និយាយឱ្យទូលំទូលាយ CVD អាចត្រូវបានបែងចែកជាពីរប្រភេទ: មួយគឺនៅក្នុងផលិតផលតែមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមនៃចំហាយនៃស្រទាប់ epitaxial គ្រីស្តាល់តែមួយដែលតូចចង្អៀត CVD; មួយទៀតគឺការដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម រួមទាំងហ្វីលពហុផលិតផល និងអាម៉ូហ្វ។ យោងតាមប្រភេទផ្សេងគ្នានៃឧស្ម័នប្រភពដែលបានប្រើ CVD អាចបែងចែកទៅជាវិធីសាស្ត្រដឹកជញ្ជូន halogen និងការបំភាយចំហាយគីមីនៃលោហៈ-សរីរាង្គ (MOCVD) ដែលជាអតីតដើម្បី halide ជាប្រភពឧស្ម័ន ក្រោយមកទៀតទៅជាសមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គជាប្រភពឧស្ម័ន។ យោងតាមសម្ពាធក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម វាអាចបែងចែកជាបីប្រភេទធំៗគឺ សម្ពាធបរិយាកាស CVD (APCVD) សម្ពាធទាប CVD (LPCVD) និង CVD ខ្ពស់ជ្រុល (UHV/CVD)។ CVD ក៏អាចប្រើជាវិធីសាស្ត្រជំនួយដែលបង្កើនថាមពល ហើយបច្ចុប្បន្ននេះ មធ្យោបាយទូទៅរួមមាន plasma CVDPE-enh និង plasma CVDPE ។ CVD (PCVD) ជាដើម។ CVD គឺសំខាន់ជាវិធីសាស្ត្របំប្លែងឧស្ម័នតាមដំណាក់កាល។
CVD គឺជាវិធីសាស្រ្តបង្កើតខ្សែភាពយន្តដែលសារធាតុដំណាក់កាលឧស្ម័នត្រូវបានប្រតិកម្មគីមីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតសារធាតុរឹងដែលត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ ជាពិសេស សារធាតុលោហៈដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុ ឬសារធាតុសរីរាង្គដែកត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាជាមួយឧស្ម័នដឹកជញ្ជូនដូចជា H, Ar, ឬ N ហើយបន្ទាប់មកត្រូវបានដឹកជញ្ជូនស្មើៗគ្នាទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។ មិនថាប្រភេទ CVD បែបណានោះទេ ការទម្លាក់អាចត្រូវបានអនុវត្តដោយជោគជ័យត្រូវតែបំពេញតាមលក្ខខណ្ឌមូលដ្ឋានដូចខាងក្រោមៈ ជាដំបូងនៅក្នុងសីតុណ្ហភាពនៃការដាក់សំណល់ ប្រតិកម្មត្រូវតែមានសម្ពាធចំហាយខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់។ ទីពីរផលិតផលប្រតិកម្ម, បន្ថែមពីលើប្រាក់បញ្ញើដែលចង់បានសម្រាប់រដ្ឋរឹង, នៅសល់នៃរដ្ឋ gaseous; ទីបី ប្រាក់បញ្ញើដោយខ្លួនវាគួរតែមានសម្ពាធចំហាយទាបគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីធានាថាដំណើរការប្រតិកម្មនៃការដាក់ប្រាក់អាចត្រូវបានរក្សាទុកនៅក្នុងដំណើរការទាំងមូលនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលគេឱ្យឈ្មោះថា; ទីបួន សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដឹកជញ្ជូនស្មើៗគ្នាទៅកាន់អង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្មនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈប្រតិកម្មគីមីដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើង។ ទីបួន សម្ពាធចំហាយនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមខ្លួនវាក៏គួរមានកម្រិតទាបគ្រប់គ្រាន់ផងដែរនៅសីតុណ្ហភាពនៃការដាក់។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយ byក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-០៤-២០២៤