1) Alvos cilíndricos apresentam uma taxa de utilização maior do que alvos planos. No processo de revestimento, seja um alvo cilíndrico de pulverização catódica do tipo magnético rotativo ou do tipo tubular rotativo, toda a superfície do tubo alvo passa continuamente pela área de pulverização gerada em frente ao ímã permanente para receber a pulverização catódica. O alvo é pulverizado e gravado uniformemente, resultando em uma alta taxa de utilização, que gira em torno de 80% a 90%.
2) Alvos cilíndricos não produzem facilmente "envenenamento do alvo". Durante o processo de revestimento, a superfície do tubo alvo é constantemente pulverizada e gravada por íons, e não é fácil acumular óxidos espessos e outras películas isolantes na superfície, e não é fácil produzir "envenenamento do alvo".
3) A estrutura do alvo cilíndrico de pulverização catódica do tipo tubo rotativo é simples e fácil de instalar.
4) O material do tubo alvo cilíndrico apresenta diversos tipos. Alvos planos com alvo metálico são resfriados diretamente a água, enquanto outros não podem ser processados e moldados em formato cilíndrico, como o alvo de In2-SnO2, etc. Alvos em formato de placa são obtidos com material em pó prensado isostaticamente a quente, porém, devido às limitações de tamanho e fragilidade, necessitam de brasagem e placa de cobre para integração antes da instalação na base do alvo. Além de tubos metálicos, alvos cilíndricos também podem ser produzidos com revestimento superficial de diversos materiais, como Si, Cr, etc., em tubos de aço inoxidável.
Atualmente, a proporção de alvos cilíndricos para revestimento na produção industrial está aumentando. Os alvos cilíndricos são utilizados não apenas em máquinas de revestimento vertical, mas também em máquinas de revestimento rolo a rolo. Nos últimos anos, os alvos gêmeos planos estão sendo gradualmente substituídos pelos alvos gêmeos cilíndricos.
——Este artigo foi publicado pela Guangdong Zhenhua Technology, umafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Data da publicação: 11 de maio de 2023