본 장비는 주로 화학 기상 증착법을 사용하여 산화막을 제조하는데, 이는 증착 속도가 빠르고 박막 품질이 우수한 특성을 가지고 있습니다. 장비 구조는 이중 도어 구조를 통해 클램핑 효율을 향상시켰으며, 최신 액체 가스 공급 시스템을 채택하여 안정적이고 제어 가능한 흐름을 보장하고 공정 안정성을 효과적으로 보장합니다. 본 장비로 제조된 박막은 우수한 수증기 차단성을 가지며, 비등 시험에서 안정 기간이 더 깁니다.
본 장비는 스테인리스강, 전기도금 하드웨어/플라스틱 부품, 유리, 세라믹 및 기타 전자 제품, LED 조명 비드, 의료용품 등 산화 방지가 필요한 제품에 적용할 수 있습니다. SiOx 차단막은 주로 수증기를 효과적으로 차단하고, 부식 및 산화를 방지하며, 제품 수명을 향상시키기 위해 제조됩니다.
| 옵션 모델 | 내부 챔버 크기 |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(mm) |