1) Cilindrische targets hebben een hogere benuttingsgraad dan vlakke targets. Bij het coatingproces, of het nu gaat om een cilindrisch sputtertarget met roterende magneet of een cilindrisch target met roterende buis, passeren alle delen van het oppervlak van de targetbuis continu het sputtergebied dat voor de permanente magneet wordt gegenereerd om kathodische sputtering te ontvangen. Hierdoor kan het target uniform gesputterd en geëtst worden, wat resulteert in een hoge benuttingsgraad van het targetmateriaal. De benuttingsgraad van het targetmateriaal ligt rond de 80% tot 90%.
2) Cilindrische targets zullen niet snel "targetvergiftiging" veroorzaken. Tijdens het coatingproces wordt het oppervlak van de targetbuis voortdurend gesputterd en geëtst door ionen, waardoor er niet snel dikke oxiden en andere isolerende films op het oppervlak ophopen en "targetvergiftiging" optreedt.
3) De structuur van het cilindrische sputterdoel van het roterende doelbuistype is eenvoudig en gemakkelijk te installeren.
4) Het materiaal voor cilindrische doelbuizen is er in verschillende soorten. Er zijn vlakke metalen doelen die direct met water worden gekoeld, en sommige doelen kunnen niet worden verwerkt en gevormd tot cilindrische doelen, zoals In2-SnO2-doelen, enz. Deze worden gemaakt van poedermateriaal dat door middel van heet isostatisch persen plaatvormige doelen oplevert. Omdat deze niet groot genoeg kunnen worden gemaakt en broos zijn, is het noodzakelijk om ze te solderen en een koperen achterplaat te gebruiken om ze te integreren en vervolgens op de doelbasis te monteren. Naast metalen buizen kunnen kolomvormige doelen ook worden aangebracht op roestvrijstalen buizen met verschillende coatings, zoals Si, Cr, enz.
Momenteel neemt het aandeel cilindrische targets voor coating in de industriële productie toe. Cilindrische targets worden niet alleen gebruikt in verticale coatingmachines, maar ook in rolcoatingmachines. De afgelopen jaren worden vlakke dubbele targets geleidelijk aan vervangen door cilindrische dubbele targets.
— Dit artikel is uitgegeven door Guangdong Zhenhua Technology, eenfabrikant van optische coatingmachines.
Geplaatst op: 11 mei 2023