Ann am pròiseasan còmhdach falamh dùbhlanach,glanadh an t-seòmaira’ dearbhadh gu dìreach cuideam a’ bhunait, purrachd an fhilm, greamachadh, agus coileanadh an toraidh mu dheireadh. Chan eil glanadh làitheil cunbhalach gu leòr airson truailleadh stòlda a thoirt air falbh a tha air cruinneachadh thar ùine. Mar sin, tha glanadh domhainn bho àm gu àm na dhòigh-obrach riatanach airson ìrean àrda cinneasachaidh a chumail suas. Tha an artaigil seo a’ mìneachadh gu siostamach na modhan-obrach proifeasanta agus na prìomh bheachdachaidhean airson glanadh domhainn seòmraichean falamh.
I. Ullachadh Ro-ghlanadh agus Pròtacalan Sàbhailteachd
Fionnarachadh Siostaim agus Dealachadh Cumhachd: Dèan cinnteach gu bheil a h-uile cearcall pròiseas deiseil agus gu bheil an seòmar air a thilleadh gu cuideam àile. Cuir modh-obrach làn Glasadh-Tag a-mach an gnìomh gus a h-uile stòr cumhachd (bholtaids àrd, RF, teasadairean), solar gas, agus loidhnichean uisge a sgaradh, a’ gealltainn sàbhailteachd obrachaidh.
Toirt air falbh Pàirtean agus Roinneadh: Sgaoil na pàirtean a-staigh a ghabhas toirt air falbh, leithid luchd-gleidhidh fo-strat, còmhlachan, bàtaichean falmhachaidh, catodan bogha, baffles, agus cinn mothachaidh micro-sgrùdairean criostail grianchloch. Tha seo a’ roinn an t-seòmair ann an dà phrìomh raon glanaidh: am “prìomh bhodhaig” agus na “co-phàirtean”, a’ comasachadh glanadh nas mionaidiche.
Mion-sgrùdadh Thruailleadh: Dèan measadh tòiseachaidh air seòrsachan thruailleadh, mar as trice a’ gabhail a-steach:
Fuigheallan Poileimearaichte: Splatter bho thùsan PVD no evaporators.
Còmhdaichean Neo-organach: Filmichean tana air an tasgadh air raointean nach eil nan t-substrate (me, ballachan seòmar).
Fuigheall Ola Pumpa Falmhachaidh: Truailleadh haidreacarbon mar thoradh air ais-shruthadh no fàilligidhean pumpa.
Truailleadh mìrean: Duslach, snàithleanan, no mìrean film air an sgoltadh dheth.
II. Modhan Glanaidh agus Taghadh Pròiseas
Feumar dòighean glanaidh iomchaidh a thaghadh a rèir nan truailleadh sònraichte, mar as trice a’ leantainn sreath bho ghlanadh corporra gu glanadh ceimigeach.
Modhan Glanadh Corporra
Spreadhadh Tioram / Spreadhadh Grìogagan: A’ cleachdadh meadhanan mìn, neo-ghnìomhach gu ceimigeach (me, alumina, sodium bicarbonate) aig cuideam fo smachd gus buaidh a thoirt air ballachan an t-seòmair agus còtaichean troma. A’ toirt air falbh nodalan stòlda agus truailleadh tiugh gu h-èifeachdach, a’ cruthachadh uachdar neo-shoilleir èideadh.
Clòitean gun lint agus fuasglaidhean àrd-ghlan: Airson raointean mòra le truailleadh coitcheann, cleachd clòitean neo-fhighte (me, polyester no clòitean gun lint) air an taiseachadh le fuasglaidhean àrd-ghlan (me, deoch-làidir isopropyl, acetone, no VOCan sònraichte). Sguab ann an dòigh aon-shligheach gus ath-thruailleadh a sheachnadh.
Modhan Glanaidh Ceimigeach
Glanadh le Fuasglaidhean: Faodar dèiligeadh ri olan sònraichte agus poileimeirean sònraichte le bhith a’ cleachdadh fuasglaidhean sònraichte airson bogadh no sguabadh. Tha e riatanach an fhuasglaidhean a thoirt air falbh gu tur às dèidh glanadh gus casg a chuir air bho bhith na thùs truailleadh ùr agus a’ cur bacadh air coileanadh falamh.
Bogadh is Stialladh Ceimigeach: Bog na pàirtean a chaidh a thoirt air falbh ann an stiallairean còtaichean sònraichte no ann am fuasglaidhean searbhagach/alcaileach (me, searbhag nitric, sodium hydroxide) gus còtaichean neo-organach agus ocsaidean a sgaoileadh. Cùm smachd teann air dùmhlachd, teòthachd, agus ùine bogadh gus casg a chuir air creimeadh an t-substrate. Lean le sruthladh mionaideach le uisge dì-ionichte agus tiormachadh luath.
Gnìomhachadh Uachdar agus Passivation
Airson seòmraichean stàilinn gun smal, faodar làimhseachadh fulangachaidh a chur an sàs an dèidh glanadh domhainn gus còmhdach dìon cròm ogsaid dùmhail a chruthachadh, a’ neartachadh strì an aghaidh creimeadh agus a’ lughdachadh ìrean sgaoilidh gas.
III. Làimhseachadh agus Dearbhadh às dèidh Glanadh
Glanadh Ultrasonach: Airson co-phàirtean le geoimeatraidh iom-fhillte, bidh glanadh ultrasonach a’ cleachdadh cavitation gus mìrean fo-micron a thoirt air falbh gu h-èifeachdach bho mhicropores agus sgoltaidhean.
Tiormachadh: Feumar a h-uile pàirt a chaidh a ghlanadh a thiormachadh le bhith a’ cleachdadh naitridean no èadhar tioram gun ola agus an cur sa bhad ann an àmhainn airson bèicearachd aig teòthachd iomchaidh (me, 80-120°C) gus taiseachd a tha air a ghabhail a-steach a thoirt air falbh gu tur.
Ath-chruinneachadh agus Sgrùdadh Aodion: Ath-stàlaich na pàirtean tioram is glan uile air ais dhan t-seòmar. Mus tèid a phumpadh sìos, glan an seòmar goirid le naitridean àrd-ghlanachd. Tòisich an siostam pumpaidh agus dèan sgrùdadh garbh air aodion aig ìre falamh garbh gus dèanamh cinnteach nach eil aodion sam bith aig uachdaran seulachaidh agus ceanglaichean flange.
Dearbhadh Coileanaidh: Dèan cearcall pumpaidh-sìos àbhaisteach, a’ clàradh a’ chuarb cuideam an aghaidh ùine bho fhalamh garbh gu falamh àrd, agus dèan coimeas eadar e agus dàta ro-ghlanadh. Is e a’ chuideam bunaiteach mu dheireadh agus a sheasmhachd na meatairean as cudromaiche airson èifeachdas glanaidh a mheasadh. Faodar ruith tasgadh bàn (gun bhun-stuthan) a dhèanamh, agus an uairsin sgrùdadh le QCM no ionnstramaidean mion-sgrùdaidh uachdar airson sgaoileadh neo-àbhaisteach sam bith de ghasadh no sgaoileadh truailleadh.
Co-dhùnadh
Tha glanadh domhainn seòmar falamh na obair innleadaireachd shiostamach, mionaideach, chan e dìreach obair glanaidh a th’ ann. Feumaidh luchd-obrachaidh tuigse dhomhainn a bhith aca air dòighean-obrach truailleadh, co-chòrdalachd stuthan, agus sònrachaidhean pròiseas. Le bhith a’ stèidheachadh agus a’ cumail gu teann ri protocol glanadh domhainn àbhaisteach, faodar ìrean lochdan ann an cinneasachadh a lùghdachadh gu mòr, ath-aithris coileanadh film tana a leasachadh, agus beatha seirbheis uidheamachd a leudachadh, agus mar sin a’ dèanamh cinnteach à sàr-mhathas pròiseas agus earbsachd toraidh ann am margaidh farpaiseach.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach sputtering magnetrontneach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 31 Dàmhair 2025