Вольфрам жипчеси жогорку тыгыздыктагы электрон агымын чыгаруу үчүн ысык электрондорду чыгарган жогорку температурага чейин ысытылат жана ошол эле учурда ысык электрондорду жогорку энергиялуу электрон агымына тездетүү үчүн тездетүүчү электрод орнотулган. Жогорку тыгыздыктагы, жогорку энергиялуу электрон агымы көбүрөөк хлор иондоштуруу болушу мүмкүн, көбүрөөк металл пленка катмарынын атомдору чачыратуу ылдамдыгын жакшыртуу үчүн хлорид иондорун алуу үчүн иондоштурулган, ошону менен чөкүү ылдамдыгын жогорулатуу: металл иондошуу ылдамдыгын жакшыртуу үчүн дагы металл иондошуу болушу мүмкүн, кошулма пленканын тунмасынын реакциясына шарт түзөт; металл пленка катмары иондору иш бөлүгүнүн учурдагы тыгыздыгын жакшыртуу, ошону менен чөкмө ылдамдыгын жогорулатуу үчүн даярдоо бөлүгүнө жетүү үчүн.
Магнетронду чачыратуу катуу каптоодо, ысык катоддоштуруунун алдыңкы жана арткы бөлүгүнүн токтун тыгыздыгынын жана пленканын уюштуруусунун жогорулашы. ысык катод кошуу чейин TiSiCN, workpiece боюнча учурдагы тыгыздыгы гана 0,2mA / мм, ысык катоддун 4,9mA / мм2 үчүн жогорулатуу кийин, бул 24 эсеге же андан көп өсүшүнө барабар, кино уюштуруу дагы тыгыз болуп саналат. Магнетронду чачыратуу каптоо технологиясында ысык катодду кошуу магнетронду чачыратуу чөктүрүүнүн ылдамдыгын жана пленка бөлүкчөлөрүнүн активдүүлүгүн жакшыртууда абдан натыйжалуу экенин көрүүгө болот. Бул технология турбиналык калпактардын, ылай насосунун плунжерлеринин жана жаргылчак тетиктеринин иштөө мөөнөтүн бир топ жакшыртат.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 11-окт.2023