De Wolframfilament gëtt op eng héich Temperatur erhëtzt, wouduerch waarm Elektronen erauskommen, fir en Elektronestroum mat héijer Dicht ofzesträichen, an zur selwechter Zäit gëtt eng Beschleunigungselektrode agestallt, fir déi waarm Elektronen an en Elektronestroum mat héijer Energie ze beschleunegen. Den Elektronestroum mat héijer Dicht an héijer Energie kann duerch méi Chlorioniséierung a méi Metallfilmschichtatome ioniséiert ginn, fir méi Chloridionen ze kréien, wat d'Sputterquote verbessert an doduerch d'Oflagerungsquote erhéicht: méi Metallioniséierung kann duerch méi Metallioniséierung verbessert ginn, wat zu der Reaktioun vun der Oflagerung vum Verbindungsfilm bäidréit; d'Metallfilmschichtionen erreechen d'Werkstéck, fir d'Stroumdicht vum Werkstéck ze verbesseren an doduerch d'Oflagerungsquote ze erhéijen.
Bei der Magnetron-Sputter-Hartbeschichtung gëtt d'Stroumdicht an d'Filmorganisatioun vum Werkstéck virun an hannen vun der waarmer Kathodiséierung erhéicht. Virum Zousaz vun der waarmer Kathod ass d'Stroumdicht um Werkstéck nëmmen 0,2 mA/mm2, nodeems d'waarm Kathod op 4,9 mA/mm2 eropgaangen ass, wat enger Erhéijung ëm ongeféier 24 Mol entsprécht, an d'Filmorganisatioun ass méi dicht. Et ass ze gesinn, datt an der Magnetron-Sputter-Beschichtungstechnologie d'Zousätzlech vun enger waarmer Kathod ganz effektiv ass fir d'Oflagerungsquote vum Magnetron-Sputter an d'Aktivitéit vun de Filmpartikelen ze verbesseren. Dës Technologie kann d'Liewensdauer vun Turbinnenblieder, Schlammpompelkolben a Schleifdeeler däitlech verbesseren.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 11. Oktober 2023