വാക്വം ചേമ്പറുകളുടെ ആഴത്തിലുള്ള വൃത്തിയാക്കൽ: പ്രക്രിയ സ്ഥിരതയുടെയും നേർത്ത ഫിലിം ഗുണനിലവാരത്തിന്റെയും മൂലക്കല്ല്

ആവശ്യക്കാരുള്ള വാക്വം കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ,ചേംബർ ശുചിത്വംഅടിസ്ഥാന മർദ്ദം, ഫിലിം പ്യൂരിറ്റി, അഡീഷൻ, ആത്യന്തിക ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനം എന്നിവ നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു. കാലക്രമേണ അടിഞ്ഞുകൂടിയ ദുർഗന്ധം നീക്കം ചെയ്യാൻ പതിവ് ദൈനംദിന വൃത്തിയാക്കൽ പര്യാപ്തമല്ല. അതിനാൽ, ഉയർന്ന ഉൽ‌പാദന നിലവാരം നിലനിർത്തുന്നതിന് ആനുകാലിക ആഴത്തിലുള്ള വൃത്തിയാക്കൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഒരു നടപടിക്രമമാണ്. വാക്വം ചേമ്പറുകളുടെ ആഴത്തിലുള്ള വൃത്തിയാക്കലിനുള്ള പ്രൊഫഷണൽ നടപടിക്രമങ്ങളും പ്രധാന പരിഗണനകളും ഈ ലേഖനം വ്യവസ്ഥാപിതമായി വിശദീകരിക്കുന്നു.

I. വൃത്തിയാക്കുന്നതിനു മുമ്പുള്ള തയ്യാറെടുപ്പും സുരക്ഷാ പ്രോട്ടോക്കോളുകളും

സിസ്റ്റം വെന്റിംഗും പവർ ഐസൊലേഷനും: എല്ലാ പ്രോസസ് സൈക്കിളുകളും പൂർത്തിയായെന്നും ചേമ്പർ അന്തരീക്ഷമർദ്ദത്തിലേക്ക് തിരികെ എത്തിയെന്നും ഉറപ്പാക്കുക. എല്ലാ പവർ സ്രോതസ്സുകളും (ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ്, ആർഎഫ്, ഹീറ്ററുകൾ), ഗ്യാസ് സപ്ലൈകൾ, വാട്ടർ ലൈനുകൾ എന്നിവ ഒറ്റപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഒരു പൂർണ്ണ ലോക്കൗട്ട്-ടാഗൗട്ട് നടപടിക്രമം നടപ്പിലാക്കുക, ഇത് പ്രവർത്തന സുരക്ഷ ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഘടകങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യലും സോണിംഗും: സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഹോൾഡറുകൾ, ഷട്ടറുകൾ, ബാഷ്പീകരണ ബോട്ടുകൾ, ആർക്ക് കാഥോഡുകൾ, ബാഫിളുകൾ, ക്വാർട്സ് ക്രിസ്റ്റൽ മൈക്രോ മോണിറ്ററുകളുടെ സെൻസർ ഹെഡുകൾ തുടങ്ങിയ നീക്കം ചെയ്യാവുന്ന എല്ലാ ആന്തരിക ഘടകങ്ങളും പൊളിക്കുക. ഇത് ചേമ്പറിനെ രണ്ട് പ്രധാന ക്ലീനിംഗ് ഏരിയകളായി വിഭജിക്കുന്നു: "മെയിൻ ബോഡി", "ഘടകങ്ങൾ", കൂടുതൽ സമഗ്രമായ വൃത്തിയാക്കൽ സാധ്യമാക്കുന്നു.

മലിനീകരണ വിശകലനം: മലിനീകരണ തരങ്ങളുടെ പ്രാഥമിക വിലയിരുത്തൽ നടത്തുക, സാധാരണയായി ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

പോളിമറൈസ് ചെയ്ത അവശിഷ്ടങ്ങൾ: പിവിഡി സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്നോ ബാഷ്പീകരണ വസ്തുക്കളിൽ നിന്നോ ഉള്ള സ്പ്ലാറ്റർ.

അജൈവ കോട്ടിംഗുകൾ: അടിവസ്ത്രമല്ലാത്ത ഭാഗങ്ങളിൽ (ഉദാ. ചേമ്പർ ഭിത്തികൾ) അടിഞ്ഞുകൂടുന്ന നേർത്ത ഫിലിമുകൾ.

വാക്വം പമ്പ് ഓയിൽ അവശിഷ്ടങ്ങൾ: ബാക്ക്സ്ട്രീമിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ പമ്പ് പരാജയങ്ങൾ മൂലമുള്ള ഹൈഡ്രോകാർബൺ മലിനീകരണം.

കണിക മാലിന്യങ്ങൾ: പൊടി, നാരുകൾ, അല്ലെങ്കിൽ അടർന്നുപോയ ഫിലിം കണികകൾ.

II. ക്ലീനിംഗ് രീതികളും പ്രക്രിയ തിരഞ്ഞെടുപ്പും

ഭൗതിക ശുചീകരണം മുതൽ രാസ ശുചീകരണം വരെയുള്ള ക്രമത്തിൽ, നിർദ്ദിഷ്ട മലിനീകരണത്തെ അടിസ്ഥാനമാക്കി ഉചിതമായ ശുചീകരണ രീതികൾ തിരഞ്ഞെടുക്കണം.

ശാരീരിക ശുദ്ധീകരണ രീതികൾ

ഡ്രൈ ബ്ലാസ്റ്റിംഗ് / ബീഡ് ബ്ലാസ്റ്റിംഗ്: രാസപരമായി നിർജ്ജീവമായ സൂക്ഷ്മ മാധ്യമങ്ങൾ (ഉദാ: അലുമിന, സോഡിയം ബൈകാർബണേറ്റ്) നിയന്ത്രിത മർദ്ദത്തിൽ അറയുടെ ഭിത്തികളെയും കനത്ത കോട്ടിംഗുകളെയും ബാധിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. മുരടിച്ച മുഴകളും കട്ടിയുള്ള മാലിന്യങ്ങളും ഫലപ്രദമായി നീക്കം ചെയ്ത്, ഒരു ഏകീകൃത മാറ്റ് പ്രതലം സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

ലിന്റ്-ഫ്രീ വൈപ്പറുകളും ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ലായകങ്ങളും: പൊതുവായ മലിനീകരണമുള്ള വലിയ പ്രദേശങ്ങൾക്ക്, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ലായകങ്ങൾ (ഉദാ: ഐസോപ്രോപൈൽ ആൽക്കഹോൾ, അസെറ്റോൺ, അല്ലെങ്കിൽ പ്രത്യേക VOC-കൾ) ഉപയോഗിച്ച് നനച്ച നോൺ-നെയ്ത വൈപ്പറുകൾ (ഉദാ: പോളിസ്റ്റർ അല്ലെങ്കിൽ ലിന്റ്-ഫ്രീ തുണികൾ) ഉപയോഗിക്കുക. വീണ്ടും മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കാൻ ഏകദിശയിൽ തുടയ്ക്കുക.

കെമിക്കൽ ക്ലീനിംഗ് രീതികൾ

ലായക ശുചീകരണം: ലക്ഷ്യമാക്കിയ എണ്ണകളും ചില പോളിമറുകളും പ്രത്യേക ലായകങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് മുക്കിവയ്ക്കുന്നതിനോ തുടയ്ക്കുന്നതിനോ ഉപയോഗിക്കാം. പുതിയ മലിനീകരണ സ്രോതസ്സായി മാറുന്നതും വാക്വം നേട്ടത്തെ തടസ്സപ്പെടുത്തുന്നതും തടയാൻ ലായകം പൂർണ്ണമായി നീക്കം ചെയ്യേണ്ടത് വൃത്തിയാക്കിയ ശേഷം നിർബന്ധമാണ്.

കെമിക്കൽ സോക്കിംഗും സ്ട്രിപ്പിംഗും: അജൈവ കോട്ടിംഗുകളും ഓക്സൈഡുകളും ലയിപ്പിക്കുന്നതിന് നീക്കം ചെയ്ത ഘടകങ്ങൾ പ്രത്യേക കോട്ടിംഗ് സ്ട്രിപ്പറുകളിലോ അസിഡിക്/ക്ഷാര ലായനികളിലോ (ഉദാ: നൈട്രിക് ആസിഡ്, സോഡിയം ഹൈഡ്രോക്സൈഡ്) മുക്കുക. അടിവസ്ത്ര നാശം ഒഴിവാക്കാൻ സാന്ദ്രത, താപനില, നിമജ്ജന സമയം എന്നിവ കർശനമായി നിയന്ത്രിക്കുക. ഡീയോണൈസ് ചെയ്ത വെള്ളം ഉപയോഗിച്ച് നന്നായി കഴുകി വേഗത്തിൽ ഉണക്കുക.

ഉപരിതല സജീവമാക്കലും നിഷ്ക്രിയത്വവും

സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ചേമ്പറുകൾക്ക്, ആഴത്തിലുള്ള വൃത്തിയാക്കലിനുശേഷം ഒരു പാസിവേഷൻ ചികിത്സ പ്രയോഗിക്കാവുന്നതാണ്, ഇത് ഒരു സാന്ദ്രമായ ക്രോം ഓക്സൈഡ് സംരക്ഷണ പാളി രൂപപ്പെടുത്തുകയും, നാശന പ്രതിരോധം വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും വാതകങ്ങൾ പുറത്തുവിടാനുള്ള നിരക്ക് കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

III. വൃത്തിയാക്കലിനു ശേഷമുള്ള ചികിത്സയും പരിശോധനയും

അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്: സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികളുള്ള ഘടകങ്ങൾക്ക്, അൾട്രാസോണിക് ക്ലീനിംഗ്, മൈക്രോപോറുകളിൽ നിന്നും വിള്ളലുകളിൽ നിന്നും സബ്-മൈക്രോൺ കണികകളെ ഫലപ്രദമായി നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി കാവിറ്റേഷൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഉണക്കൽ: വൃത്തിയാക്കിയ എല്ലാ ഘടകങ്ങളും എണ്ണ രഹിതമായ, ഉണങ്ങിയ നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ വായു ഉപയോഗിച്ച് ഉണക്കണം, തുടർന്ന് ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെട്ട ഈർപ്പം നന്നായി നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി ഉചിതമായ താപനിലയിൽ (ഉദാ: 80-120°C) ബേക്കിംഗ് ചെയ്യുന്നതിനായി ഉടൻ തന്നെ ഒരു അടുപ്പിൽ വയ്ക്കണം.

വീണ്ടും കൂട്ടിച്ചേർക്കലും ചോർച്ച പരിശോധനയും: ഉണങ്ങിയതും വൃത്തിയുള്ളതുമായ എല്ലാ ഘടകങ്ങളും ചേമ്പറിലേക്ക് തിരികെ ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യുക. പമ്പ് ചെയ്യുന്നതിനുമുമ്പ്, ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള നൈട്രജൻ ഉപയോഗിച്ച് ചേമ്പർ ഹ്രസ്വമായി ശുദ്ധീകരിക്കുക. പമ്പിംഗ് സിസ്റ്റം ആരംഭിച്ച് റഫ് വാക്വം ഘട്ടത്തിൽ ഒരു കോർസ് ലീക്ക് പരിശോധന നടത്തി എല്ലാ സീലിംഗ് പ്രതലങ്ങളിലും ഫ്ലേഞ്ച് കണക്ഷനുകളിലും ചോർച്ചയില്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കുക.

പ്രകടന പരിശോധന: റഫ് മുതൽ ഹൈ വാക്വം വരെയുള്ള മർദ്ദവും സമയ വക്രവും രേഖപ്പെടുത്തിക്കൊണ്ട് ഒരു സ്റ്റാൻഡേർഡ് പമ്പ്-ഡൗൺ സൈക്കിൾ നടത്തുക, പ്രീ-ക്ലീനിംഗ് ഡാറ്റയുമായി താരതമ്യം ചെയ്യുക. ക്ലീനിംഗ് ഫലപ്രാപ്തി വിലയിരുത്തുന്നതിനുള്ള ഏറ്റവും നിർണായക അളവുകോലുകളാണ് ആത്യന്തിക അടിസ്ഥാന മർദ്ദവും അതിന്റെ സ്ഥിരതയും. ഒരു ബ്ലാങ്ക് ഡിപ്പോസിഷൻ റൺ (സബ്‌സ്ട്രേറ്റുകൾ ഇല്ലാതെ) നടത്താം, തുടർന്ന് അസാധാരണമായ ഏതെങ്കിലും വാതക പുറന്തള്ളൽ അല്ലെങ്കിൽ മലിനീകരണ പുറന്തള്ളൽ എന്നിവയ്ക്കായി ഒരു QCM അല്ലെങ്കിൽ ഉപരിതല വിശകലന ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് നിരീക്ഷിക്കാം.

തീരുമാനം

ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിന്റെ ആഴത്തിലുള്ള വൃത്തിയാക്കൽ ഒരു വ്യവസ്ഥാപിതവും കൃത്യവുമായ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ജോലിയാണ്, വെറുമൊരു ശുചീകരണ ജോലിയല്ല. മലിനീകരണ സംവിധാനങ്ങൾ, മെറ്റീരിയൽ അനുയോജ്യത, പ്രക്രിയാ സവിശേഷതകൾ എന്നിവയെക്കുറിച്ച് ഓപ്പറേറ്റർമാർക്ക് ആഴത്തിലുള്ള ധാരണ ഉണ്ടായിരിക്കേണ്ടത് ഇതിന് ആവശ്യമാണ്. ഒരു സ്റ്റാൻഡേർഡ് ഡീപ് ക്ലീനിംഗ് പ്രോട്ടോക്കോൾ സ്ഥാപിക്കുകയും കർശനമായി പാലിക്കുകയും ചെയ്യുന്നതിലൂടെ, ഉൽ‌പാദനത്തിലെ വൈകല്യ നിരക്കുകൾ ഗണ്യമായി കുറയ്ക്കാൻ കഴിയും, നേർത്ത ഫിലിം പ്രകടന ആവർത്തനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കാനും ഉപകരണങ്ങളുടെ സേവന ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും, അതുവഴി ഒരു മത്സര വിപണിയിൽ പ്രക്രിയയുടെ മികവും ഉൽപ്പന്ന വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

—ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾtനിർമ്മാതാവ് ഷെൻഹുവ വാക്വം