Volframa kvēldiegs tiek uzkarsēts līdz augstai temperatūrai, kas izstaro karstus elektronus, radot augsta blīvuma elektronu plūsmu, un vienlaikus tiek iestatīts paātrinājuma elektrods, lai paātrinātu karstos elektronus augstas enerģijas elektronu plūsmā. Augsta blīvuma, augstas enerģijas elektronu plūsma var veicināt lielāku hlora jonizāciju, jonizēt vairāk metāla plēves slāņa atomu, iegūstot vairāk hlorīda jonu, lai uzlabotu izsmidzināšanas ātrumu, tādējādi palielinot nogulsnēšanās ātrumu: var panākt lielāku metāla jonizāciju, lai uzlabotu metāla jonizācijas ātrumu, kas veicina savienojuma plēves nogulsnēšanās reakciju; metāla plēves slāņa joni sasniedz sagatavi, lai uzlabotu sagataves strāvas blīvumu, tādējādi palielinot nogulsnēšanās ātrumu.
Magnetrona izsmidzināšanas cietajā pārklājumā palielinās strāvas blīvums un plēves organizācija sagataves priekšpusē un aizmugurē pēc karstās katodizācijas. TiSiCN pirms karstās katoda pievienošanas strāvas blīvums uz sagataves ir tikai 0,2 mA/mm2, pēc karstās katoda palielināšanas līdz 4,9 mA/mm2, kas ir aptuveni 24 reižu lielāks palielinājums, un plēves organizācija ir blīvāka. Var redzēt, ka magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanas tehnoloģijā karstā katoda pievienošana ir ļoti efektīva, lai uzlabotu magnetrona izsmidzināšanas nogulsnēšanās ātrumu un plēves daļiņu aktivitāti. Šī tehnoloģija var ievērojami uzlabot turbīnu lāpstiņu, dubļu sūkņu virzuļu un dzirnaviņu detaļu kalpošanas laiku.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 11. oktobris