Iekārta galvenokārt izmanto ķīmisko tvaiku pārklāšanu, lai izveidotu oksīda plēvi, kurai piemīt ātrs nogulsnēšanas ātrums un augsta plēves kvalitāte. Runājot par iekārtas konstrukciju, dubulto durvju konstrukcija tiek izmantota, lai uzlabotu iespīlēšanas efektivitāti, un jaunākā šķidrās gāzes padeves sistēma tiek izmantota, lai nodrošinātu stabilu un kontrolējamu plūsmu un efektīvi nodrošinātu procesa stabilitāti. Ar iekārtu sagatavotajai plēvei ir laba ūdens tvaiku barjera un ilgāks stabilitātes periods viršanas testā.
Iekārtas var izmantot nerūsējošā tērauda, galvanizētu aparatūras/plastmasas detaļu, stikla, keramikas un citu materiālu, piemēram, elektronisko izstrādājumu, LED gaismas lodīšu, medicīnas preču un citu izstrādājumu, kuriem nepieciešama izturība pret oksidēšanos, apstrādei. SiOx barjerplēve galvenokārt ir paredzēta, lai efektīvi bloķētu ūdens tvaikus, novērstu koroziju un oksidēšanos, kā arī uzlabotu izstrādājuma kalpošanas laiku.
| Papildu modeļi | iekšējās kameras izmērs |
| ZHCVD1200 | φ1200 * H1950 (mm) |