የቫኩም ቻምበርስን በጥልቀት ማጽዳት፡ የሂደት መረጋጋት እና ቀጭን ፊልም ጥራት የማዕዘን ድንጋይ

በቫክዩም ሽፋን ሂደቶች ውስጥ፣የክፍል ንፅህናየመሠረት ግፊትን፣ የፊልም ንፅህናን፣ ማጣበቂያን እና የመጨረሻውን የምርት አፈፃፀም በቀጥታ ይወስናል። የዕለት ተዕለት ጽዳት በጊዜ ሂደት የተከማቹ ግትር ብክለቶችን ለማስወገድ በቂ አይደለም። ስለዚህ፣ ወቅታዊ ጥልቅ ጽዳት ከፍተኛ የምርት ደረጃዎችን ለመጠበቅ አስፈላጊ ሂደት ነው። ይህ ጽሑፍ በስርዓት ስለ ሙያዊ ሂደቶች እና የቫክዩም ክፍሎቹን በጥልቀት ለማጽዳት ቁልፍ ጉዳዮችን በዝርዝር ያብራራል።

I. የቅድመ-ጽዳት ዝግጅት እና የደህንነት ፕሮቶኮሎች

የስርዓት አየር ማናፈሻ እና የኃይል ማግለል፡- ሁሉም የሂደት ዑደቶች መሟላታቸውን እና ክፍሉ ወደ ከባቢ አየር ግፊት መመለሱን ያረጋግጡ። ሁሉንም የኃይል ምንጮች (ከፍተኛ ቮልቴጅ፣ አርኤፍ፣ ማሞቂያዎች)፣ የጋዝ አቅርቦቶችን እና የውሃ መስመሮችን ለመለየት ሙሉ የመቆለፊያ-መለያ አሰራርን ተግባራዊ ያድርጉ፣ ይህም የአሠራር ደህንነትን ያረጋግጣል።

የክፍሎች ማስወገድ እና ዞን ማድረግ፡- እንደ ንጣፎች መያዣዎች፣ መዝጊያዎች፣ የትነት ጀልባዎች፣ የአርክ ካቶዶች፣ ባፍሎች እና የኳርትዝ ክሪስታል ማይክሮ ሞኒተሮች የዳሳሽ ራሶች ያሉ ሁሉንም ተነቃይ የውስጥ ክፍሎችን ይፍቱ። ይህ ክፍሉን በሁለት ዋና ዋና የጽዳት ቦታዎች ይከፍላል፡- “ዋናው አካል” እና “ክፍሎች”፣ ይህም የበለጠ ጥልቅ ጽዳትን ያመቻቻል።

የብክለት ትንተና፡- የብክለት ዓይነቶችን የመጀመሪያ ደረጃ ግምገማ ማካሄድ፣ ይህም በተለምዶ የሚከተሉትን ያካትታል፡

ፖሊመሪዝድ ቅሪቶች፡- ከPVD ምንጮች ወይም ከትነት የሚወጣ ስፕላተር።

ኦርጋኒክ ያልሆኑ ሽፋኖች፡- በንጥረ ነገሮች ባልተሸፈኑ ቦታዎች (ለምሳሌ፣ የክፍል ግድግዳዎች) ላይ የተቀመጡ ቀጭን ፊልሞች።

የቫኩም ፓምፕ ዘይት ቅሪቶች፡- በኋሊት ፍሰት ወይም በፓምፕ ብልሽት ምክንያት የሚመጣ የሃይድሮካርቦን ብክለት።

የቅንጣት ብክለቶች፡ አቧራ፣ ፋይበር ወይም የተሰነጠቁ የፊልም ቅንጣቶች።

II. የጽዳት ዘዴዎች እና የሂደት ምርጫ

ተገቢ የሆኑ የጽዳት ዘዴዎች በተወሰኑ ብክለቶች ላይ ተመስርተው መመረጥ አለባቸው፣ በተለይም ከአካላዊ እስከ ኬሚካል ጽዳት ቅደም ተከተል ይከተላሉ።

የአካላዊ ጽዳት ዘዴዎች

ደረቅ ፍንዳታ/የዶቃ ፍንዳታ፡- በኬሚካል የማይነቃነቅ ሚዲያ (ለምሳሌ፣ አሉሚና፣ ሶዲየም ባይካርቦኔት) በመጠቀም የክፍሉን ግድግዳዎች እና ከባድ ሽፋኖችን ይነካል። ጠንካራ የሆኑ ኖዶችን እና ወፍራም ብክለቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያስወግዳል፣ ወጥ የሆነ ማት ወለል ይፈጥራል።

ከሊንት-ነጻ መጥረጊያዎች እና ከፍተኛ ንጽህና መሟሟቶች፡- በአጠቃላይ ብክለት ባለባቸው ትላልቅ ቦታዎች፣ ከፍተኛ ንጽህና መሟሟቶችን (ለምሳሌ፣ ኢሶፕሮፒል አልኮሆል፣ አሴቶን ወይም ልዩ VOCs) ያረጁ ያልተሸመኑ መጥረጊያዎችን (ለምሳሌ፣ ፖሊስተር ወይም ሊንት-ነጻ ጨርቆች) ይጠቀሙ። ብክለትን ለማስወገድ በአንድ አቅጣጫ ብቻ ይጥረጉ።

የኬሚካል ማጽጃ ዘዴዎች

የሟሟት ጽዳት፡- የታለሙ ዘይቶችና የተወሰኑ ፖሊመሮች ለመጥለቅ ወይም ለማጽዳት የተወሰኑ መሟሟቶችን በመጠቀም ሊፈቱ ይችላሉ። የሟሟቱን ሙሉ በሙሉ ማስወገድ አዲስ የብክለት ምንጭ እንዳይሆን እና የቫክዩም ተደራሽነትን እንዳያደናቅፍ ከጽዳት በኋላ ግዴታ ነው።

ኬሚካል መንከር እና መግረዝ፡- የተወገዱትን ክፍሎች በተለዩ የሽፋን መግረዝ ወይም አሲዳማ/አልካላይን መፍትሄዎች (ለምሳሌ ናይትሪክ አሲድ፣ ሶዲየም ሃይድሮክሳይድ) ውስጥ በማጥለቅ ኦርጋኒክ ያልሆኑ ሽፋኖችን እና ኦክሳይድን ይቀልጡ። የንጣፍ ዝገትን ለማስወገድ ትኩረትን፣ የሙቀት መጠንን እና የጥልቅ ጊዜን በጥብቅ ይቆጣጠሩ። ከዚያም በዲኦአኖይዝድ ውሃ እና በፍጥነት በማድረቅ በደንብ ያጠቡ።

የወለል ማግበር እና ፓሲቭሽን

ለአይዝጌ ብረት ክፍሎች፣ ጥቅጥቅ ያለ የክሮም ኦክሳይድ መከላከያ ንብርብር ለመፍጠር ጥልቅ ጽዳት ከተደረገ በኋላ የፓሲቭሽን ሕክምና ሊተገበር ይችላል፣ ይህም የዝገት መቋቋምን ያሻሽላል እና የውጪ ጋዝ መጠንን ይቀንሳል።

III. የድህረ-ጽዳት ሕክምና እና ማረጋገጫ

የአልትራሳውንድ ጽዳት፡- ውስብስብ ጂኦሜትሪ ላላቸው ክፍሎች፣ የአልትራሳውንድ ጽዳት ከማይክሮፖሮች እና ስንጥቆች ውስጥ ንዑስ-ማይክሮን ቅንጣቶችን በብቃት ለማስወገድ ካቪቴሽንን ይጠቀማል።

ማድረቅ፡- ሁሉም የተጸዱ ክፍሎች ዘይት-አልባ፣ ደረቅ ናይትሮጅን ወይም አየር በመጠቀም መድረቅ አለባቸው እና ወዲያውኑ በተገቢው የሙቀት መጠን (ለምሳሌ፣ 80-120°ሴ) ለመጋገር በምድጃ ውስጥ መቀመጥ አለባቸው።

እንደገና መገጣጠም እና የፍሰት ፍተሻ፡- ሁሉንም ደረቅ እና ንጹህ ክፍሎች ወደ ክፍሉ መልሰው ይጫኑ። ከመፍሰሱ በፊት ክፍሉን በከፍተኛ ንፁህ ናይትሮጅን ለአጭር ጊዜ ያጽዱ። የፓምፑን ሲስተም ይጀምሩ እና በሁሉም የማሸጊያ ቦታዎች እና በፍላንጅ ግንኙነቶች ላይ ምንም ፍሳሽ እንዳይፈጠር በሻካራ የቫክዩም ደረጃ ላይ የሻካራ የፍሰት ፍተሻ ያካሂዱ።

የአፈጻጸም ማረጋገጫ፡- መደበኛ የፓምፕ-ታች ዑደት ያካሂዱ፣ የግፊቱን እና የጊዜ ኩርባን ከሻካራ እስከ ከፍተኛ ቫክዩም በመመዝገብ እና ከቅድመ-ጽዳት መረጃ ጋር ያወዳድሩ። የመጨረሻው የመሠረት ግፊት እና መረጋጋት የጽዳት ውጤታማነትን ለመገምገም በጣም ወሳኝ መለኪያዎች ናቸው። ባዶ የሆነ የማጠራቀሚያ ሂደት (ያለ ንጣፎች) ሊከናወን ይችላል፣ ከዚያም ለማንኛውም ያልተለመደ የውጪ ጋዝ ወይም የብክለት ልቀት በQCM ወይም በገጽታ ትንተና መሳሪያዎች ክትትል ማድረግ ይቻላል።

መደምደሚያ

የቫክዩም ክፍልን በጥልቀት ማጽዳት ስልታዊ፣ ትክክለኛ የምህንድስና ተግባር ነው፣ የጽዳት ሥራ ብቻ አይደለም። ኦፕሬተሮች የብክለት ዘዴዎችን፣ የቁሳቁስ ተኳሃኝነትን እና የሂደቱን ዝርዝር መግለጫዎች በጥልቀት እንዲረዱ ይጠይቃል። ደረጃውን የጠበቀ የጥልቅ ጽዳት ፕሮቶኮልን በማቋቋም እና በጥብቅ በመከተል፣ በምርት ውስጥ ያሉ የብልሽት መጠኖች በከፍተኛ ሁኔታ ሊቀንሱ፣ ቀጭን ፊልም የአፈጻጸም ተደጋጋሚነት ሊሻሻል እና የመሳሪያዎች የአገልግሎት ዘመን ሊራዘም ይችላል፣ በዚህም የሂደቱን የበላይነት እና የምርት አስተማማኝነት በተወዳዳሪ ገበያ ውስጥ ያረጋግጣል።

—ይህ ጽሑፍ የታተመው በ ማግኔትሮን ስፕቱተርንግ ሽፋን መሳሪያዎችtአምራች ዜንሁዋ ቫክዩም