ข้อดีของเป้าทรงกระบอก

1) เป้าหมายทรงกระบอกมีอัตราการใช้ประโยชน์สูงกว่าเป้าหมายทรงแบน ในกระบวนการเคลือบ ไม่ว่าจะเป็นเป้าหมายการสปัตเตอร์ทรงกระบอกแบบแม่เหล็กหมุนหรือแบบท่อหมุน ทุกส่วนของพื้นผิวท่อเป้าหมายจะผ่านบริเวณการสปัตเตอร์ที่เกิดขึ้นด้านหน้าแม่เหล็กถาวรอย่างต่อเนื่องเพื่อรับการสปัตเตอร์จากแคโทด และเป้าหมายจะถูกกัดเซาะด้วยการสปัตเตอร์อย่างสม่ำเสมอ ทำให้อัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายสูง โดยอัตราการใช้ประโยชน์ของวัสดุเป้าหมายอยู่ที่ประมาณ 80%~90%

2) เป้าทรงกระบอกจะไม่เกิด “การปนเปื้อนของเป้า” ได้ง่าย ในระหว่างกระบวนการเคลือบผิว ผิวของท่อเป้าจะถูกสปัตเตอร์และกัดกร่อนด้วยไอออนอยู่เสมอ และจะไม่เกิดการสะสมของออกไซด์หนาหรือฟิล์มฉนวนอื่นๆ บนพื้นผิวได้ง่าย จึงไม่เกิด “การปนเปื้อนของเป้า” ได้ง่าย

3) โครงสร้างของเป้าพ่นแบบทรงกระบอกชนิดท่อหมุนนั้นเรียบง่ายและติดตั้งง่าย

4) วัสดุของท่อเป้าหมายทรงกระบอกมีหลายประเภท เช่น เป้าหมายแบบแผ่นที่ทำจากโลหะและระบายความร้อนด้วยน้ำโดยตรง และบางชนิดไม่สามารถแปรรูปและขึ้นรูปเป็นทรงกระบอกได้ เช่น เป้าหมาย In2-SnO2 เป็นต้น บางชนิดใช้ผงวัสดุในการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกสูงเพื่อให้ได้เป้าหมายแบบแผ่น แต่เนื่องจากไม่สามารถทำให้มีขนาดใหญ่ได้และเปราะ จึงจำเป็นต้องใช้วิธีการบัดกรีและแผ่นรองหลังทองแดงเพื่อเชื่อมต่อแล้วติดตั้งบนฐานเป้าหมาย นอกจากท่อโลหะแล้ว เป้าหมายทรงกระบอกยังสามารถพ่นเคลือบลงบนพื้นผิวของท่อสแตนเลสด้วยวัสดุต่างๆ ที่ต้องการเคลือบ เช่น Si, Cr เป็นต้น

ปัจจุบัน สัดส่วนของเป้าทรงกระบอกสำหรับการเคลือบในกระบวนการผลิตทางอุตสาหกรรมกำลังเพิ่มขึ้น เป้าทรงกระบอกไม่เพียงแต่ใช้ในเครื่องเคลือบแนวตั้งเท่านั้น แต่ยังใช้ในเครื่องเคลือบแบบม้วนต่อม้วนอีกด้วย ในช่วงไม่กี่ปีมานี้ เป้าคู่แบบแบนราบกำลังถูกแทนที่ด้วยเป้าคู่ทรงกระบอกมากขึ้นเรื่อยๆ

——บทความนี้เผยแพร่โดยบริษัท Guangdong Zhenhua Technologyผู้ผลิตเครื่องเคลือบผิวทางแสง.