1) Silindrik hədəflər müstəvi hədəflərə nisbətən daha yüksək istifadə nisbətinə malikdir. Örtük prosesində, istər fırlanan maqnit növü, istərsə də fırlanan boru tipli silindrik püskürtmə hədəfi olsun, hədəf borunun səthinin bütün hissələri katod püskürtməsini qəbul etmək üçün daimi maqnitin qarşısında yaranan püskürtmə sahəsindən davamlı olaraq keçir və hədəf bərabər şəkildə püskürtülə bilər və hədəfin istifadə nisbəti yüksəkdir. Hədəf materialların istifadə nisbəti təxminən 80% ~ 90% -dir.
2) Silindrik hədəflərin "hədəf zəhərlənməsi"nə səbəb olması asan olmayacaq. Örtük prosesi zamanı hədəf borunun səthi həmişə ionlarla çilənir və aşındırılır, səthdə qalın oksidlər və digər izolyasiyaedici təbəqələrin toplanması asan deyil və "hədəf zəhərlənməsi"nə səbəb olması asan deyil.
3) Dönər hədəf borusu tipli silindrik püskürtmə hədəfinin quruluşu sadə və quraşdırılması asandır.
4) Silindrik hədəf borusu materialının müxtəlif növləri var. Metal hədəf birbaşa su ilə soyudulur və bəziləri emal oluna və In2-SnO2 hədəfi kimi silindrik hədəflər əmələ gətirilə bilməz. Plitəyə bənzər hədəflər əldə etmək üçün isti izostatik presləmə üçün toz materialı ilə istifadə olunur, çünki ölçü böyük və kövrək edilə bilməz, buna görə də inteqrasiya etmək və sonra hədəf bazasına quraşdırmaq üçün lehimləmə metodundan və mis arxa lövhədən istifadə etmək lazımdır. Metal borulara əlavə olaraq, sütunlu hədəflər də paslanmayan polad boruların səthinə Si, Cr və s. kimi müxtəlif örtüklü materiallarla püskürdülə bilər.
Hazırda sənaye istehsalında örtük üçün silindrik hədəflərin nisbəti artmaqdadır. Silindrik hədəflər yalnız şaquli örtük maşını üçün deyil, həm də rulondan rulona örtük maşınında istifadə olunur. Son illərdə müstəvi qoşa hədəflər tədricən Silindrik qoşa hədəflərlə əvəz olunur.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology tərəfindən dərc ediliboptik örtük maşınları istehsalçısı.
Yayımlanma vaxtı: 11 may 2023