सीव्हीडी तंत्रज्ञानाचे प्रकार

व्यापक अर्थाने, CVD ला साधारणपणे दोन प्रकारांमध्ये विभागता येते: एक म्हणजे सिंगल-क्रिस्टल एपिटॅक्सियल लेयरच्या सब्सट्रेट वाष्प निक्षेपणावर एकल उत्पादन, जे अरुंद CVD आहे; दुसरे म्हणजे सब्सट्रेटवर पातळ फिल्म्सचे निक्षेपण, ज्यामध्ये बहु-उत्पादन आणि आकारहीन फिल्म्सचा समावेश आहे. वापरल्या जाणाऱ्या विविध प्रकारच्या स्त्रोत वायूंनुसार, CVD ला हॅलोजन ट्रान्सपोर्ट मेथड आणि मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वाष्प निक्षेपण (MOCVD) मध्ये विभागता येते, पहिले म्हणजे गॅस स्रोत म्हणून हॅलाइड करणे, नंतरचे म्हणजे गॅस स्रोत म्हणून धातू-ऑर्गेनिक संयुगे. रिअॅक्शन चेंबरमधील दाबानुसार, ते तीन मुख्य प्रकारांमध्ये विभागले जाऊ शकते: वातावरणीय दाब CVD (APCVD), कमी दाब CVD (LPCVD) आणि अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम CVD (UHV/CVD).CVD चा वापर ऊर्जा-वर्धित सहाय्यक पद्धत म्हणून देखील केला जाऊ शकतो आणि आजकाल सामान्य पद्धतींमध्ये प्लाझ्मा-वर्धित CVD (PECVD) आणि प्रकाश-वर्धित CVD (PCVD) इत्यादींचा समावेश आहे. CVD ही मूलतः गॅस-फेज निक्षेपण पद्धत आहे.

CVD ही मूलतः फिल्म-फॉर्मिंग पद्धत आहे ज्यामध्ये गॅस-फेज पदार्थाची रासायनिक अभिक्रिया उच्च तापमानावर केली जाते जेणेकरून सब्सट्रेटवर जमा होणारा घन पदार्थ तयार होईल. विशेषतः, अस्थिर धातूचे हॅलाइड्स किंवा धातूचे सेंद्रिय संयुगे H, Ar किंवा N सारख्या वाहक वायूमध्ये मिसळले जातात आणि नंतर रासायनिक अभिक्रियेद्वारे सब्सट्रेटवर पातळ फिल्म तयार करण्यासाठी प्रतिक्रिया कक्षातील उच्च-तापमानाच्या सब्सट्रेटमध्ये एकसमानपणे वाहून नेले जातात. CVD कोणत्याही प्रकारचा असला तरी, निक्षेपण यशस्वीरित्या केले जाऊ शकते यासाठी खालील मूलभूत अटी पूर्ण केल्या पाहिजेत: प्रथम, निक्षेपण तापमानात, अभिक्रियाकांचा पुरेसा उच्च बाष्प दाब असणे आवश्यक आहे; दुसरे, प्रतिक्रिया उत्पादन, घन अवस्थेसाठी इच्छित ठेवीव्यतिरिक्त, उर्वरित वायू अवस्थेचा; तिसरे, निक्षेपण प्रतिक्रिया प्रक्रिया गरम केलेल्या सब्सट्रेटच्या संपूर्ण प्रक्रियेत ठेवता येईल याची खात्री करण्यासाठी निक्षेपण स्वतः पुरेसे कमी बाष्प दाब असले पाहिजे; चौथे, सब्सट्रेट सामग्री सब्सट्रेटवरील प्रतिक्रिया कक्षात एकसमानपणे वाहून नेली जाते, रासायनिक अभिक्रियेद्वारे पातळ फिल्म तयार होते. चौथे, सब्सट्रेट सामग्रीचा बाष्प दाब देखील निक्षेपण तापमानात पुरेसा कमी असावा.

- हा लेख प्रकाशित झाला आहे. byव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ