ଚାହିଦାପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ,ଚାମ୍ବର ସଫାସୁତୁରାସିଧାସଳଖ ମୂଳ ଚାପ, ଫିଲ୍ମ ଶୁଦ୍ଧତା, ଆବଦ୍ଧତା ଏବଂ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଉତ୍ପାଦ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ସମୟ ସହିତ ଜମା ହୋଇଥିବା ଜିଦ୍ଖୋର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଦୂର କରିବା ପାଇଁ ନିୟମିତ ଦୈନିକ ସଫା କରିବା ଯଥେଷ୍ଟ ନୁହେଁ। ତେଣୁ, ଉଚ୍ଚ ଉତ୍ପାଦନ ମାନଦଣ୍ଡ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ସାମୟିକ ଗଭୀର ସଫା କରିବା ଏକ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧଟି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରଗୁଡ଼ିକର ଗଭୀର ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବୃତ୍ତିଗତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ମୁଖ୍ୟ ବିଚାରଗୁଡ଼ିକୁ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ ଭାବରେ ବିସ୍ତାରିତ କରେ।
I. ପୂର୍ବ-ସଫା ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ସୁରକ୍ଷା ପ୍ରୋଟୋକଲ
ସିଷ୍ଟମ୍ ଭେଣ୍ଟିଂ ଏବଂ ପାୱାର ଆଇସୋଲେସନ୍: ସମସ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚକ୍ର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ହୋଇଛି ଏବଂ ଚାମ୍ବରଟି ବାୟୁମଣ୍ଡଳୀୟ ଚାପକୁ ଫେରିଛି ତାହା ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ। ସମସ୍ତ ପାୱାର ଉତ୍ସ (ଉଚ୍ଚ ଭୋଲଟେଜ୍, RF, ହିଟର୍), ଗ୍ୟାସ୍ ଯୋଗାଣ ଏବଂ ପାଣି ଲାଇନଗୁଡ଼ିକୁ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଲକ୍ଆଉଟ୍-ଟାଗ୍ଆଉଟ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା କାର୍ଯ୍ୟକାରୀ କରନ୍ତୁ, ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସୁରକ୍ଷାକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବ।
ଉପାଦାନ ଅପସାରଣ ଏବଂ ଜୋନିଂ: ସମସ୍ତ ଅପସାରଣୀୟ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଭାଙ୍ଗି ଦିଅନ୍ତୁ, ଯେପରିକି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ହୋଲ୍ଡର୍, ସଟର୍, ବାଷ୍ପୀଭବନ ଡଙ୍ଗା, ଆର୍କ କ୍ୟାଥୋଡ୍, ବାଫଲ୍ସ ଏବଂ କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ମାଇକ୍ରୋ ମନିଟରର ସେନ୍ସର ହେଡ୍। ଏହା ଚାମ୍ବରକୁ ଦୁଇଟି ମୁଖ୍ୟ ସଫା କ୍ଷେତ୍ରରେ ବିଭକ୍ତ କରେ: "ମୁଖ୍ୟ ଅଂଶ" ଏବଂ "ଉପାଦାନ", ଯାହା ଅଧିକ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ସଫା କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
ପ୍ରଦୂଷଣ ବିଶ୍ଳେଷଣ: ପ୍ରଦୂଷଣର ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକର ଏକ ପ୍ରାରମ୍ଭିକ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରନ୍ତୁ, ସାଧାରଣତଃ ଏହା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
ପଲିମରାଇଜଡ୍ ଅବଶିଷ୍ଟାଂଶ: PVD ଉତ୍ସ କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀଭବନରୁ ଛିଟା।
ଅଜୈବ ଆବରଣ: ଅଣ-ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଅଞ୍ଚଳଗୁଡ଼ିକ (ଯଥା, ଚାମ୍ବର କାନ୍ଥ) ଉପରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ହୋଇଥାଏ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ ତେଲ ଅବଶିଷ୍ଟ୍ୟ: ବ୍ୟାକ୍ଷ୍ଟ୍ରିମିଂ କିମ୍ବା ପମ୍ପ ବିଫଳତା ଯୋଗୁଁ ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନ ପ୍ରଦୂଷଣ।
କଣିକା ପ୍ରଦୂଷକ: ଧୂଳି, ତନ୍ତୁ, କିମ୍ବା ଝାଡ଼ି ପଡ଼ିଥିବା ଫିଲ୍ମ କଣିକା।
II. ସଫା କରିବା ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚୟନ
ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରଦୂଷକ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଉପଯୁକ୍ତ ସଫା କରିବା ପଦ୍ଧତି ଚୟନ କରାଯିବା ଉଚିତ, ସାଧାରଣତଃ ଭୌତିକ ସଫା କରିବା ଠାରୁ ରାସାୟନିକ ସଫା କରିବା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏକ କ୍ରମ ଅନୁସରଣ କରି।
ଶାରୀରିକ ସଫା କରିବା ପଦ୍ଧତି
ଶୁଷ୍କ ବ୍ଲାଷ୍ଟିଂ / ମଣି ବ୍ଲାଷ୍ଟିଂ: ଚାମ୍ବର କାନ୍ଥ ଏବଂ ଭାରୀ ଆବରଣକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବା ପାଇଁ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଚାପରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ, ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ମାଧ୍ୟମ (ଯଥା, ଆଲୁମିନା, ସୋଡିୟମ୍ ବାଇକାର୍ବୋନେଟ୍) ବ୍ୟବହାର କରେ। ଏହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଜିଦ୍ଖୋର ନୋଡୁଲ୍ ଏବଂ ଘନ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଦୂର କରେ, ଏକ ସମାନ ମ୍ୟାଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ସୃଷ୍ଟି କରେ।
ଲିଣ୍ଟ-ମୁକ୍ତ ୱାଇପର ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଦ୍ରାବକ: ସାଧାରଣ ପ୍ରଦୂଷଣ ସହିତ ବଡ଼ ଅଞ୍ଚଳ ପାଇଁ, ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଦ୍ରାବକ (ଯଥା, ଆଇସୋପ୍ରୋପିଲ ଆଲକୋହଲ, ଆସେଟୋନ, କିମ୍ବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର VOCs) ସହିତ ବୁଣା ନ ଥିବା ୱାଇପର (ଯଥା, ପଲିଷ୍ଟର କିମ୍ବା ଲିଣ୍ଟ-ମୁକ୍ତ କପଡା) ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ। ପୁନଃପ୍ରଦୁଷଣ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ଏକ ଦିଗନିର୍ଦ୍ଦେଶକ ଭାବରେ ପୋଛି ଦିଅନ୍ତୁ।
ରାସାୟନିକ ସଫା କରିବା ପଦ୍ଧତି
ଦ୍ରାବକ ସଫା କରିବା: ନିମଜ୍ଜିତ ତେଲ ଏବଂ କିଛି ପଲିମରକୁ ନିବିଡ଼ କିମ୍ବା ପୋଛିବା ପାଇଁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଦ୍ରାବକ ବ୍ୟବହାର କରି ସମାଧାନ କରାଯାଇପାରିବ। ସଫା କରିବା ପରେ ଦ୍ରାବକକୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଅପସାରଣ କରିବା ବାଧ୍ୟତାମୂଳକ, ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏହା ଏକ ନୂତନ ପ୍ରଦୂଷଣ ଉତ୍ସରେ ପରିଣତ ହୋଇପାରିବ ନାହିଁ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ରାପ୍ତିକୁ ବାଧା ଦେବ ନାହିଁ।
ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ଭିଜାଇବା ଏବଂ ଷ୍ଟ୍ରିପିଙ୍ଗ୍: ଅଜୈବ ଆବରଣ ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଦ୍ରବଣ କରିବା ପାଇଁ ଅପସାରିତ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ଆବରଣ ଷ୍ଟ୍ରିପର୍ସ କିମ୍ବା ଏସିଡିକ୍/ଆଲକାଲାଇନ୍ ଦ୍ରବଣ (ଯଥା, ନାଇଟ୍ରିକ୍ ଏସିଡ୍, ସୋଡିୟମ୍ ହାଇଡ୍ରୋକ୍ସାଇଡ୍) ରେ ବୁଡ଼ାଇ ଦିଅନ୍ତୁ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କ୍ଷୟକୁ ଏଡାଇବା ପାଇଁ ସାନ୍ଦ୍ରତା, ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ବୁଡ଼ାଇବା ସମୟକୁ କଡ଼ାକଡ଼ି ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରନ୍ତୁ। ଡିଆୟୋନାଇଜଡ୍ ପାଣି ଏବଂ ଶୀଘ୍ର ଶୁଖାଇବା ବ୍ୟବହାର କରି ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଧୋଇବା ସହିତ ଅନୁସରଣ କରନ୍ତୁ।
ପୃଷ୍ଠ ସକ୍ରିୟକରଣ ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟକରଣ
ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ଚାମ୍ବର ପାଇଁ, ଗଭୀର ସଫା କରିବା ପରେ ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟକରଣ ଚିକିତ୍ସା ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରେ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏକ ଘନ କ୍ରୋମ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସୁରକ୍ଷା ସ୍ତର ଗଠନ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବ ଏବଂ ଗ୍ୟାସିଂ ହାରକୁ ହ୍ରାସ କରିବ।
III. ସଫା-ପରବର୍ତ୍ତୀ ଚିକିତ୍ସା ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ
ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ସଫା କରିବା: ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତି ଥିବା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ପାଇଁ, ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ସଫା କରିବା ମାଇକ୍ରୋପୋର ଏବଂ ଫାଟରୁ ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋନ୍ କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ କାଭେଟେସନ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ।
ଶୁଖାଇବା: ସମସ୍ତ ସଫା କରାଯାଇଥିବା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ତେଲ-ମୁକ୍ତ, ଶୁଷ୍କ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ କିମ୍ବା ବାୟୁ ବ୍ୟବହାର କରି ଶୁଖାଯିବା ଉଚିତ ଏବଂ ତୁରନ୍ତ ଉପଯୁକ୍ତ ତାପମାତ୍ରାରେ (ଯଥା, 80-120°C) ବେକିଂ ପାଇଁ ଏକ ଚୁଲିରେ ରଖିବା ଉଚିତ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଶୋଷିତ ଆର୍ଦ୍ରତା ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଦୂର ହୋଇପାରିବ।
ପୁନଃସଂଯୋଗ ଏବଂ ଲିକ୍ ଯାଞ୍ଚ: ସମସ୍ତ ଶୁଖିଲା ଏବଂ ସଫା ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଚାମ୍ବରରେ ପୁନଃସ୍ଥାପନ କରନ୍ତୁ। ପମ୍ପିଂ କରିବା ପୂର୍ବରୁ, ଚ୍ୟାମ୍ବରକୁ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ସହିତ ସଂକ୍ଷିପ୍ତ ଭାବରେ ସଫା କରନ୍ତୁ। ପମ୍ପିଂ ସିଷ୍ଟମ୍ ଆରମ୍ଭ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ସମସ୍ତ ସିଲିଂ ପୃଷ୍ଠ ଏବଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜ ସଂଯୋଗରେ କୌଣସି ଲିକ୍ ନହେବା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ରୁକ୍ଷ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ଏକ ମୋଟା ଲିକ୍ ଯାଞ୍ଚ କରନ୍ତୁ।
କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଯାଞ୍ଚ: ଏକ ମାନକ ପମ୍ପ-ଡାଉନ୍ ଚକ୍ର ପରିଚାଳନା କରନ୍ତୁ, ଚାପ ବନାମ ସମୟ କର୍ଭକୁ ରୁକ୍ଷରୁ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ରେକର୍ଡ କରନ୍ତୁ, ଏବଂ ଏହାକୁ ପୂର୍ବ-ସଫା କରିବା ତଥ୍ୟ ସହିତ ତୁଳନା କରନ୍ତୁ। ସଫା କରିବାର ପ୍ରଭାବ ବିଚାର କରିବା ପାଇଁ ସର୍ବୋତ୍ତମ ମୂଳ ଚାପ ଏବଂ ଏହାର ସ୍ଥିରତା ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ମାପଦଣ୍ଡ। ଏକ ଖାଲି ଜମା ରନ୍ (ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବିନା) କରାଯାଇପାରିବ, ତା’ପରେ ଯେକୌଣସି ଅସ୍ୱାଭାବିକ ବାହାର ଗ୍ୟାସିଂ କିମ୍ବା ପ୍ରଦୂଷକ ମୁକ୍ତ ପାଇଁ QCM କିମ୍ବା ପୃଷ୍ଠ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଉପକରଣ ସହିତ ନିରୀକ୍ଷଣ କରାଯାଇପାରିବ।
ଉପସଂହାର
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର ଗଭୀର ସଫା କରିବା ଏକ ବ୍ୟବସ୍ଥିତ, ସଠିକ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ କାର୍ଯ୍ୟ, କେବଳ ଏକ ସଫା କାମ ନୁହେଁ। ଏଥିପାଇଁ ଅପରେଟରମାନଙ୍କୁ ପ୍ରଦୂଷଣ ଯନ୍ତ୍ରପାତି, ସାମଗ୍ରୀ ସୁସଙ୍ଗତତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟକରଣ ବିଷୟରେ ଗଭୀର ବୁଝାମଣା ଆବଶ୍ୟକ। ଏକ ମାନକିତ ଗଭୀର ସଫା କରିବା ପ୍ରୋଟୋକଲ ସ୍ଥାପନ ଏବଂ କଠୋର ଭାବରେ ପାଳନ କରି, ଉତ୍ପାଦନରେ ତ୍ରୁଟି ହାରକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ, ପତଳା-ଫିଲ୍ମ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପୁନରାବୃତ୍ତି ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଉପକରଣ ସେବା ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଏକ ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ ବଜାରରେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଶ୍ରେଷ୍ଠତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରାଯାଇପାରିବ।
—ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଉପକରଣtନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅକ୍ଟୋବର-୩୧-୨୦୨୫