Кеңири сөз менен айтканда, CVD болжол менен эки түргө бөлүүгө болот: бири тар CVD болуп саналат, бир-кристаллдуу эпитаксиалдык катмарынын субстрат буусу боюнча жалгыз продукт болуп саналат; экинчиси – субстраттын үстүнө жука пленкалардын, анын ичинде көп продуктулуу жана аморфтук пленкалардын түшүшү. Колдонулган булак газдарынын ар кандай түрлөрүнө ылайык, CVD галогенди ташуу ыкмасына жана металл-органикалык химиялык буулардын катмарына (MOCVD), биринчиси газ булагы катары галогендикке, экинчиси газ булагы катары металл-органикалык бирикмелерге бөлүнөт. Реакция камерасындагы басымга ылайык, аны үч негизги түргө бөлүүгө болот: атмосфералык басым CVD (APCVD), төмөнкү басымдагы CVD (LPCVD) жана ультра жогорку вакуумдук CVD (UHV/CVD). CVD энергияны жакшырткан көмөкчү ыкма катары да колдонулушу мүмкүн, ал эми азыркы кездеги жарыктандыруучу ыкмалар (CVD) кирет. CVD (PCVD) ж.
CVD – бул пленка түзүү ыкмасы, мында газ фазалуу зат субстраттын үстүнө салынган катуу затты өндүрүү үчүн жогорку температурада химиялык реакцияга кирет. Тактап айтканда, учуучу металл галогениддери же металл органикалык бирикмелери H, Ar же N сыяктуу алып жүрүүчү газ менен аралашып, андан кийин химиялык реакция аркылуу субстраттын үстүндө жука пленканы пайда кылуу үчүн реакция камерасындагы жогорку температурадагы субстратка бир калыпта ташылат. КВДнын кайсы түрү болбосун, тундурууну ийгиликтүү жүргүзүү төмөнкү негизги шарттарга жооп бериши керек: Биринчиден, коюу температурасында реагенттер жетишерлик жогорку буу басымына ээ болушу керек; Экинчиден, реакция продуктусу, катуу абал үчүн керектүү кенинен тышкары, калган газ абалында; Үчүнчүдөн, кендин өзү буу басымы жетишерлик төмөн болушу керек, деполуу реакция процесси ысытылган субстраттын бүт процессинде сакталышы үчүн; Төртүнчүдөн, субстрат материалы жука пленканы пайда кылуу үчүн химиялык реакция аркылуу субстраттагы реакция камерасына бир калыпта ташылат. Төртүнчүдөн, субстрат материалынын буу басымы, ошондой эле коюу температурасында жетиштүү төмөн болушу керек.
– Бул макала жарык көрдү byвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Билдирүү убактысы: 2024-04-04