1) Mas taas ang utilization rate sa mga cylindrical target kaysa planar target. Sa proseso sa coating, rotary magnetic type man o rotary tube type cylindrical sputtering target, ang tanang bahin sa nawong sa target tube padayon nga moagi sa sputtering area nga namugna atubangan sa permanent magnet aron makadawat og cathode sputtering, ug ang target mahimong uniformly sputtering etched, ug taas ang target utilization rate. Ang utilization rate sa mga target materials kay mga 80%~90%.
2) Ang mga cylindrical target dili sayon nga makahimo og "target poisoning". Atol sa proseso sa pag-coat, ang nawong sa target tube kanunay nga nag-sputter ug nag-etch sa mga ions, ug dili sayon ang pagtapok sa baga nga mga oxide ug uban pang insulating film sa ibabaw, ug dili sayon ang paghimo og "target poisoning".
3) Ang istruktura sa rotary target tube type cylindrical sputtering target kay simple ug dali ra i-install.
4) Ang cylindrical target tube material adunay lain-laing klase. Ang planar target nga adunay metal target nga direktang gipabugnaw sa tubig, ug ang uban dili maproseso ug maporma nga cylindrical target, sama sa In2-SnO2 target, ug uban pa. Ang powder material gigamit sa init nga isostatic pressing aron makakuha og plate-like targets, tungod kay ang gidak-on dili mahimong dako ug dali mabuak, busa kinahanglan gamiton ang brazing method ug copper backplate aron i-integrate ug dayon i-install sa target base. Gawas pa sa metal pipes, ang columnar targets mahimo usab nga i-spray sa ibabaw sa stainless steel pipes nga adunay lain-laing materyales nga kinahanglan nga i-coat, sama sa Si, Cr, ug uban pa.
Sa pagkakaron, ang proporsyon sa mga cylindrical target para sa coating sa industriyal nga produksiyon nagkadaghan. Ang mga cylindrical target dili lang gigamit para sa vertical coating machine apan gigamit usab sa roll to roll coating machine. Sa bag-ohay nga mga tuig, ang mga planar twin target hinay-hinay nga gipulihan sa mga Cylindrical twin target.
——Kini nga artikulo gipagawas sa Guangdong Zhenhua Technology, usa katiggama sa mga makina sa optical coating.
Oras sa pag-post: Mayo-11-2023