મુશ્કેલ વેક્યુમ કોટિંગ પ્રક્રિયાઓમાં,ચેમ્બર સ્વચ્છતાબેઝ પ્રેશર, ફિલ્મ શુદ્ધતા, સંલગ્નતા અને અંતિમ ઉત્પાદન પ્રદર્શન સીધા નક્કી કરે છે. સમય જતાં સંચિત હઠીલા દૂષકોને દૂર કરવા માટે નિયમિત દૈનિક સફાઈ અપૂરતી છે. આમ, ઉચ્ચ ઉત્પાદન ધોરણો જાળવવા માટે સમયાંતરે ઊંડા સફાઈ એક અનિવાર્ય પ્રક્રિયા છે. આ લેખ વેક્યુમ ચેમ્બરની ઊંડા સફાઈ માટે વ્યાવસાયિક પ્રક્રિયાઓ અને મુખ્ય વિચારણાઓ પર વ્યવસ્થિત રીતે વિગતવાર વર્ણન કરે છે.
I. પૂર્વ-સફાઈ તૈયારી અને સલામતી પ્રોટોકોલ
સિસ્ટમ વેન્ટિંગ અને પાવર આઇસોલેશન: ખાતરી કરો કે બધા પ્રક્રિયા ચક્ર પૂર્ણ થાય છે અને ચેમ્બર વાતાવરણીય દબાણમાં પાછું આવે છે. ઓપરેશનલ સલામતીની ખાતરી આપતા, બધા પાવર સ્ત્રોતો (ઉચ્ચ વોલ્ટેજ, RF, હીટર), ગેસ સપ્લાય અને પાણીની લાઇનોને અલગ કરવા માટે સંપૂર્ણ લોકઆઉટ-ટેગઆઉટ પ્રક્રિયા લાગુ કરો.
ઘટકો દૂર કરવા અને ઝોનિંગ: બધા દૂર કરી શકાય તેવા આંતરિક ઘટકો, જેમ કે સબસ્ટ્રેટ હોલ્ડર્સ, શટર, બાષ્પીભવન બોટ, આર્ક કેથોડ્સ, બેફલ્સ અને ક્વાર્ટઝ ક્રિસ્ટલ માઇક્રો મોનિટરના સેન્સર હેડ, કાઢી નાખો. આ ચેમ્બરને બે મુખ્ય સફાઈ ક્ષેત્રોમાં વિભાજીત કરે છે: "મુખ્ય બોડી" અને "ઘટક", જે વધુ સંપૂર્ણ સફાઈને સરળ બનાવે છે.
દૂષકોનું વિશ્લેષણ: દૂષકોના પ્રકારોનું પ્રારંભિક મૂલ્યાંકન કરો, જેમાં સામાન્ય રીતે શામેલ છે:
પોલિમરાઇઝ્ડ અવશેષો: પીવીડી સ્ત્રોતો અથવા બાષ્પીભવન કરનારાઓમાંથી છાંટા.
અકાર્બનિક આવરણ: બિન-સબસ્ટ્રેટ વિસ્તારો (દા.ત., ચેમ્બર દિવાલો) પર પાતળી આવરણ જમા થાય છે.
વેક્યુમ પંપ તેલના અવશેષો: બેકસ્ટ્રીમિંગ અથવા પંપ નિષ્ફળતાને કારણે હાઇડ્રોકાર્બન દૂષણ.
રજકણ દૂષકો: ધૂળ, રેસા, અથવા છાલવાળા ફિલ્મ કણો.
II. સફાઈ પદ્ધતિઓ અને પ્રક્રિયા પસંદગી
ચોક્કસ દૂષકોના આધારે યોગ્ય સફાઈ પદ્ધતિઓ પસંદ કરવી જોઈએ, સામાન્ય રીતે ભૌતિકથી રાસાયણિક સફાઈ સુધીના ક્રમને અનુસરીને.
શારીરિક સફાઈ પદ્ધતિઓ
ડ્રાય બ્લાસ્ટિંગ / બીડ બ્લાસ્ટિંગ: ચેમ્બરની દિવાલો અને ભારે કોટિંગ્સને અસર કરવા માટે નિયંત્રિત દબાણ પર બારીક, રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય માધ્યમો (દા.ત., એલ્યુમિના, સોડિયમ બાયકાર્બોનેટ) નો ઉપયોગ કરે છે. હઠીલા ગાંઠો અને જાડા દૂષકોને અસરકારક રીતે દૂર કરે છે, એક સમાન મેટ સપાટી બનાવે છે.
લિન્ટ-ફ્રી વાઇપર્સ અને ઉચ્ચ-શુદ્ધતા દ્રાવકો: સામાન્ય દૂષણવાળા મોટા વિસ્તારો માટે, ઉચ્ચ-શુદ્ધતા દ્રાવકો (દા.ત., આઇસોપ્રોપીલ આલ્કોહોલ, એસિટોન, અથવા વિશિષ્ટ VOCs) થી ભેજવાળા બિન-વણાયેલા વાઇપર્સ (દા.ત., પોલિએસ્ટર અથવા લિન્ટ-ફ્રી કાપડ) નો ઉપયોગ કરો. ફરીથી દૂષણ ટાળવા માટે એકતરફી રીતે સાફ કરો.
રાસાયણિક સફાઈ પદ્ધતિઓ
દ્રાવક સફાઈ: લક્ષિત તેલ અને ચોક્કસ પોલિમરને નિમજ્જન અથવા સાફ કરવા માટે ચોક્કસ દ્રાવકોનો ઉપયોગ કરીને સંબોધિત કરી શકાય છે. સફાઈ પછી દ્રાવકને સંપૂર્ણપણે દૂર કરવું ફરજિયાત છે જેથી તે દૂષણનો નવો સ્ત્રોત ન બને અને શૂન્યાવકાશ પ્રાપ્તિમાં અવરોધ ન આવે.
રાસાયણિક રીતે પલાળીને અને ઉતારીને: અકાર્બનિક આવરણ અને ઓક્સાઇડને ઓગાળવા માટે દૂર કરેલા ઘટકોને સમર્પિત કોટિંગ સ્ટ્રિપર્સ અથવા એસિડિક/આલ્કલાઇન દ્રાવણ (દા.ત., નાઈટ્રિક એસિડ, સોડિયમ હાઇડ્રોક્સાઇડ) માં બોળીને રાખો. સબસ્ટ્રેટના કાટને ટાળવા માટે સાંદ્રતા, તાપમાન અને નિમજ્જનના સમયને સખત રીતે નિયંત્રિત કરો. ડીઆયોનાઇઝ્ડ પાણી અને ઝડપી સૂકવણીનો ઉપયોગ કરીને સંપૂર્ણ કોગળા કરો.
સપાટી સક્રિયકરણ અને નિષ્ક્રિયતા
સ્ટેનલેસ સ્ટીલ ચેમ્બર માટે, ગાઢ ક્રોમ ઓક્સાઇડ રક્ષણાત્મક સ્તર બનાવવા માટે ઊંડા સફાઈ પછી પેસિવેશન ટ્રીટમેન્ટ લાગુ કરી શકાય છે, જે કાટ પ્રતિકાર વધારે છે અને આઉટગેસિંગ દર ઘટાડે છે.
III. સફાઈ પછીની સારવાર અને ચકાસણી
અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ: જટિલ ભૂમિતિવાળા ઘટકો માટે, અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ માઇક્રોપોર્સ અને તિરાડોમાંથી સબ-માઇક્રોન કણોને અસરકારક રીતે દૂર કરવા માટે પોલાણનો ઉપયોગ કરે છે.
સૂકવણી: બધા સાફ કરેલા ઘટકોને તેલ-મુક્ત, સૂકા નાઇટ્રોજન અથવા હવાનો ઉપયોગ કરીને સૂકવવા જોઈએ અને તરત જ યોગ્ય તાપમાને (દા.ત., 80-120°C) પકવવા માટે ઓવનમાં મૂકવા જોઈએ જેથી શોષિત ભેજ સંપૂર્ણપણે દૂર થાય.
ફરીથી એસેમ્બલી અને લીક ચેકિંગ: બધા સૂકા અને સ્વચ્છ ઘટકોને ચેમ્બરમાં પાછા ઇન્સ્ટોલ કરો. પમ્પિંગ કરતા પહેલા, ચેમ્બરને થોડા સમય માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા નાઇટ્રોજનથી સાફ કરો. પમ્પિંગ સિસ્ટમ શરૂ કરો અને રફ વેક્યુમ સ્ટેજ પર બરછટ લીક ચેક કરો જેથી ખાતરી થાય કે બધી સીલિંગ સપાટીઓ અને ફ્લેંજ કનેક્શન્સ પર કોઈ લીક નથી.
કામગીરી ચકાસણી: એક પ્રમાણભૂત પંપ-ડાઉન ચક્ર ચલાવો, રફથી હાઇ વેક્યુમ સુધીના દબાણ વિરુદ્ધ સમય વળાંક રેકોર્ડ કરો, અને તેની સરખામણી પૂર્વ-સફાઈ ડેટા સાથે કરો. સફાઈ અસરકારકતાનું મૂલ્યાંકન કરવા માટે અંતિમ આધાર દબાણ અને તેની સ્થિરતા સૌથી મહત્વપૂર્ણ માપદંડ છે. ખાલી ડિપોઝિશન રન (સબસ્ટ્રેટ વિના) કરી શકાય છે, ત્યારબાદ કોઈપણ અસામાન્ય આઉટગેસિંગ અથવા દૂષક પ્રકાશન માટે QCM અથવા સપાટી વિશ્લેષણ સાધનો સાથે દેખરેખ રાખી શકાય છે.
નિષ્કર્ષ
વેક્યુમ ચેમ્બરની ઊંડા સફાઈ એ એક વ્યવસ્થિત, ચોકસાઇવાળા એન્જિનિયરિંગ કાર્ય છે, ફક્ત સફાઈનું કામ નથી. તેના માટે ઓપરેટરોને દૂષણ પદ્ધતિઓ, સામગ્રી સુસંગતતા અને પ્રક્રિયા સ્પષ્ટીકરણોની ઊંડી સમજ હોવી જરૂરી છે. પ્રમાણિત ઊંડા સફાઈ પ્રોટોકોલ સ્થાપિત કરીને અને તેનું કડક પાલન કરીને, ઉત્પાદનમાં ખામી દર નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડી શકાય છે, પાતળા-ફિલ્મ પ્રદર્શન પુનરાવર્તિતતા વધારી શકાય છે, અને સાધનોની સેવા જીવન લંબાવી શકાય છે, જેનાથી સ્પર્ધાત્મક બજારમાં પ્રક્રિયા શ્રેષ્ઠતા અને ઉત્પાદન વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત થાય છે.
—આ લેખ પ્રકાશિત થયો હતો મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ સાધનોtઉત્પાદક ઝેન્હુઆ વેક્યુમ
પોસ્ટ સમય: ઓક્ટોબર-૩૧-૨૦૨૫