Ma te whanui korero, ka taea te wehewehea te CVD ki nga momo e rua: ko tetahi kei roto i te hua kotahi i runga i te tuunga kohu tïpako o te paparanga epitaxial kirikiri kotahi, he iti nei te CVD; ko tetahi atu ko te waipara o nga kiriata angiangi i runga i te tïpako, tae atu ki nga hua maha me nga kiriata amorphous. E ai ki nga momo rereke o te puna hau e whakamahia ana, ka taea te wehewehea te CVD ki te tikanga kawe halogen me te whakarewa-organic matū kohu waipara (MOCVD), te mua ki te halide hei puna hau, te whakamutunga ki te whakarewa-organic pūhui hei puna hau. E ai ki te pehanga i roto i te ruma tauhohenga, ka taea te wehewehe ki nga momo matua e toru: te pehanga hau CVD (APCVD), te pehanga iti CVD (LPCVD) me te ultra-high vacuum CVD (UHV / CVD) .Ka taea hoki te whakamahi i te CVD hei tikanga awhina kaha-whakarei, a i enei ra ko nga mea noa kei roto ko te plasma-whakarei me te CVD (PCVD) me etahi atu (PCVD) CVD. Ko te CVD he tikanga tuku hau-waahanga.
Ko te CVD he tikanga hanga kiriata e tauhohe matū ai te matū hau-waahanga i te pāmahana teitei kia puta he matū totoka ka tuu ki runga i te tïpako. Inaa, ka konatunatuahia nga hauwaa konutara me nga puhui waro whakarewa ki te hau kaikawe penei i te H, Ar, me te N, katahi ka haria rite ki te tïpako pāmahana teitei i roto i te ruuma tauhohenga kia hanga he kiriata angiangi i runga i te tïpako ma te tauhohenga matū. Ahakoa he aha te ahua o te CVD, ka taea te whakatutuki angitu me tutuki nga tikanga taketake e whai ake nei: Tuatahi, i roto i te pāmahana waipara, me tino kaha te pehanga kohu o nga tauhohe; Tuarua, ko te hua tauhohenga, i tua atu i te putunga e hiahiatia ana mo te ahua totoka, te toenga o te ahua hau; Tuatoru, ko te putunga ake kia tino iti te pehanga kohu hei whakarite kia taea te pupuri i te tukanga tauhohenga waipara i roto i nga mahi katoa o te taputapu wera; Tuawha, ka haria rite te rauemi tïpako ki te ruma tauhohenga i runga i te tïpako, na roto i te tauhohenga matū ki te hanga i te kiriata kikokore. Tuawha, kia iti rawa te pehanga kohu o te taputapu tïpako i te pāmahana waipara.
– Kua tukuna tenei tuhinga bykaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Mei-04-2024