Hauv cov txheej txheem txheej txheem nqus tsev uas nyuaj heev,kev huv ntawm chav tsevncaj qha txiav txim siab qhov siab ntawm lub hauv paus, qhov huv ntawm zaj duab xis, kev nplaum, thiab kev ua tau zoo ntawm cov khoom kawg. Kev ntxuav txhua hnub tsis txaus los tshem tawm cov khoom tsis huv uas tau sib sau ua ke dhau sijhawm. Yog li, kev ntxuav tob tob tsis tu ncua yog ib qho txheej txheem tseem ceeb rau kev tswj hwm cov qauv tsim khoom siab. Tsab xov xwm no piav qhia txog cov txheej txheem kev tshaj lij thiab cov kev xav tseem ceeb rau kev ntxuav tob ntawm cov chaw nqus tsev.
I. Kev Npaj Ua Ntej Ntxuav thiab Cov Txheej Txheem Kev Nyab Xeeb
Kev Ua Pa Tawm thiab Kev Cais Fais Fab: Xyuas kom meej tias txhua lub voj voog ua tiav thiab lub chamber rov qab mus rau qhov siab ntawm huab cua. Siv cov txheej txheem Lockout-Tagout tag nrho los cais txhua qhov chaw fais fab (high voltage, RF, cua sov), cov khoom siv roj, thiab cov kav dej, lav kev nyab xeeb hauv kev ua haujlwm.
Kev Tshem Tawm thiab Kev Faib Cheeb Tsam: Tshem tawm tag nrho cov khoom sab hauv uas tshem tau, xws li cov khoom tuav substrate, cov shutters, cov evaporation boats, arc cathodes, baffles, thiab cov taub hau sensor ntawm cov quartz crystal micro monitors. Qhov no faib lub chamber ua ob qhov chaw ntxuav tseem ceeb: "lub cev tseem ceeb" thiab "cov khoom," ua rau kev ntxuav huv dua.
Kev Tshuaj Xyuas Txog Cov Khoom Uas Muaj Tshuaj Lom: Ua qhov kev ntsuam xyuas ua ntej ntawm cov hom khoom uas muaj tshuaj lom, feem ntau suav nrog:
Cov Khoom seem polymerized: Cov dej ntws los ntawm PVD qhov chaw lossis cov evaporants.
Cov Txheej Txheem Inorganic: Cov zaj duab xis nyias nyias uas tso rau ntawm cov cheeb tsam uas tsis yog substrate (piv txwv li, phab ntsa chamber).
Cov Roj Twj Tso Kua Mis: Cov pa phem ntawm Hydrocarbon vim yog rov qab ntws lossis lub twj tso kua mis tsis ua haujlwm.
Cov Khoom Uas Muaj Cov Khoom Me Me: Cov hmoov av, cov fibers, lossis cov khoom me me uas tawg lawm.
II. Cov Txheej Txheem Ntxuav thiab Kev Xaiv Cov Txheej Txheem
Yuav tsum xaiv cov kev ntxuav kom zoo raws li cov kuab paug tshwj xeeb, feem ntau ua raws li cov txheej txheem los ntawm kev ntxuav lub cev mus rau kev ntxuav tshuaj.
Cov Txheej Txheem Ntxuav Lub Cev
Kev Tua Qhuav / Kev Tua Hlua: Siv cov khoom me me, tsis muaj tshuaj lom neeg (piv txwv li, alumina, sodium bicarbonate) ntawm qhov siab tswj tau los cuam tshuam rau phab ntsa chav thiab cov txheej txheej hnyav. Tshem tawm cov pob tawv ncauj thiab cov khoom qias neeg tuab, tsim kom muaj qhov chaw matte zoo ib yam.
Cov So Uas Tsis Muaj Plaub Thiab Cov Tshuaj Uas Muaj Qhov Huv Si: Rau cov chaw loj uas muaj kev paug qias neeg dav dav, siv cov so uas tsis yog ntaub (piv txwv li, polyester lossis cov ntaub uas tsis muaj plaub) uas ntub nrog cov tshuaj uas muaj qhov huv si (piv txwv li, Isopropyl Alcohol, Acetone, lossis VOCs tshwj xeeb). So rau hauv ib txoj kev kom tsis txhob muaj kev paug qias neeg dua.
Cov Txheej Txheem Ntxuav Tshuaj
Kev Ntxuav Cov Tshuaj Uas Muaj Cov Tshuaj Lom: Cov roj uas raug tsom thiab qee cov polymers tuaj yeem daws tau los ntawm kev siv cov tshuaj lom tshwj xeeb rau kev muab tso rau hauv dej lossis so. Kev tshem tawm tag nrho cov tshuaj lom yog qhov yuav tsum tau ua tom qab ntxuav kom tiv thaiv nws kom tsis txhob ua rau muaj kuab paug tshiab thiab cuam tshuam kev nkag mus rau hauv lub tshuab nqus tsev.
Kev Nqus Tshuaj thiab Kev Tshem Tawm: Muab cov khoom uas raug tshem tawm tso rau hauv cov tshuaj tshem tawm tshwj xeeb lossis cov kua qaub / alkaline (piv txwv li, nitric acid, sodium hydroxide) kom yaj cov txheej inorganic thiab oxides. Tswj kev sib xyaw, qhov kub, thiab lub sijhawm raus kom tsis txhob muaj kev xeb ntawm cov khoom siv. Ua raws li kev yaug kom huv si siv dej deionized thiab ziab sai.
Kev Ua Kom Nto thiab Kev Ua Kom Passivation
Rau cov chav hlau tsis xeb, kev kho mob passivation yuav siv tau tom qab ntxuav tob kom tsim tau ib txheej tiv thaiv chrom oxide ntom ntom, txhim kho kev tiv thaiv corrosion thiab txo cov pa tawm.
III. Kev Kho Mob Tom Qab Ntxuav Thiab Kev Txheeb Xyuas
Kev Ntxuav Ultrasonic: Rau cov khoom uas muaj cov qauv geometries nyuaj, kev ntxuav ultrasonic siv cavitation kom tshem tawm cov khoom me me ntawm micron los ntawm micropores thiab crevices.
Kev Ziab: Txhua yam khoom uas tau ntxuav lawm yuav tsum tau ziab siv cov roj tsis muaj roj, cov nitrogen qhuav lossis cua thiab muab tso rau hauv qhov cub kom ci ntawm qhov kub thiab txias (piv txwv li, 80-120°C) kom tshem tawm cov dej noo uas nqus tau tag.
Rov sib dhos thiab kuaj xyuas qhov xau: Rov muab tag nrho cov khoom qhuav thiab huv rov qab rau hauv lub chamber. Ua ntej twj tso kua mis, ntxuav lub chamber nrog cov nitrogen uas muaj purity siab. Pib lub tshuab twj tso kua mis thiab ua qhov kuaj xyuas qhov xau ntawm theem nqus tsev kom paub tseeb tias tsis muaj qhov xau ntawm txhua qhov chaw kaw thiab cov kev sib txuas flange.
Kev Txheeb Xyuas Kev Ua Haujlwm: Ua ib lub voj voog twj tso kua mis, sau cov kab siab piv rau lub sijhawm los ntawm qhov tsis huv mus rau qhov siab, thiab piv rau cov ntaub ntawv ua ntej ntxuav. Lub zog siab kawg thiab nws qhov ruaj khov yog cov ntsuas tseem ceeb tshaj plaws rau kev txiav txim siab qhov ua tau zoo ntawm kev ntxuav. Kev khiav dej dawb (tsis muaj cov khoom siv) tuaj yeem ua tau, ua raws li kev saib xyuas nrog QCM lossis cov cuab yeej tshuaj xyuas qhov chaw rau txhua qhov kev tawm pa tawm tsis zoo lossis kev tso tawm cov pa phem.
Xaus lus
Kev ntxuav lub tshuab nqus tsev kom huv si yog ib txoj haujlwm tsim kho kom raug thiab meej, tsis yog tsuas yog ib txoj haujlwm ntxuav xwb. Nws yuav tsum kom cov neeg ua haujlwm nkag siab zoo txog cov txheej txheem ua kom muaj kuab paug, kev sib haum xeeb ntawm cov khoom siv, thiab cov txheej txheem ua haujlwm. Los ntawm kev tsim thiab ua raws li cov txheej txheem ntxuav kom huv si, cov nqi tsis zoo hauv kev tsim khoom tuaj yeem txo qis, kev ua haujlwm rov ua dua ntawm cov zaj duab xis nyias tuaj yeem txhim kho, thiab lub neej ua haujlwm ntawm cov khoom siv ntev dua, yog li ua kom ntseeg tau tias cov txheej txheem zoo dua thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom hauv kev lag luam sib tw.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm Cov khoom siv magnetron sputtering txheejtChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Hli-31-2025