Вольфрам жіпі жоғары тығыздықтағы электрон ағынын шығару үшін ыстық электрондарды шығаратын жоғары температураға дейін қызады және сонымен бірге ыстық электрондарды жоғары энергиялы электрон ағынына жеделдету үшін үдеткіш электрод орнатылады. Тығыздығы жоғары, жоғары энергиялы электрон ағыны көп хлор ионизациясы болуы мүмкін, шашырау жылдамдығын жақсарту үшін көп хлор иондарын алу үшін көбірек металл пленка қабатының атомдары иондалады, осылайша тұндыру жылдамдығы жоғарылайды: металл ионизациясының жылдамдығын жақсарту үшін металл ионизациясы болуы мүмкін, құрама пленканың тұндыру реакциясына ықпал етеді; металл пленка қабатының иондары дайындамаға жету үшін дайындаманың ағымдағы тығыздығын жақсарту, осылайша тұндыру жылдамдығын арттырады.
Магнетронды шашыратқышта қатты жабын, Ток тығыздығының жоғарылауы және ыстық катодизацияның алдыңғы және артқы дайындамасының пленкалық ұйымы. TiSiCN ыстық катодты қосқанға дейін дайындамадағы ток тығыздығы тек 0,2мА/мм құрайды, ыстық катодты 4,9мА/мм2-ге дейін ұлғайтқаннан кейін, бұл 24 есе немесе одан да көп өсуге барабар және пленканы ұйымдастыру тығызырақ. Магнетронды шашыратқыш жабын технологиясында ыстық катодты қосу магнетронды шашырату шөгу жылдамдығын және қабықша бөлшектерінің белсенділігін жақсартуда өте тиімді екенін көруге болады. Бұл технология турбиналық қалақтардың, балшық сорғысының плунжерлерінің және тегістеуіш бөлшектерінің қызмет ету мерзімін айтарлықтай жақсарта алады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 11 қазан 2023 ж