സിവിഡി സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ തരങ്ങൾ

വിശാലമായി പറഞ്ഞാൽ, CVD യെ ഏകദേശം രണ്ട് തരങ്ങളായി തിരിക്കാം: ഒന്ന് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് നീരാവി നിക്ഷേപത്തിൽ സിംഗിൾ-ക്രിസ്റ്റൽ എപ്പിറ്റാക്‌സിയൽ പാളിയാണ്, ഇത് ഇടുങ്ങിയ CVD ആണ്; മറ്റൊന്ന് മൾട്ടി-പ്രൊഡക്റ്റ്, അമോർഫസ് ഫിലിമുകൾ എന്നിവയുൾപ്പെടെ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നതാണ്. ഉപയോഗിക്കുന്ന വ്യത്യസ്ത തരം ഉറവിട വാതകങ്ങൾ അനുസരിച്ച്, CVD യെ ഹാലോജൻ ഗതാഗത രീതിയായും ലോഹ-ഓർഗാനിക് കെമിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ (MOCVD) ആയും വിഭജിക്കാം, ആദ്യത്തേത് വാതക സ്രോതസ്സായി ഹാലൈഡ് ചെയ്യുന്നതിനും രണ്ടാമത്തേത് വാതക സ്രോതസ്സായി ലോഹ-ഓർഗാനിക് സംയുക്തങ്ങൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനും. പ്രതിപ്രവർത്തന അറയിലെ മർദ്ദം അനുസരിച്ച്, അതിനെ മൂന്ന് പ്രധാന തരങ്ങളായി തിരിക്കാം: അന്തരീക്ഷമർദ്ദം CVD (APCVD), താഴ്ന്ന മർദ്ദം CVD (LPCVD), അൾട്രാ-ഹൈ വാക്വം CVD (UHV/CVD). ഊർജ്ജ-വർദ്ധിപ്പിച്ച സഹായ രീതിയായും CVD ഉപയോഗിക്കാം, ഇന്ന് സാധാരണയായി പ്ലാസ്മ-എൻഹാൻസ്ഡ് CVD (PECVD), ലൈറ്റ്-എൻഹാൻസ്ഡ് CVD (PCVD) മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു. CVD അടിസ്ഥാനപരമായി ഒരു ഗ്യാസ്-ഫേസ് ഡിപ്പോസിഷൻ രീതിയാണ്.

സിവിഡി അടിസ്ഥാനപരമായി ഒരു ഫിലിം രൂപീകരണ രീതിയാണ്, അതിൽ ഒരു വാതക-ഘട്ട പദാർത്ഥം ഉയർന്ന താപനിലയിൽ രാസപരമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കപ്പെടുന്ന ഒരു ഖരവസ്തു ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു. പ്രത്യേകിച്ചും, ബാഷ്പശീലമായ ലോഹ ഹാലൈഡുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ലോഹ ജൈവ സംയുക്തങ്ങൾ H, Ar, N പോലുള്ള ഒരു കാരിയർ വാതകവുമായി കലർത്തി, ഒരു രാസപ്രവർത്തനത്തിലൂടെ അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഒരു പ്രതിപ്രവർത്തന അറയിലെ ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് ഏകതാനമായി കൊണ്ടുപോകുന്നു. ഏത് തരം സിവിഡി ആയാലും, നിക്ഷേപം വിജയകരമായി നടപ്പിലാക്കാൻ കഴിയേണ്ടത് ഇനിപ്പറയുന്ന അടിസ്ഥാന വ്യവസ്ഥകൾ പാലിക്കണം: ആദ്യം, നിക്ഷേപ താപനിലയിൽ, റിയാക്ടന്റുകൾക്ക് ആവശ്യത്തിന് ഉയർന്ന നീരാവി മർദ്ദം ഉണ്ടായിരിക്കണം; രണ്ടാമതായി, പ്രതിപ്രവർത്തന ഉൽപ്പന്നത്തിന്, ഖരാവസ്ഥയ്ക്ക് ആവശ്യമുള്ള നിക്ഷേപത്തിന് പുറമേ, വാതകാവസ്ഥയുടെ ബാക്കി ഭാഗം; മൂന്നാമതായി, ചൂടാക്കിയ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ മുഴുവൻ പ്രക്രിയയിലും നിക്ഷേപ പ്രതികരണ പ്രക്രിയ നിലനിർത്താൻ കഴിയുമെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ നിക്ഷേപം തന്നെ ആവശ്യത്തിന് കുറഞ്ഞ നീരാവി മർദ്ദമായിരിക്കണം; നാലാമതായി, ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് അടിവസ്ത്ര പദാർത്ഥം കെമിക്കൽ പ്രതികരണത്തിലൂടെ അടിവസ്ത്രത്തിലെ പ്രതിപ്രവർത്തന അറയിലേക്ക് ഏകതാനമായി കൊണ്ടുപോകുന്നു. നാലാമതായി, അടിവസ്ത്ര പദാർത്ഥത്തിന്റെ നീരാവി മർദ്ദം നിക്ഷേപ താപനിലയിൽ ആവശ്യത്തിന് കുറവായിരിക്കണം.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചു byവാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ