I bpróisis sciath folúis éilitheacha,glantacht an tseomraCinneann sé go díreach an brú bonn, íonacht an scannáin, greamaitheacht, agus feidhmíocht deiridh an táirge. Ní leor glanadh laethúil rialta chun truailleáin righne atá carntha le himeacht ama a bhaint. Dá bhrí sin, is nós imeachta fíor-riachtanach é glanadh domhain tréimhsiúil chun ardchaighdeáin táirgthe a choinneáil. Déanann an t-alt seo cur síos córasach ar na nósanna imeachta gairmiúla agus na príomhbhreithnithe maidir le glanadh domhain seomraí folúis.
I. Ullmhúchán Réamhghlantacháin agus Prótacail Sábháilteachta
Aeráil an Chórais agus Leithlisiú Cumhachta: Cinntigh go bhfuil na timthriallta próisis uile críochnaithe agus go bhfuil an seomra ar ais go brú atmaisféarach. Cuir nós imeachta iomlán Glasála-Clibeála i bhfeidhm chun na foinsí cumhachta uile (ardvoltas, RF, téitheoirí), soláthairtí gáis, agus línte uisce a leithlisiú, rud a ráthaíonn sábháilteacht oibríochtúil.
Baint agus Criosú Comhpháirteanna: Díchóimeáil na comhpháirteanna inmheánacha inbhainte go léir, amhail sealbhóirí foshraithe, comhlaí, báid galúcháin, catóidí stua, baiflí, agus cinn braiteoirí micrea-mhonatóirí criostail grianchloiche. Roinneann sé seo an seomra ina dhá phríomhlimistéar glantacháin: an "príomhchorp" agus na "comhpháirteanna", rud a éascaíonn glanadh níos críochnúla.
Anailís ar Thruailleáin: Déan measúnú réamhchéime ar chineálacha truailleán, lena n-áirítear go coitianta:
Iarmhair Pholaiméirithe: Splatter ó fhoinsí PVD nó galaitheoirí.
Bratuithe Neamhorgánacha: Scannáin thanaí a thaisctear ar limistéir nach foshraith iad (m.sh., ballaí seomra).
Iarmhair Ola Caidéil Folúis: Éilliú hidreacarbóin mar gheall ar shruthú siar nó teipeanna caidéil.
Truailleáin cháithníneacha: Deannach, snáithíní, nó cáithníní scannáin scoilte.
II. Modhanna Glantacháin agus Roghnú Próisis
Ní mór modhanna glantacháin iomchuí a roghnú bunaithe ar na truailleáin shonracha, agus de ghnáth leanann siad seicheamh ó ghlanadh fisiceach go glanadh ceimiceach.
Modhanna Glantacháin Fhisiciúla
Pléascadh Tirim / Pléascadh Coirníní: Úsáideann sé meáin mhíne, támha ó thaobh ceimice de (m.sh., alúmana, décharbónáit sóidiam) ag brú rialaithe chun tionchar a imirt ar bhallaí an tseomra agus ar sciatha troma. Baintear nóidíní righne agus truailleáin thiubha go héifeachtach, rud a chruthaíonn dromchla neamhlonrach aonfhoirmeach.
Cuimleoirí Saor ó Lint agus Tuaslagóirí Ard-Íonachta: I gcás limistéir mhóra a bhfuil éilliú ginearálta iontu, bain úsáid as cuimleoirí neamhfhite (m.sh., poileistear nó éadaí saor ó lint) atá taisithe le tuaslagóirí ard-íonachta (m.sh., Alcól Isopropil, Aicéatón, nó VOCanna speisialaithe). Cuimil ar bhealach aontreoch chun ath-éilliú a sheachaint.
Modhanna Glantacháin Cheimiceacha
Glanadh le Tuaslagóirí: Is féidir aghaidh a thabhairt ar olaí spriocdhírithe agus ar pholaiméirí áirithe trí úsáid a bhaint as tuaslagóirí sonracha le haghaidh tumoideachais nó glanadh. Tá sé éigeantach an tuaslagóir a bhaint go hiomlán i ndiaidh an ghlantacháin chun cosc a chur air a bheith ina fhoinse éillithe nua agus bac a chur ar bhaint amach folúis.
Sáithiú agus Stripping Ceimiceach: Tum na comhpháirteanna a baineadh i stríocóirí sciath tiomnaithe nó i dtuaslagáin aigéadacha/alcaileacha (m.sh., aigéad nítreach, hiodrocsaíd sóidiam) chun sciatháin agus ocsaídí neamhorgánacha a thuaslagadh. Rialú dian a dhéanamh ar an tiúchan, an teocht agus an t-am tumoideachais chun creimeadh an tsubstráit a sheachaint. Sruthlaigh go críochnúil ina dhiaidh sin ag baint úsáide as uisce dí-ianaithe agus triomú tapa.
Gníomhachtú agus Pasiviú Dromchla
I gcás seomraí cruach dhosmálta, féadfar cóireáil pasivithe a chur i bhfeidhm tar éis glanadh domhain chun ciseal cosanta dlúth cróimiam-ocsaíd a fhoirmiú, rud a fheabhsaíonn friotaíocht creimeadh agus a laghdaíonn rátaí sceite gásála.
III. Cóireáil agus Fíorú Iar-Ghlantacháin
Glanadh Ultrafhuaime: I gcás comhpháirteanna a bhfuil geoiméadrachtaí casta acu, úsáideann glanadh ultrafhuaime cavitation chun cáithníní fo-mhicron a bhaint go héifeachtach as micreapóir agus scoilteanna.
Triomú: Ní mór na comhpháirteanna glanta go léir a thriomú ag baint úsáide as nítrigin tirim, saor ó ola nó aer agus iad a chur láithreach in oigheann le haghaidh bácála ag teocht oiriúnach (m.sh., 80-120°C) chun an taise ionsúite a bhaint go hiomlán.
Aththionól agus Seiceáil Sceitheadh: Athshuiteáil na comhpháirteanna tirime agus glana ar ais sa seomra. Sula ndéantar an pumpáil síos, déan an seomra a ghlanadh go hachomair le nítrigin ardíonachta. Tosaigh an córas pumpála agus déan seiceáil gharbh sceite ag céim an fholúis gharbh chun a chinntiú nach bhfuil aon sceitheanna ag gach dromchla séalaithe agus naisc flanse.
Fíorú Feidhmíochta: Déan timthriall caighdeánach pumpála síos, ag taifeadadh an cuar brú i gcoinne ama ó fholús garbh go folús ard, agus déan comparáid idir é agus sonraí réamhghlantacháin. Is iad an brú bonn deiridh agus a chobhsaíocht na méadrachtaí is tábhachtaí chun éifeachtacht an ghlantacháin a mheas. Is féidir rith taiscthe bán (gan foshraitheanna) a dhéanamh, agus ina dhiaidh sin monatóireacht a dhéanamh le QCM nó le hionstraimí anailíse dromchla le haghaidh aon as-ghásáil neamhghnácha nó scaoileadh truailleáin.
Conclúid
Is tasc innealtóireachta cruinne córasach é glanadh domhain seomra folúis, ní hamháin gur tasc glantacháin é. Éilíonn sé ar oibreoirí tuiscint dhomhain a bheith acu ar mheicníochtaí éillithe, comhoiriúnacht ábhar, agus sonraíochtaí próisis. Trí phrótacal caighdeánaithe glantacháin dhomhain a bhunú agus cloí go docht leis, is féidir rátaí lochtanna sa táirgeadh a laghdú go suntasach, feidhmíocht in-athdhéantacht scannáin thanaí a fheabhsú, agus saol seirbhíse trealaimh a shíneadh, rud a chinntíonn barr feabhais próisis agus iontaofacht táirgí i margadh iomaíoch.
—Foilsíodh an t-alt seo ag trealamh sciath sputtering maighnéadróntmonaróir Zhenhua Vacuum
Am an phoist: 31 Deireadh Fómhair 2025