Bi berfirehî, CVD dikare bi giranî li du celeb were dabeş kirin: yek di berhema yekane de li ser substratê danîna buhara qata epitaksiyal a krîstala yekane ye, ku bi kurtî CVD ye; ya din danîna fîlmên zirav li ser substratê ye, di nav de fîlmên pir-berhem û amorf. Li gorî celebên cûda yên gazên çavkaniyê yên ku têne bikar anîn, CVD dikare li ser rêbaza veguhastina halojen û danîna buhara kîmyewî ya metal-organîk (MOCVD) were dabeş kirin, ya berê ji bo halîd wekî çavkaniya gazê, ya paşîn ji bo pêkhateyên metal-organîk wekî çavkaniya gazê. Li gorî zexta di odeya reaksiyonê de, ew dikare li sê celebên sereke were dabeş kirin: CVD ya zexta atmosferîk (APCVD), CVD ya zexta nizm (LPCVD) û CVD ya valahiyek ultra-bilind (UHV/CVD). CVD dikare wekî rêbazek alîkar a enerjiyê-zêdekirî jî were bikar anîn, û îro yên hevpar CVD ya plazma-zêdekirî (PECVD) û CVD ya bi ronahiyê-zêdekirî (PCVD), û hwd. CVD di bingeh de rêbazek danîna qonaxa gazê ye.
CVD bi esasî rêbazeke çêkirina fîlmê ye ku tê de madeyek di qonaxa gazê de di germahiya bilind de bi awayekî kîmyayî reaksiyonê nîşan dide da ku madeyek hişk çêbike ku li ser substratê tê danîn. Bi taybetî, halîdên metalên firar an jî pêkhateyên organîk ên metal bi gazek hilgir wekî H, Ar, an N re têne tevlihevkirin, û dûv re bi awayekî yekreng di odeya reaksiyonê de ber bi substratek germahiya bilind ve têne veguhastin da ku bi rêya reaksiyonek kîmyewî fîlmek zirav li ser substratê çêbikin. Çi celeb CVD be jî, danîn dikare bi serkeftî were kirin divê şertên bingehîn ên jêrîn bicîh bîne: Pêşîn, di germahiya danînê de, divê reaktant zexta buharê ya têra xwe bilind be; Duyemîn, berhema reaksiyonê, ji bilî danîna xwestî ji bo rewşa hişk, mayî ya rewşa gazê; Sêyemîn, danîn bi xwe divê zexta buharê têra xwe nizm be da ku pêvajoya reaksiyona danînê di tevahiya pêvajoya substrata germ de were parastin; Çaremîn, materyalê substratê bi awayekî yekreng ber bi odeya reaksiyonê ya li ser substratê ve tê veguhastin, bi rêya reaksiyona kîmyewî da ku fîlmek zirav çêbike. Çaremîn, zexta buharê ya materyalê substratê bi xwe jî divê di germahiya danînê de têra xwe nizm be.
- Ev gotar tê weşandin byçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Gulan-04-2024