Вакуумдық жабу процестерін талап ететін жағдайларда,камераның тазалығынегізгі қысымды, пленканың тазалығын, адгезиясын және өнімнің соңғы өнімділігін тікелей анықтайды. Күнделікті тазалау уақыт өте келе жиналған қиын ластаушы заттарды кетіру үшін жеткіліксіз. Осылайша, мерзімді терең тазалау жоғары өндіріс стандарттарын сақтаудың ажырамас процедурасы болып табылады. Бұл мақалада вакуумдық камераларды терең тазалаудың кәсіби процедуралары мен негізгі мәселелері жүйелі түрде егжей-тегжейлі қарастырылады.
I. Алдын ала тазалауға дайындық және қауіпсіздік хаттамалары
Жүйе желдеткіші және қуатты оқшаулау: Барлық технологиялық циклдардың аяқталғанына және камераның атмосфералық қысымға оралғанына көз жеткізіңіз. Жұмыс қауіпсіздігін қамтамасыз ететін барлық қуат көздерін (жоғары кернеу, радиожиілік, жылытқыштар), газбен жабдықтауды және су құбырларын оқшаулау үшін толық құлыптау-белгілеу процедурасын енгізіңіз.
Компоненттерді алып тастау және аймақтарға бөлу: Кварц кристалды микромониторлардың негізгі ұстағыштары, жапқыштар, булану қайықтары, доғалық катодтар, бөгеттер және сенсорлық бастары сияқты барлық алынбалы ішкі компоненттерді бөлшектеу. Бұл камераны екі негізгі тазалау аймағына бөледі: «негізгі корпус» және «компоненттер», бұл мұқият тазалауды жеңілдетеді.
Ластаушы заттарды талдау: Ластаушы заттардың түрлерін алдын ала бағалауды жүргізіңіз, әдетте мыналарды қамтиды:
Полимерленген қалдықтар: PVD көздерінен немесе буландырғыштардан шашыраңқы.
Бейорганикалық жабындар: Негіз емес аймақтарға (мысалы, камера қабырғаларына) жиналған жұқа қабықшалар.
Вакуумдық сорғы майының қалдықтары: кері ағын немесе сорғының істен шығуына байланысты көмірсутектердің ластануы.
Бөлшектелген ластаушы заттар: Шаң, талшықтар немесе қабыршақтанған үлдір бөлшектері.
II. Тазалау әдістері және процесті таңдау
Тиісті тазалау әдістері нақты ластаушы заттарға негізделіп таңдалуы керек, әдетте физикалық тазалаудан химиялық тазалауға дейінгі кезектілікті сақтай отырып.
Физикалық тазалау әдістері
Құрғақ үрлеу / Моншақпен үрлеу: Камера қабырғалары мен ауыр жабындарға әсер ету үшін бақыланатын қысымда жұқа, химиялық инертті ортаны (мысалы, алюминий оксиді, натрий гидрокарбонаты) пайдаланады. Біркелкі күңгірт бетті жасай отырып, қатты түйіндер мен қалың ластаушы заттарды тиімді түрде кетіреді.
Мамықсыз сүрткіштер және жоғары тазалықтағы еріткіштер: Жалпы ластануы бар үлкен аумақтар үшін жоғары тазалықтағы еріткіштермен (мысалы, изопропил спирті, ацетон немесе арнайы ұшқыш органикалық қосылыстар) суланған тоқыма емес сүрткіштерді (мысалы, полиэстер немесе мамықсыз шүберектер) пайдаланыңыз. Қайта ластануды болдырмау үшін бір бағытта сүртіңіз.
Химиялық тазалау әдістері
Еріткішпен тазалау: Мақсатты майлар мен белгілі бір полимерлерді батыру немесе сүрту үшін арнайы еріткіштерді қолдану арқылы шешуге болады. Тазалаудан кейін еріткіштің жаңа ластану көзіне айналуына және вакуумға жетуге кедергі келтіруіне жол бермеу үшін оны толығымен алып тастау міндетті.
Химиялық жібіту және тазарту: Бейорганикалық жабындар мен оксидтерді еріту үшін алынған компоненттерді арнайы жабын тазартқыштарға немесе қышқыл/сілтілік ерітінділерге (мысалы, азот қышқылы, натрий гидроксиді) батырыңыз. Негіздің коррозиясын болдырмау үшін концентрацияны, температураны және батыру уақытын қатаң бақылаңыз. Содан кейін деионданған сумен мұқият шайып, тез кептіріңіз.
Беттік активация және пассивация
Тот баспайтын болаттан жасалған камералар үшін терең тазалаудан кейін тығыз хром оксиді қорғаныс қабатын қалыптастыру үшін пассивациялық өңдеу қолданылуы мүмкін, бұл коррозияға төзімділікті арттырады және газдың шығу жылдамдығын азайтады.
III. Тазалаудан кейінгі өңдеу және тексеру
Ультрадыбыстық тазалау: Күрделі геометриялары бар компоненттер үшін ультрадыбыстық тазалау микрокеуектер мен саңылаулардан субмикронды бөлшектерді тиімді түрде кетіру үшін кавитацияны пайдаланады.
Кептіру: Барлық тазартылған компоненттер майсыз, құрғақ азот немесе ауамен кептіріліп, сіңірілген ылғалды толығымен кетіру үшін дереу пешке тиісті температурада (мысалы, 80-120°C) пісіруге қойылуы керек.
Қайта құрастыру және ағып кетуді тексеру: Барлық құрғақ және таза компоненттерді камераға қайта орнатыңыз. Сорғыны сорып алмас бұрын, камераны жоғары тазалықтағы азотпен қысқа уақытқа тазалаңыз. Сорғы жүйесін іске қосып, тығыздағыш беттер мен фланец қосылыстарында ағып кетулердің жоқтығына көз жеткізу үшін кедір-бұдыр вакуум сатысында кедір-бұдыр ағып кетуді тексеруді жүргізіңіз.
Өнімділікті тексеру: Стандартты сорғылау циклін жүргізіңіз, қысым мен уақыт қисығын кедір-бұдырдан жоғары вакуумға дейін жазып алыңыз және оны алдын ала тазалау деректерімен салыстырыңыз. Негізгі қысымның шекті мәні және оның тұрақтылығы тазалау тиімділігін бағалау үшін ең маңызды көрсеткіштер болып табылады. Бос тұндыру процесін (негіздерсіз) орындауға болады, содан кейін кез келген қалыптан тыс газдану немесе ластаушы заттардың шығарылуын QCM немесе беттік талдау құралдарымен бақылауға болады.
Қорытынды
Вакуумдық камераны терең тазалау - бұл тек тазалау жұмысы емес, жүйелі, дәл инженерлік міндет. Ол операторлардан ластану механизмдерін, материалдың үйлесімділігін және процестің сипаттамаларын терең түсінуді талап етеді. Стандартталған терең тазалау хаттамасын белгілеу және оны қатаң сақтау арқылы өндірістегі ақаулар деңгейін айтарлықтай азайтуға, жұқа қабықшаның қайталануын жақсартуға және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзартуға болады, осылайша бәсекеге қабілетті нарықта процестің артықшылығы мен өнімнің сенімділігін қамтамасыз етуге болады.
— Бұл мақаланы жариялаған магнетронды шашырату жабыны жабдықтарыtөндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 31 қазан