Nan pwosesis kouch vakyòm ki mande anpil,pwòpte chanmdetèmine dirèkteman presyon baz la, pite fim nan, adezyon an, ak pèfòmans final pwodwi a. Netwayaj chak jou pa sifi pou retire kontaminan ki difisil pou retire ki akimile sou tan. Kidonk, netwayaj pwofon peryodik se yon pwosedi endispansab pou kenbe estanda pwodiksyon ki wo. Atik sa a detaye sistematikman sou pwosedi pwofesyonèl yo ak konsiderasyon kle pou netwayaj pwofon chanm vakyòm yo.
I. Preparasyon ak Pwotokòl Sekirite pou Netwayaj Preliminè
Vantilasyon Sistèm ak Izolasyon Kouran: Asire w ke tout sik pwosesis yo fini epi chanm lan retounen nan presyon atmosferik. Aplike yon pwosedi Blokaj-Etikèt konplè pou izole tout sous kouran (vòltaj wo, RF, aparèy chofaj), ekipman pou gaz, ak liy dlo, pou garanti sekirite operasyonèl.
Retire Konpozan ak Zonaj: Demonte tout konpozan entèn detachab yo, tankou sipò substrats yo, volets yo, bato evaporasyon yo, katod ark yo, deflektè yo, ak tèt detèktè mikwo monitè kristal kwatz yo. Sa divize chanm lan an de zòn netwayaj prensipal: "kò prensipal la" ak "konpozan yo", sa ki fasilite yon netwayaj pi apwofondi.
Analiz Kontaminan: Fè yon evalyasyon preliminè sou kalite kontaminan yo, souvan tankou:
Rezidi polimerize: Pwojeksyon ki soti nan sous PVD oswa evaporan.
Kouch inòganik: Fim mens depoze sou zòn ki pa substrat (pa egzanp, mi chanm).
Rezid lwil ponp vakyòm: Kontaminasyon idrokarbone akòz reflux oswa pann ponp.
Kontaminan Patikil: Pousyè, fib, oswa patikil fim ki dekale.
II. Metòd Netwayaj ak Seleksyon Pwosesis
Yo dwe chwazi metòd netwayaj ki apwopriye yo dapre kontaminan espesifik yo, tipikman swiv yon sekans ki soti nan netwayaj fizik rive nan netwayaj chimik.
Metòd Netwayaj Fizik
Sablaj sèk / Sablaj ak pèl: Itilize medya amann, inaktif chimikman (pa egzanp, aliminyòm, bikabonat sodyòm) nan presyon kontwole pou frape mi chanm yo ak kouch lou yo. Retire nodil ki fè tèt di ak kontaminan epè yo efektivman, sa ki kreye yon sifas mat inifòm.
Chifon ki pa gen pousyè ak solvan ki gen anpil pite: Pou gwo zòn ki gen kontaminasyon jeneral, sèvi ak chifon ki pa tise (pa egzanp, twal polyester oswa twal ki pa gen pousyè) ki mouye ak solvan ki gen anpil pite (pa egzanp, alkòl izopropilik, asetòn, oswa COV espesyalize). Siye nan yon fason unidireksyonèl pou evite rekontaminasyon.
Metòd Netwayaj Chimik
Netwayaj ak Solvan: Ou ka itilize solvang espesifik pou retire solvang lan nèt apre netwayaj la pou anpeche l vin tounen yon nouvo sous kontaminasyon epi anpeche aspirasyon an rive nan sifas la.
Tranpe ak Retire Chimik: Plonje konpozan yo retire yo nan pwodui dekadan pou kouch oswa nan solisyon asid/alkalin (pa egzanp, asid nitrique, idroksid sodyòm) pou fonn kouch inòganik ak oksid yo. Kontwole konsantrasyon, tanperati, ak tan imèsyon an byen pou evite korozyon substrati a. Apre sa, rense byen avèk dlo deyonize epi siye rapidman.
Aktivasyon Sifas ak Pasivasyon
Pou chanm asye pur, yo ka aplike yon tretman pasivasyon apre yon netwayaj pwofon pou fòme yon kouch pwoteksyon dans oksid krom, amelyore rezistans korozyon epi diminye pousantaj degajman gaz.
III. Tretman ak Verifikasyon Apre Netwayaj
Netwayaj à ultrasons: Pou konpozan ki gen jeyometri konplèks, netwayaj à ultrasons itilize kavitasyon pou retire patikil sub-mikwon nan mikwopò ak fant yo avèk efikasite.
Siye: Tout konpozan ki netwaye yo dwe seche avèk azòt sèk san lwil oswa lè epi mete yo imedyatman nan yon fou pou kwit nan yon tanperati apwopriye (pa egzanp, 80-120 °C) pou retire imidite ki absòbe a nèt.
Reasanblaj ak Verifikasyon Flit: Re-enstale tout konpozan sèk ak pwòp yo tounen nan chanm lan. Anvan ou ponpe, netwaye chanm lan yon ti tan avèk nitwojèn ki gen anpil pite. Kòmanse sistèm ponpe a epi fè yon verifikasyon flit ki pa twò presi nan etap vakyòm ki pa presi a pou asire pa gen flit nan tout sifas sele yo ak koneksyon bride yo.
Verifikasyon Pèfòmans: Fè yon sik ponpe estanda, anrejistre koub presyon an kont tan soti nan vakyòm ki graj rive nan vakyòm ki wo, epi konpare l ak done pre-netwayaj yo. Presyon debaz final la ak estabilite li se mezi ki pi enpòtan pou jije efikasite netwayaj la. Ou ka fè yon sik depo vid (san substrats), epi swivi pa siveyans ak yon QCM oswa enstriman analiz sifas pou nenpòt degajman gaz oswa liberasyon kontaminan anòmal.
Konklizyon
Netwayaj pwofon yon chanm vakyòm se yon travay sistematik ak presizyon nan jeni, se pa sèlman yon korve netwayaj. Li mande pou operatè yo gen yon konpreyansyon pwofon sou mekanis kontaminasyon, konpatibilite materyèl, ak espesifikasyon pwosesis yo. Lè yo etabli epi respekte estrikteman yon pwotokòl netwayaj pwofon estanda, pousantaj domaj nan pwodiksyon an ka redwi anpil, repetabilite pèfòmans fim mens lan amelyore, epi lavi sèvis ekipman an pwolonje, kidonk asire siperyorite pwosesis la ak fyab pwodwi nan yon mache konpetitif.
—Atik sa a te pibliye pa ekipman kouch pulverizasyon mayetrontmanifakti Zhenhua Vacuum
Dat piblikasyon: 31 oktòb 2025