१) सपाट लक्ष्यांपेक्षा दंडगोलाकार लक्ष्यांचा उपयोगिता दर जास्त असतो. कोटिंग प्रक्रियेमध्ये, मग ते रोटरी मॅग्नेटिक प्रकारचे असो किंवा रोटरी ट्यूब प्रकारचे दंडगोलाकार स्पटरिंग लक्ष्य असो, लक्ष्याच्या ट्यूबच्या पृष्ठभागाचे सर्व भाग कायमस्वरूपी चुंबकासमोर तयार झालेल्या स्पटरिंग क्षेत्रातून सतत जातात आणि कॅथोड स्पटरिंग प्राप्त करतात, ज्यामुळे लक्ष्यावर एकसमान स्पटरिंग एचिंग होते आणि लक्ष्याचा उपयोगिता दर जास्त असतो. लक्ष्याच्या सामग्रीचा उपयोगिता दर सुमारे ८०% ते ९०% असतो.
२) दंडगोलाकार लक्ष्यांमध्ये ‘लक्ष्य विषबाधा’ (टार्गेट पॉइझनिंग) सहजपणे होत नाही. लेपन प्रक्रियेदरम्यान, लक्ष्य नळीच्या पृष्ठभागावर आयनांद्वारे सतत स्पटरिंग आणि एचिंग केले जाते, त्यामुळे पृष्ठभागावर जाड ऑक्साईड आणि इतर विद्युतरोधक थर जमा होणे सोपे नसते आणि ‘लक्ष्य विषबाधा’ होणेही सोपे नसते.
३) रोटरी टार्गेट ट्यूब प्रकारच्या दंडगोलाकार स्पटरिंग टार्गेटची रचना साधी असून ते स्थापित करणे सोपे आहे.
४) दंडगोलाकार लक्ष्य नळीच्या सामग्रीचे विविध प्रकार आहेत. धातूच्या लक्ष्यासह सपाट लक्ष्य थेट पाण्याने थंड केले जाते, आणि काही लक्ष्यांवर प्रक्रिया करून दंडगोलाकार आकार देता येत नाही, जसे की In2-SnO2 लक्ष्य, इत्यादी. हे लक्ष्य चूर्ण सामग्रीवर उष्ण समस्थितिक दाब देऊन प्लेटसारखे बनवले जातात, कारण त्यांचा आकार मोठा करता येत नाही आणि ते ठिसूळ असतात. त्यामुळे, त्यांना जोडण्यासाठी आणि नंतर लक्ष्याच्या बेसवर बसवण्यासाठी ब्राझिंग पद्धत आणि तांब्याची बॅकप्लेट वापरणे आवश्यक असते. धातूच्या नळ्यांव्यतिरिक्त, स्तंभाकार लक्ष्यांसाठी स्टेनलेस स्टीलच्या नळ्यांवर Si, Cr, इत्यादींसारख्या विविध आवश्यक सामग्रीचा लेप देखील फवारला जाऊ शकतो.
सध्या, औद्योगिक उत्पादनात कोटिंगसाठी वापरल्या जाणाऱ्या दंडगोलाकार टार्गेट्सचे प्रमाण वाढत आहे. दंडगोलाकार टार्गेट्सचा उपयोग केवळ व्हर्टिकल कोटिंग मशीनमध्येच नाही, तर रोल-टू-रोल कोटिंग मशीनमध्येही होतो. अलिकडच्या वर्षांत, प्लेनर ट्विन टार्गेट्सची जागा हळूहळू दंडगोलाकार ट्विन टार्गेट्स घेत आहेत.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नॉलॉजीने प्रसिद्ध केला आहे,ऑप्टिकल कोटिंग मशीनचे उत्पादक.
पोस्ट करण्याची वेळ: ११ मे २०२३