Volframo siūlelis kaitinamas iki aukštos temperatūros, kad išspinduliuotų karštus elektronus, kurie skleistų didelio tankio elektronų srautą, o tuo pačiu metu nustatomas greitintuvo elektrodas, kuris greitina karštus elektronus į didelės energijos elektronų srautą. Didelio tankio, didelės energijos elektronų srautas gali labiau jonizuoti chlorą, jonizuoti daugiau metalo plėvelės sluoksnio atomų, kad gautų daugiau chlorido jonų, pagerintų dulkinimo greitį ir taip padidintų nusodinimo greitį: galima labiau jonizuoti metalą, kad pagerintų metalo jonizacijos greitį, palankų junginio plėvelės nusodinimo reakcijai; metalo plėvelės sluoksnio jonai pasiekia ruošinį, kad pagerintų ruošinio srovės tankį ir taip padidintų nusodinimo greitį.
Magnetroninio dulkinimo kietojoje dangoje padidėja srovės tankis ir ruošinio priekinė ir galinė plėvelės struktūra po karštojo katodavimo. TiSiCN prieš pridedant karštąjį katodą, ruošinio srovės tankis yra tik 0,2 mA/mm2, o padidinus karštąjį katodą iki 4,9 mA/mm2, tai atitinka maždaug 24 kartų padidėjimą, o plėvelės struktūra yra tankesnė. Galima pastebėti, kad magnetroninio dulkinimo technologijoje karštojo katodo pridėjimas labai efektyviai pagerina magnetroninio dulkinimo nusodinimo greitį ir plėvelės dalelių aktyvumą. Ši technologija gali žymiai pagerinti turbinų menčių, purvo siurblių stūmoklių ir šlifuoklių dalių tarnavimo laiką.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. spalio 11 d.