1) Tarcze cylindryczne charakteryzują się wyższym wskaźnikiem wykorzystania niż tarcze płaskie. W procesie powlekania, niezależnie od tego, czy jest to tarcza magnetyczna obrotowa, czy tarcza z obrotową rurą cylindryczną, wszystkie części powierzchni tarczy przechodzą w sposób ciągły przez obszar rozpylania generowany przed magnesem trwałym, aby uzyskać rozpylanie katodowe. Tarcza może być równomiernie trawiona metodą rozpylania, a wskaźnik wykorzystania tarczy jest wysoki. Wskaźnik wykorzystania materiałów tarczy wynosi około 80%–90%.
2) Tarcze cylindryczne nie będą łatwe do wywołania „zatrucia celu”. Podczas procesu powlekania powierzchnia rury tarczy jest zawsze rozpylana i trawiona jonami, a gromadzenie się na niej grubych tlenków i innych warstw izolacyjnych jest trudne, a tym samym niełatwe jest wywołanie „zatrucia celu”.
3) Konstrukcja cylindrycznej tarczy rozpylającej z obrotową rurką jest prosta i łatwa w montażu.
4) Materiał cylindrycznej rury tarczowej jest różny. Tarcza płaska z tarczą metalową, chłodzona bezpośrednio wodą, a niektóre tarcze cylindryczne, takie jak tarcza In2-SnO2 itp., nie nadają się do obróbki i formowania. Tarcze cylindryczne, takie jak tarcza In2-SnO2 itp., są prasowane izostatycznie na gorąco, co pozwala uzyskać tarcze o kształcie płytki. Ze względu na kruchość i niemożność uzyskania dużych rozmiarów, konieczne jest lutowanie twarde i zastosowanie miedzianej płyty tylnej, a następnie montaż na podstawie tarczy. Oprócz rur metalowych, tarcze kolumnowe można również natryskiwać na powierzchnię rur ze stali nierdzewnej różnymi materiałami wymagającymi pokrycia, takimi jak Si, Cr itp.
Obecnie rośnie udział tarcz cylindrycznych do powlekania w produkcji przemysłowej. Tarcze cylindryczne są stosowane nie tylko w pionowych maszynach powlekających, ale również w maszynach powlekających typu „roll-to-roll”. W ostatnich latach płaskie tarcze podwójne są stopniowo zastępowane tarczami cylindrycznymi.
——Artykuł ten został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology,producent maszyn do powlekania optycznego.
Czas publikacji: 11 maja 2023 r.