Cov txiaj ntsig ntawm cov hom phiaj cylindrical

1) Cov hom phiaj cylindrical muaj kev siv ntau dua li cov hom phiaj planar. Hauv cov txheej txheem txheej, txawm tias nws yog hom rotary magnetic lossis hom rotary tube cylindrical sputtering target, txhua qhov ntawm qhov chaw ntawm lub raj xa dej txuas ntxiv mus dhau thaj chaw sputtering tsim nyob rau hauv pem hauv ntej ntawm lub hlau nplaum tas mus li kom tau txais cathode sputtering, thiab lub hom phiaj tuaj yeem sib npaug sputtered etched, thiab lub hom phiaj siv tus nqi siab. Tus nqi siv ntawm cov khoom siv hom phiaj yog li 80% ~ 90%.

2) Cov hom phiaj cylindrical yuav tsis yooj yim los tsim "lub hom phiaj lom". Thaum lub sijhawm txheej txheem, qhov chaw ntawm lub raj xa dej yeej ib txwm sputtered thiab etched los ntawm ions, thiab nws tsis yooj yim rau khaws cov oxides tuab thiab lwm cov yeeb yaj kiab insulating rau ntawm qhov chaw, thiab nws tsis yooj yim los tsim "lub hom phiaj lom".

3) Cov qauv ntawm lub hom phiaj rotary tube hom cylindrical sputtering target yog yooj yim thiab yooj yim rau kev teeb tsa.

4) Cov khoom siv raj cylindrical muaj ntau hom. lub hom phiaj planar nrog lub hom phiaj hlau txias ncaj qha, thiab qee qhov tsis tuaj yeem ua tiav thiab tsim cov hom phiaj cylindrical, xws li In2-SnO2 lub hom phiaj, thiab lwm yam nrog cov khoom siv hmoov rau kev nias isostatic kub kom tau txais cov hom phiaj zoo li phaj, vim tias qhov loj me tsis tuaj yeem ua rau loj, thiab brittle, yog li nws yog qhov tsim nyog los siv txoj kev brazing thiab tooj liab backplate los koom ua ke thiab tom qab ntawd ntsia rau ntawm lub hauv paus hom phiaj. Ntxiv nrog rau cov kav hlau, cov hom phiaj columnar kuj tseem tuaj yeem txau rau ntawm qhov chaw ntawm cov kav hlau stainless nrog ntau yam khoom siv uas xav tau coated, xws li Si, Cr, thiab lwm yam.

Tam sim no, feem pua ​​ntawm cov hom phiaj cylindrical rau kev txheej hauv kev tsim khoom lag luam tab tom nce ntxiv. Cov hom phiaj cylindrical tsis yog siv rau lub tshuab txheej ntsug xwb tab sis kuj siv rau hauv lub tshuab txheej dov mus rau dov. Nyob rau hauv xyoo tas los no, cov hom phiaj planar twin maj mam hloov los ntawm cov hom phiaj cylindrical twin.

—— Tsab xov xwm no tau tshaj tawm los ntawm Guangdong Zhenhua Technology, ib qhoChaw tsim khoom ntawm cov tshuab txheej kho qhov muag.