1) Target silinder mibanda tingkat panggunaan anu langkung luhur tibatan target planar. Dina prosés palapis, boh éta target sputtering silinder tipe magnét puteran atanapi tabung puteran, sadaya bagian permukaan tabung target terus-terusan ngaliwat daérah sputtering anu dihasilkeun di payuneun magnet permanén pikeun nampi sputtering katoda, sareng target tiasa diukir sacara seragam, sareng tingkat panggunaan target luhur. Tingkat panggunaan bahan target sakitar 80% ~ 90%.
2) Target silinder moal gampang ngahasilkeun "karacunan target". Salila prosés palapis, permukaan tabung target sok disembur sareng diukir ku ion, sareng henteu gampang ngumpulkeun oksida kandel sareng pilem insulasi sanésna dina permukaan, sareng henteu gampang ngahasilkeun "karacunan target".
3) Struktur target sputtering silinder tipe tabung target puteran saderhana sareng gampang dipasang.
4) Bahan tabung target silinder mibanda rupa-rupa jinis. target planar kalayan pendinginan cai langsung target logam, sareng sababaraha henteu tiasa diolah sareng dibentuk target silinder, sapertos target In2-SnO2, jsb. kalayan bahan bubuk pikeun mencét isostatik panas pikeun kéngingkeun target sapertos pelat, sabab ukuranana henteu tiasa didamel ageung, sareng rapuh, janten perlu nganggo metode brazing sareng backplate tambaga pikeun ngahijikeun teras dipasang dina dasar target. Salian ti pipa logam, target kolom ogé tiasa disemprot dina permukaan pipa stainless steel kalayan rupa-rupa bahan anu kedah dilapis, sapertos Si, Cr, jsb.
Ayeuna, proporsi target silinder pikeun palapis dina produksi industri beuki ningkat. Target silinder henteu ngan ukur dianggo pikeun mesin palapis vertikal tapi ogé dianggo dina mesin palapis roll to roll. Dina sababaraha taun ka pengker, target planar twin laun-laun diganti ku target Cylindrical twin.
——Tulisan ieu dipedalkeun ku Guangdong Zhenhua Technology, hijiprodusén mesin palapis optik.
Waktos posting: 11 Méi-2023