Įranga daugiausia naudoja cheminį garų nusodinimą oksido plėvelei paruošti, pasižyminčiai dideliu nusodinimo greičiu ir aukšta plėvelės kokybe. Kalbant apie įrangos konstrukciją, dvigubų durų konstrukcija naudojama siekiant pagerinti prispaudimo efektyvumą, o naujausia skystų dujų tiekimo sistema užtikrina stabilų ir kontroliuojamą srautą bei efektyviai užtikrina proceso stabilumą. Įrangos paruošta plėvelė pasižymi geru vandens garų barjeru ir ilgesniu stabilumo laikotarpiu virimo bandyme.
Įranga gali būti naudojama nerūdijančiam plienui, galvanizuotoms detalėms / plastikinėms dalims, stiklui, keramikai ir kitoms medžiagoms, tokioms kaip elektronikos gaminiai, LED šviesos karoliukai, medicinos prekės ir kiti gaminiai, kuriems reikalingas atsparumas oksidacijai. SiOx barjerinė plėvelė daugiausia skirta efektyviai blokuoti vandens garus, užkirsti kelią korozijai ir oksidacijai bei prailginti gaminio tarnavimo laiką.
| Papildomi modeliai | vidinis kameros dydis |
| ZHCVD1200 | φ1200 * A1950 (mm) |