípele-ẹ̀rọ, iṣẹ́-ọnà tí ó péye, kìí ṣe iṣẹ́ ìmọ́tótó lásán. Ó nílò kí àwọn olùṣiṣẹ́ ní òye jíjinlẹ̀ nípa àwọn ẹ̀rọ ìbàjẹ́, ìbáramu ohun èlò, àti àwọn ìlànà iṣẹ́. Nípa ṣíṣe àgbékalẹ̀ àti títẹ̀lé ìlànà ìmọ́tótó jíjin tí a gbé kalẹ̀ dáadáa, ìwọ̀n àbùkù nínú iṣẹ́ ṣíṣe lè dínkù gidigidi, a lè mú kí iṣẹ́ àtúnṣe fíìmù tín-tín pọ̀ sí i, àti pé iṣẹ́ ẹ̀rọ lè pẹ́ sí i, èyí yóò sì mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà ga sí i, èyí yóò sì mú kí iṣẹ́ náà dára sí i àti pé ọjà náà lè gbẹ́kẹ̀lé ní ọjà ìdíje.
—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ awọn ẹrọ ti a fi bo magnetron sputteringtolupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-31-2025