टंगस्टन फिलामेंट उच्च तापमानाला गरम केले जाते जे उच्च-घनतेचा इलेक्ट्रॉन प्रवाह उत्सर्जित करण्यासाठी गरम इलेक्ट्रॉन उत्सर्जित करते आणि त्याच वेळी एक प्रवेगक इलेक्ट्रोड उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन प्रवाहात गरम इलेक्ट्रॉनला गती देण्यासाठी सेट केला जातो. उच्च-घनता, उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन प्रवाह अधिक क्लोरीन आयनीकरण, अधिक धातूच्या फिल्म लेयर अणूंना आयनीकरण करून अधिक क्लोराईड आयन मिळवून स्पटरिंग रेट सुधारू शकतो, ज्यामुळे निक्षेपण दर वाढू शकतो: धातूच्या आयनीकरण दर सुधारण्यासाठी अधिक धातूचे आयनीकरण असू शकते, जे कंपाऊंड फिल्मच्या निक्षेपणाच्या प्रतिक्रियेसाठी अनुकूल आहे; वर्कपीसची वर्तमान घनता सुधारण्यासाठी मेटल फिल्म लेयर आयन वर्कपीसपर्यंत पोहोचतात, ज्यामुळे निक्षेपण दर वाढतो.
मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग हार्ड कोटिंगमध्ये, हॉट कॅथोडायझिंगच्या पुढील आणि मागील वर्कपीसच्या करंट घनतेत आणि फिल्म ऑर्गनायझेशनमध्ये वाढ होते. हॉट कॅथोड जोडण्यापूर्वी TiSiCN, हॉट कॅथोडमध्ये 4.9mA/mm2 पर्यंत वाढ झाल्यानंतर वर्कपीसवरील करंट घनता फक्त 0.2mA/mm असते, जी 24 पट वाढण्याइतकी असते आणि फिल्म ऑर्गनायझेशन अधिक घन असते. हे पाहिले जाऊ शकते की मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तंत्रज्ञानामध्ये, हॉट कॅथोड जोडणे मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपॉझिशन रेट आणि फिल्म कणांची क्रिया सुधारण्यासाठी खूप प्रभावी आहे. हे तंत्रज्ञान टर्बाइन ब्लेड, मड पंप प्लंजर्स आणि ग्राइंडर भागांचे आयुष्य लक्षणीयरीत्या सुधारू शकते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर-११-२०२३