Ерөнхийдөө ЗСӨ-ийг хоёр төрөлд хувааж болно: нэг нь нэг талст эпитаксиаль давхаргын субстратын уурын хуримтлал дээр нэг бүтээгдэхүүнд байдаг бөгөөд энэ нь нарийн ЗСХ юм; нөгөө нь субстрат дээр нимгэн хальс, түүний дотор олон бүтээгдэхүүн ба аморф хальсыг буулгах явдал юм. Ашигласан эх үүсвэрийн янз бүрийн төрлөөс хамааран CVD нь галоген тээвэрлэх арга ба металл-органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD), эхнийх нь хийн эх үүсвэр болох галид, сүүлийнх нь хийн эх үүсвэр болох металл-органик нэгдлүүд гэж хуваагддаг. Урвалын камер дахь даралтын дагуу үүнийг гурван үндсэн төрөлд хувааж болно: атмосферийн даралтын CVD (APCVD), нам даралтын CVD (LPCVD) болон хэт өндөр вакуум CVD (UHV/CVD). ЗСӨ-ийг мөн эрчим хүчийг сайжруулсан туслах арга болгон ашиглаж болох ба өнөө үед түгээмэл хэрэглэгддэг (ECVD) хөнгөн, хөнгөн (ECVD) гэх мэт. CVD (PCVD) гэх мэт. ЗСӨ нь үндсэндээ хийн фазын хуримтлуулах арга юм.
CVD нь үндсэндээ хийн фазын бодисыг өндөр температурт химийн урвалд оруулж, субстрат дээр тогтсон хатуу бодис үүсгэдэг хальс үүсгэх арга юм. Тодруулбал, дэгдэмхий металлын галогенид эсвэл металлын органик нэгдлүүдийг H, Ar, эсвэл N зэрэг зөөвөрлөгч хийтэй хольж, дараа нь химийн урвалаар субстрат дээр нимгэн хальс үүсгэхийн тулд урвалын камерт өндөр температурт субстрат руу жигд тээвэрлэдэг. ЗСӨ-ийн аль хэлбэрээс үл хамааран тунадасжилтыг амжилттай явуулах нь дараах үндсэн нөхцлийг хангасан байх ёстой: Нэгдүгээрт, тунадасжилтын температурт урвалд орох бодисууд нь хангалттай өндөр уурын даралттай байх ёстой; Хоёрдугаарт, урвалын бүтээгдэхүүн, хатуу төлөвт зориулж хүссэн ордоос гадна хийн төлөвт үлдсэн хэсэг; Гуравдугаарт, орд нь өөрөө хангалттай бага уурын даралттай байх ёстой бөгөөд ингэснээр тунадасжилтын урвалын процессыг халсан субстратын бүх процесст хадгалж болно; Дөрөвдүгээрт, субстратын материалыг химийн урвалаар дамжуулан субстрат дээрх урвалын камерт жигд тээвэрлэж, нимгэн хальс үүсгэдэг. Дөрөвдүгээрт, субстратын материалын уурын даралт нь мөн тунадасны температурт хангалттай бага байх ёстой.
-Энэ нийтлэл гарсан byвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 5-р сарын 04-ний өдөр