Têla tungstenê heta germahiyek bilind tê germ kirin ku elektronên germ derdixe da ku herikek elektronê ya bi dendika bilind derxe, û di heman demê de elektrodek bilezker tê danîn da ku elektronên germ bilezîne û bike herikek elektronê ya bi enerjiya bilind. Herikîna elektronê ya bi dendika bilind û enerjiya bilind dikare bêtir klorê îyonîze bike, bêtir atomên qata fîlma metal îyonîze bike da ku bêtir îyonên klorîd bi dest bixe da ku rêjeya sputterkirinê baştir bike, bi vî rengî rêjeya danînê zêde bike: dikare bêtir îyonîze bike da ku rêjeya îyonîzekirina metal baştir bike, ku ji bo reaksiyona danîna fîlma tevlihev guncan e; îyonên qata fîlma metal digihîjin perçeya kar da ku dendika niha ya perçeya kar baştir bike, bi vî rengî rêjeya danînê zêde bike.
Di pêçandina hişk a bi sputterkirina magnetronê de, dendika niha û rêxistina fîlmê ya perçeya kar li pêş û pişta katodîzasyona germ zêde dibe. Berî zêdekirina katoda germ, dendika niha ya li ser perçeya kar tenê 0.2mA/mm2 ye, piştî ku katoda germ zêde dibe heta 4.9mA/mm2, ku ev wekhevî zêdebûna 24 qatan an jî zêdetir e, û rêxistina fîlmê jî zexmtir dibe. Diyar e ku di teknolojiya pêçandina sputterkirina magnetronê de, zêdekirina katodek germ di baştirkirina rêjeya danîna sputterkirina magnetronê û çalakiya perçeyên fîlmê de pir bi bandor e. Ev teknoloji dikare jiyana perrên turbînê, pistonên pompa heriyê û perçeyên hûrkirinê bi girîngî baştir bike.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Cotmeh-11-2023