Dalam proses salutan vakum yang mencabar,kebersihan ruangTekanan asas, ketulenan filem, lekatan dan prestasi produk muktamad secara langsung menentukan. Pembersihan harian rutin tidak mencukupi untuk membuang bahan cemar degil yang terkumpul dari semasa ke semasa. Oleh itu, pembersihan mendalam berkala merupakan prosedur yang sangat diperlukan untuk mengekalkan piawaian pengeluaran yang tinggi. Artikel ini menghuraikan secara sistematik tentang prosedur profesional dan pertimbangan utama untuk pembersihan mendalam ruang vakum.
I. Persediaan Pra-Pembersihan dan Protokol Keselamatan
Pengudaraan Sistem dan Pengasingan Kuasa: Pastikan semua kitaran proses selesai dan ruang dikembalikan kepada tekanan atmosfera. Laksanakan prosedur Lockout-Tagout penuh untuk mengasingkan semua sumber kuasa (voltan tinggi, RF, pemanas), bekalan gas dan saluran air, bagi menjamin keselamatan operasi.
Penyingkiran dan Pengezonan Komponen: Tanggalkan semua komponen dalaman yang boleh ditanggalkan, seperti pemegang substrat, pengatup, bot penyejatan, katod arka, sesekat dan kepala sensor monitor mikro kristal kuarza. Ini membahagikan ruang kepada dua kawasan pembersihan utama: "badan utama" dan "komponen", memudahkan pembersihan yang lebih teliti.
Analisis Bahan Pencemar: Jalankan penilaian awal terhadap jenis bahan pencemar, biasanya termasuk:
Sisa Terpolimer: Percikan daripada sumber PVD atau penyejat.
Salutan Bukan Organik: Filem nipis yang termendap pada kawasan bukan substrat (contohnya, dinding ruang).
Sisa Minyak Pam Vakum: Pencemaran hidrokarbon akibat pengaliran balik atau kegagalan pam.
Bahan Pencemar Zarah: Habuk, gentian atau zarah filem yang terkelupas.
II. Kaedah Pembersihan dan Pemilihan Proses
Kaedah pembersihan yang sesuai mesti dipilih berdasarkan bahan cemar tertentu, biasanya mengikut urutan daripada pembersihan fizikal kepada kimia.
Kaedah Pembersihan Fizikal
Letupan Kering / Letupan Manik: Menggunakan media halus dan lengai secara kimia (contohnya, alumina, natrium bikarbonat) pada tekanan terkawal untuk memberi impak kepada dinding ruang dan salutan tebal. Berkesan menanggalkan nodul degil dan bahan cemar tebal, menghasilkan permukaan kusam yang seragam.
Pengelap Bebas Habuk dan Pelarut Ketulenan Tinggi: Untuk kawasan luas yang mempunyai pencemaran umum, gunakan pengelap bukan tenunan (cth., poliester atau kain bebas habuk) yang dilembapkan dengan pelarut ketulenan tinggi (cth., Alkohol Isopropil, Aseton atau VOC khusus). Lap dengan cara sehala untuk mengelakkan pencemaran semula.
Kaedah Pembersihan Kimia
Pembersihan Pelarut: Minyak yang disasarkan dan polimer tertentu boleh ditangani menggunakan pelarut khusus untuk rendaman atau pengelapan. Penyingkiran pelarut sepenuhnya adalah wajib selepas pembersihan untuk mengelakkannya daripada menjadi sumber pencemaran baharu dan menghalang pencapaian vakum.
Perendaman dan Pelucutan Kimia: Rendam komponen yang telah ditanggalkan dalam penyalut khusus atau larutan berasid/alkali (contohnya, asid nitrik, natrium hidroksida) untuk melarutkan salutan dan oksida bukan organik. Kawal kepekatan, suhu dan masa rendaman dengan ketat untuk mengelakkan kakisan substrat. Ikuti dengan bilasan menyeluruh menggunakan air ternyahion dan pengeringan pantas.
Pengaktifan dan Pasivasi Permukaan
Bagi ruang keluli tahan karat, rawatan pasivasi boleh digunakan selepas pembersihan mendalam untuk membentuk lapisan pelindung krom oksida yang padat, meningkatkan rintangan kakisan dan mengurangkan kadar pengeluaran gas.
III. Rawatan dan Pengesahan Pasca Pembersihan
Pembersihan Ultrasonik: Bagi komponen dengan geometri kompleks, pembersihan ultrasonik menggunakan peronggaan untuk menanggalkan zarah sub-mikron daripada mikropori dan rekahan dengan berkesan.
Pengeringan: Semua komponen yang dibersihkan mesti dikeringkan menggunakan nitrogen kering atau udara bebas minyak dan segera dimasukkan ke dalam ketuhar untuk dibakar pada suhu yang sesuai (cth., 80-120°C) untuk menyingkirkan kelembapan yang terserap dengan teliti.
Pemasangan Semula dan Pemeriksaan Kebocoran: Pasang semula semua komponen kering dan bersih ke dalam ruang. Sebelum mengepam, bersihkan ruang secara ringkas dengan nitrogen berketulenan tinggi. Mulakan sistem pengepaman dan lakukan pemeriksaan kebocoran kasar pada peringkat vakum kasar untuk memastikan tiada kebocoran pada semua permukaan pengedap dan sambungan bebibir.
Pengesahan Prestasi: Jalankan kitaran pam-turun standard, merekodkan lengkung tekanan vs. masa dari vakum kasar hingga vakum tinggi, dan bandingkannya dengan data pra-pembersihan. Tekanan asas muktamad dan kestabilannya adalah metrik paling kritikal untuk menilai keberkesanan pembersihan. Larian pemendapan kosong (tanpa substrat) boleh dilakukan, diikuti dengan pemantauan dengan QCM atau instrumen analisis permukaan untuk sebarang pengeluaran gas yang tidak normal atau pembebasan bahan cemar.
Kesimpulan
Pembersihan mendalam ruang vakum merupakan tugas kejuruteraan yang sistematik dan tepat, bukan sekadar kerja pembersihan. Ia memerlukan pengendali mempunyai pemahaman yang mendalam tentang mekanisme pencemaran, keserasian bahan dan spesifikasi proses. Dengan mewujudkan dan mematuhi protokol pembersihan mendalam yang piawai, kadar kecacatan dalam pengeluaran dapat dikurangkan dengan ketara, kebolehulangan prestasi filem nipis dapat ditingkatkan dan jangka hayat peralatan dapat dilanjutkan, sekali gus memastikan keunggulan proses dan kebolehpercayaan produk dalam pasaran yang kompetitif.
—Artikel ini diterbitkan oleh peralatan salutan percikan magnetrontpengeluar Vakum Zhenhua
Masa siaran: 31 Okt-2025