1) Maƙasudin silinda yana da ƙimar amfani mafi girma fiye da maƙasudin silinda. A cikin tsarin shafa, ko dai nau'in maganadisu ne mai juyawa ko kuma nau'in bututun silinda mai juyawa, duk sassan saman bututun da aka yi niyya suna ci gaba da wucewa ta yankin sputtering da aka samar a gaban magnet ɗin dindindin don karɓar sputtering na cathode, kuma ana iya yin abin da aka yi niyya a cikin tsari iri ɗaya, kuma ƙimar amfani da abin da aka yi niyya yana da yawa. Yawan amfani da kayan da aka yi niyya shine kusan 80% ~ 90%.
2) Makasudin da aka yi amfani da su wajen yin amfani da silinda ba zai yi wahalar samar da "guba mai ma'ana" ba. A lokacin aikin shafa, saman bututun da aka yi amfani da shi a koyaushe yana da ions kuma yana da laushi, kuma ba abu ne mai sauƙi a tara kauri oxides da sauran fina-finan rufewa a saman ba, kuma ba abu ne mai sauƙi a samar da "guba mai ma'ana" ba.
3) Tsarin bututun da aka yi amfani da shi wajen yin amfani da bututun roba mai siffar silinda yana da sauƙi kuma mai sauƙin shigarwa.
4) Kayan bututun da aka yi niyya da silinda yana da nau'ikan nau'ikan bututun da aka yi niyya da su, waɗanda ba za a iya sarrafa su da kuma samar da su a matsayin silinda ba, kamar su In2-SnO2 target, da sauransu. Tare da kayan foda don matsi mai zafi na isostatic don samun maƙasudai masu kama da faranti, saboda girman ba za a iya yin girma da ƙarfi ba, don haka ya zama dole a yi amfani da hanyar brazing da farantin baya na jan ƙarfe don haɗawa sannan a girka su a kan tushen da aka yi niyya. Baya ga bututun ƙarfe, ana iya fesa maƙasudai masu ginshiƙi a saman bututun ƙarfe tare da kayan aiki daban-daban waɗanda ke buƙatar a shafa su, kamar Si, Cr, da sauransu.
A halin yanzu, yawan maƙasudin silinda don shafa shafi a masana'antu yana ƙaruwa. Maƙasudin silinda ba wai kawai ana amfani da shi don injin shafa shafi a tsaye ba, har ma ana amfani da shi a cikin injin shafa shafi na birgima zuwa birgima. A cikin 'yan shekarun nan, ana maye gurbin maƙasudin tagwayen planar a hankali da maƙasudin tagwayen Cylindrical.
——An fitar da wannan labarin ne ta hanyar kamfanin fasahar Guangdong Zhenhua, wani kamfanin fasahaƙera injunan rufe ido na gani.
Lokacin Saƙo: Mayu-11-2023