B'mod ġenerali, is-CVD jista' jinqasam bejn wieħed u ieħor f'żewġ tipi: wieħed huwa d-depożizzjoni tal-fwar ta' prodott wieħed fuq is-sottostrat ta' saff epitassjali ta' kristall wieħed, li huwa CVD b'mod ristrett; l-ieħor huwa d-depożizzjoni ta' films irqaq fuq is-sottostrat, inklużi films ta' prodotti multipli u amorfi. Skont it-tipi differenti ta' gassijiet sors użati, is-CVD jista' jinqasam f'metodu ta' trasport tal-aloġenu u depożizzjoni tal-fwar kimiku metall-organiku (MOCVD), l-ewwel bħala aloġenu bħala sors ta' gass, u t-tieni bħala komposti metall-organiċi bħala sors ta' gass. Skont il-pressjoni fil-kamra tar-reazzjoni, jista' jinqasam fi tliet tipi ewlenin: CVD bi pressjoni atmosferika (APCVD), CVD bi pressjoni baxxa (LPCVD) u CVD b'vakwu ultra-għoli (UHV/CVD). Is-CVD jista' jintuża wkoll bħala metodu awżiljarju mtejjeb bl-enerġija, u llum il-ġurnata dawk komuni jinkludu CVD imtejjeb bil-plażma (PECVD) u CVD imtejjeb bid-dawl (PCVD), eċċ. Is-CVD huwa essenzjalment metodu ta' depożizzjoni fil-fażi tal-gass.
Is-CVD huwa essenzjalment metodu ta' formazzjoni ta' film fejn sustanza fil-fażi tal-gass tirreaġixxi kimikament f'temperatura għolja biex tipproduċi sustanza solida li tiġi depożitata fuq sottostrat. Speċifikament, alidi tal-metall volatili jew komposti organiċi tal-metall jitħalltu ma' gass trasportatur bħal H, Ar, jew N, u mbagħad jiġu ttrasportati b'mod uniformi lejn sottostrat f'temperatura għolja f'kamra ta' reazzjoni biex jiffurmaw film irqiq fuq is-sottostrat permezz ta' reazzjoni kimika. Irrispettivament minn liema tip ta' CVD, id-depożizzjoni tista' titwettaq b'suċċess trid tissodisfa l-kundizzjonijiet bażiċi li ġejjin: L-ewwel, fit-temperatura tad-depożizzjoni, ir-reattanti jrid ikollhom pressjoni tal-fwar għolja biżżejjed; It-tieni, il-prodott tar-reazzjoni, minbarra d-depożitu mixtieq għall-istat solidu, il-bqija tal-istat gassuż; It-tielet, id-depożitu nnifsu għandu jkollu pressjoni tal-fwar baxxa biżżejjed biex jiżgura li l-proċess ta' reazzjoni tad-depożizzjoni jista' jinżamm fil-proċess kollu tas-sottostrat imsaħħan; Ir-raba', il-materjal tas-sottostrat jiġi ttrasportat b'mod uniformi lejn il-kamra tar-reazzjoni fuq is-sottostrat, permezz tar-reazzjoni kimika biex jifforma film irqiq. Ir-raba', il-pressjoni tal-fwar tal-materjal tas-sottostrat innifsu għandha wkoll tkun baxxa biżżejjed fit-temperatura tad-depożizzjoni.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat bymanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: Mejju-04-2024