1) 円筒形ターゲットは平面形ターゲットよりも利用率が高い。コーティング工程において、回転磁石式でも回転管式でも、ターゲット管表面のあらゆる部分が永久磁石の前方に形成されたスパッタリング領域を連続的に通過し、陰極スパッタリングを受けるため、ターゲットは均一にスパッタエッチングされるため、ターゲット利用率は高い。ターゲット材料の利用率は約80%～90%である。
2) 円筒形ターゲットは「ターゲット被毒」が発生しにくい。コーティング工程において、ターゲットチューブの表面は常にイオンによるスパッタリングとエッチングを受けているため、表面に厚い酸化物などの絶縁膜が蓄積されにくく、「ターゲット被毒」が発生しにくい。
3)回転ターゲットチューブ型円筒スパッタリングターゲットは構造がシンプルで取り付けも簡単です。
4）円筒形ターゲットチューブの材質には様々な種類があります。平面ターゲットは金属ターゲットを直接水冷しますが、In₂-SnO₂ターゲットなど、粉末材料を用いて熱間静水圧プレスで板状のターゲットを得る加工・成形ができないものもあります。これは、サイズが大きく取れず脆いため、ろう付け法と銅バックプレートを用いて一体化し、ターゲットベースに設置する必要があります。金属パイプに加えて、円柱状ターゲットはステンレス鋼パイプの表面にSi、Crなどの様々なコーティング材料をスプレー塗布することも可能です。
現在、工業生産におけるコーティング用円筒ターゲットの割合が増加しています。円筒ターゲットは、垂直コーティング機だけでなく、ロールツーロールコーティング機にも使用されています。近年、平面ツインターゲットは徐々に円筒ツインターゲットに置き換えられています。
——この記事は、広東振華科技有限公司が発表した。光学コーティング機メーカー.
投稿日時: 2023年5月11日