1) Цилиндрические мишени имеют более высокую степень использования, чем плоские. В процессе нанесения покрытия, будь то вращающаяся магнитная или вращающаяся трубчатая цилиндрическая мишень для магнетронного распыления, все участки поверхности трубки мишени непрерывно проходят через зону распыления, создаваемую перед постоянным магнитом, для получения катодного распыления, и мишень может быть равномерно подвергнута магнетронному травлению, что обеспечивает высокую степень использования мишени. Степень использования материалов мишени составляет около 80–90%.
2) Цилиндрические мишени не склонны к «отравлению мишени». В процессе нанесения покрытия поверхность мишени постоянно подвергается распылению и травлению ионами, что предотвращает накопление толстых оксидных и других изолирующих пленок на поверхности и, следовательно, не приводит к «отравлению мишени».
3) Конструкция цилиндрической мишени для магнетронного распыления с вращающейся мишенью проста и удобна в установке.
4) Материал цилиндрической мишени может быть различных типов. Плоские мишени изготавливаются из металла с прямым водяным охлаждением, а некоторые не поддаются обработке и формовке в виде цилиндрических мишеней, например, мишени из In2-SnO2 и т. д. Для получения пластинчатых мишеней методом горячего изостатического прессования порошковых материалов, поскольку их размер невелик, и они хрупкие, поэтому необходимо использовать метод пайки и медную подложку для интеграции и последующей установки на основание мишени. Помимо металлических труб, столбчатые мишени также могут быть изготовлены путем напыления на поверхность труб из нержавеющей стали различных материалов, требующих покрытия, таких как Si, Cr и т. д.
В настоящее время доля цилиндрических мишеней для нанесения покрытий в промышленном производстве растет. Цилиндрические мишени используются не только в вертикальных машинах для нанесения покрытий, но и в рулонных машинах. В последние годы плоские двойные мишени постепенно заменяются цилиндрическими двойными мишенями.
— Данная статья была опубликована компанией Guangdong Zhenhua Technology.производитель машин для нанесения оптических покрытий.
Дата публикации: 11 мая 2023 г.