1) தட்டையான இலக்குகளை விட உருளை வடிவ இலக்குகள் அதிக பயன்பாட்டு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளன. பூச்சுச் செயல்பாட்டின் போது, அது சுழலும் காந்த வகை அல்லது சுழலும் குழாய் வகை உருளை வடிவ ஸ்பட்டரிங் இலக்காக இருந்தாலும், இலக்குக் குழாயின் மேற்பரப்பின் அனைத்துப் பகுதிகளும் நிரந்தரக் காந்தத்தின் முன்னால் உருவாக்கப்பட்ட ஸ்பட்டரிங் பகுதி வழியாகத் தொடர்ந்து சென்று கேத்தோடு ஸ்பட்டரிங்கைப் பெறுகின்றன. இதனால், இலக்கைச் சீராக ஸ்பட்டர் செய்து பொறிக்க முடிகிறது, மேலும் இலக்குப் பயன்பாட்டு விகிதமும் அதிகமாக உள்ளது. இலக்குப் பொருட்களின் பயன்பாட்டு விகிதம் சுமார் 80% முதல் 90% வரை இருக்கும்.
2) உருளை வடிவ இலக்குகளில் “இலக்கு நச்சுத்தன்மை” ஏற்படுவது எளிதல்ல. பூச்சு செயல்முறையின் போது, இலக்குக் குழாயின் மேற்பரப்பு எப்போதும் அயனிகளால் சிதறடிக்கப்பட்டு மற்றும் அரிக்கப்படுவதால், அதன் மேற்பரப்பில் தடிமனான ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிற மின்காப்புப் படலங்கள் படிவது எளிதல்ல, அதனால் “இலக்கு நச்சுத்தன்மை” ஏற்படுவதும் எளிதல்ல.
3) சுழலும் இலக்குக் குழாய் வகை உருளை வடிவ ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் அமைப்பு எளிமையானது மற்றும் நிறுவுவதற்கு சுலபமானது.
4) உருளை வடிவ இலக்குக் குழாய்ப் பொருளில் பல்வேறு வகைகள் உள்ளன. உலோக இலக்குடன் கூடிய தட்டையான இலக்கு நேரடியாக நீர் குளிர்விப்பு செய்யப்படுகிறது. மேலும், In2-SnO2 இலக்கு போன்ற சிலவற்றைச் செயலாக்கி உருளை வடிவ இலக்குகளாக உருவாக்க முடியாது. இவற்றின் அளவை பெரிதாக உருவாக்க முடியாததாலும், அவை உடையக்கூடியவை என்பதாலும், தட்டு போன்ற இலக்குகளைப் பெறுவதற்காகத் தூள் பொருளை வெப்ப சம அழுத்த முறைக்கு உட்படுத்த வேண்டும். எனவே, பற்றவைப்பு முறையையும் செப்புப் பின்தகட்டையும் பயன்படுத்தி ஒருங்கிணைத்து, பின்னர் அவற்றை இலக்கு அடித்தளத்தில் பொருத்த வேண்டியது அவசியமாகிறது. உலோகக் குழாய்கள் தவிர, துருப்பிடிக்காத எஃகுக் குழாய்களின் மேற்பரப்பில் Si, Cr போன்ற பூசப்பட வேண்டிய பல்வேறு பொருட்களைத் தெளிப்பதன் மூலமும் தூண் வடிவ இலக்குகளை உருவாக்கலாம்.
தற்போது, தொழில்துறை உற்பத்தியில் பூச்சுப் பணிகளுக்கான உருளை வடிவ இலக்குகளின் விகிதம் அதிகரித்து வருகிறது. உருளை வடிவ இலக்குகள் செங்குத்துப் பூச்சு இயந்திரத்தில் மட்டுமல்லாமல், ரோல்-டு-ரோல் பூச்சு இயந்திரத்திலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சமீபத்திய ஆண்டுகளில், தட்டையான இரட்டை இலக்குகள் படிப்படியாக உருளை வடிவ இரட்டை இலக்குகளால் மாற்றப்பட்டு வருகின்றன.
இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா டெக்னாலஜி என்ற நிறுவனத்தால் வெளியிடப்பட்டது.ஒளியியல் பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
பதிவிட்ட நேரம்: மே-11-2023