Lits'ebetsong tse hlokang tlhokomelo ea vacuum,bohloeki ba kamoree lekanya ka ho toba khatello ea motheo, bohloeki ba filimi, ho khomarela, le ts'ebetso ea sehlahisoa ea ho qetela. Ho hloekisa kamehla letsatsi le letsatsi ha hoa lekana ho tlosa litšila tse manganga tse bokelletsoeng ha nako e ntse e ea. Kahoo, ho hloekisa ka botebo nako le nako ke mokhoa oa bohlokoa oa ho boloka maemo a holimo a tlhahiso. Sengoloa sena se hlalosa ka mokhoa o hlophisehileng mekhoa ea profeshenale le lintlha tsa bohlokoa bakeng sa ho hloekisa ka botebo likamore tsa vacuum.
I. Melaoana ea Boitokisetso le Polokeho Pele ho Tlhoekiso
Ho Fehla Moya ka Sistimi le ho Arohanya Matla: Netefatsa hore potoloho tsohle tsa tshebetso di phethehile mme kamore e kgutlisetswa kgatellong ya sepakapaka. Kenya tshebetsong tshebetso e felletseng ya Lockout-Tagout ho arola mehlodi yohle ya motlakase (motlakase o phahameng, RF, dihitara), phepelo ya kgase, le mehala ya metsi, ho netefatsa polokeho ya tshebetso.
Ho Tlosa Likarolo le ho Behella ka Sebaka: Hlakola likarolo tsohle tsa kahare tse ka tlosoang, tse kang li-substrate holders, li-shutter, likepe tsa mouoane, li-arc cathode, li-baffle, le lihlooho tsa sensor tsa li-monitor tsa quartz crystal micro. Sena se arola kamore ka libaka tse peli tse kholo tsa ho hloekisa: "'mele o moholo" le "likarolo," tse thusang ho hloekisa ka botlalo.
Tlhahlobo ea Litšila: Etsa tlhahlobo ea pele ea mefuta ea lintho tse silafatsang, tseo hangata li kenyeletsang:
Masalla a nang le polymerized: Splatter ho tsoa mehloling ea PVD kapa lintho tse fetohang mouoane.
Liaparo tse sa pheleng: Lifilimi tse tšesaane tse behiloeng libakeng tse seng tsa substrate (mohlala, mabota a kamore).
Masalla a Oli ea Pompo ea Vacuum: Tšilafalo ea Hydrocarbon e bakoang ke ho phalla ha metsi morao kapa ho hloleha ha pompo.
Dintho tse silafatsang: Lerōle, likhoele, kapa likaroloana tsa filimi tse tabohileng.
II. Mekhoa ea ho Hloekisa le Khetho ea Mekhoa
Mekhoa e nepahetseng ea ho hloekisa e lokela ho khethoa ho latela litšila tse itseng, hangata ho latela tatellano ho tloha ho hloekisoeng ha 'mele ho ea ho lik'hemik'hale.
Mekhoa ea ho Hloekisa 'Mele
Ho Qhoma ka Omileng / Ho Qhoma ka Lifaha: E sebelisa mecha e metle, e sa sebetseng hantle ea lik'hemik'hale (mohlala, alumina, sodium bicarbonate) ka khatello e laoloang ho ama mabota a kamore le masela a boima. E tlosa li-nodule tse manganga le litšila tse teteaneng ka katleho, e etsa bokaholimo bo tšoanang bo sa thekeseleng.
Li-Wipers tse se nang Lint le Li-solvent tse Hloekileng ka Botlalo: Bakeng sa libaka tse kholo tse nang le tšilafalo e akaretsang, sebelisa li-wipers tse sa lohiloeng (mohlala, masela a polyester kapa a se nang lint) tse kolobisitsoeng ka li-solvent tse hloekileng ka botlalo (mohlala, Isopropyl Alcohol, Acetone, kapa li-VOC tse khethehileng). Hlakola ka tsela e le 'ngoe ho qoba ho silafatsa.
Mekhoa ea ho Hloekisa Lik'hemik'hale
Ho Hloekisa Solvent: Oli tse shebiloeng le li-polymer tse itseng li ka rarolloa ka ho sebelisa li-solvent tse itseng bakeng sa ho qoelisa kapa ho hlakola. Ho tlosa solvent ka botlalo ke tlamo kamora ho e hloekisa ho e thibela ho ba mohloli o mocha oa tšilafalo le ho sitisa ho fihlella ha vacuum.
Ho Koenya le ho Hloekisa ka Lik'hemik'hale: Tšela likarolo tse tlositsoeng ka har'a li-stripper tse khethehileng tsa ho koenya kapa litharollo tsa asiti/alkaline (mohlala, nitric acid, sodium hydroxide) ho qhala li-coat le li-oxide tse sa pheleng. Laola ka tieo mahloriso, mocheso le nako ea ho qoelisoa ho qoba ho bola ha substrate. Latela ka ho hlatsoa ka botlalo u sebelisa metsi a hloekisitsoeng le ho omisa ka potlako.
Ho Sebetsa ka Holimo le ho Fetola Maikutlo
Bakeng sa likamore tsa tšepe e sa ruseng, kalafo ea ho se sebelise moea o kenang ka hare e ka sebelisoa kamora ho hloekisa ka botebo ho etsa lera le teteaneng le sireletsang la chrom oxide, ho eketsa ho hanyetsa ho bola le ho fokotsa sekhahla sa ho tsoa ha khase.
III. Kalafo le Netefatso ea Kamora ho Hloekisa
Ho Hloekisa ka Ultrasonic: Bakeng sa likarolo tse nang le li-geometri tse rarahaneng, ho hloekisa ka ultrasound ho sebelisa cavitation ho tlosa ka katleho likaroloana tse nyenyane tsa micron ho tsoa li-micropores le mapetsong.
Ho omisa: Dikarolo tsohle tse hlwekisitsweng di lokela ho omiswa ka ho sebedisa naetrojene e omileng kapa moya o se nang oli mme di bewe hang-hang ka ontong bakeng sa ho baka mochesong o loketseng (mohlala, 80-120°C) ho tlosa mongobo o kentsweng ka botlalo.
Ho Kopanya Botjha le ho Lekola ho Dutla ha Motlakase: Kenya hape dikarolo tsohle tse omileng le tse hlwekileng ka kamoreng. Pele o pompa, hlwekisa kamore ka naetrojene e hlwekileng haholo. Qala sistimi ya ho pompa mme o etse tlhahlobo ya ho dutla ha motlakase mohatong o boima wa vacuum ho netefatsa hore ha ho dutla ha motlakase dibakeng tsohle tsa ho kwala le dikgokelo tsa flange.
Netefatso ea Ts'ebetso: Etsa potoloho e tloaelehileng ea ho pompa, u rekota sekhahla sa khatello khahlanong le nako ho tloha ho se nang letho ho ea ho se nang letho se phahameng, 'me u se bapise le data ea pele ho tlhoekiso. Khatello ea motheo ea ho qetela le botsitso ba eona ke litekanyo tsa bohlokoa ka ho fetisisa bakeng sa ho ahlola katleho ea ho hloekisa. Ho ka etsoa mokhoa oa ho beha lintho tse se nang letho (ntle le li-substrate), o lateloa ke ho beha leihlo ka QCM kapa lisebelisoa tsa tlhahlobo ea bokaholimo bakeng sa ho tsoa ha khase kapa ho lokolloa ha litšila ho sa tloaelehang.
Qetello
Ho hlwekisa kamore e nang le vacuum ka botebo ke mosebetsi o hlophisehileng, o nepahetseng, eseng feela mosebetsi oa ho hloekisa. Ho hloka hore basebetsi ba be le kutloisiso e tebileng ea mekhoa ea tšilafalo, ho lumellana ha thepa le litlhaloso tsa ts'ebetso. Ka ho theha le ho khomarela ka tieo mokhoa o tloaelehileng oa ho hloekisa ka botebo, sekhahla sa liphoso tlhahisong se ka fokotsoa haholo, ho ntlafala ha ts'ebetso ea filimi e tšesaane, le bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa bo atolosoa, ka hona ho netefatsa bophahamo ba ts'ebetso le ts'epo ea sehlahisoa 'marakeng oa tlholisano.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala tsa magnetron sputteringtmoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Mphalane-31-2025