1) Los blancos cilíndricos tienen una tasa de utilización mayor que los blancos planos. En el proceso de recubrimiento, ya sea un blanco de pulverización cilíndrico de tipo magnético rotatorio o de tipo tubular rotatorio, toda la superficie del tubo del blanco pasa continuamente a través del área de pulverización generada frente al imán permanente para recibir la pulverización catódica, y el blanco puede ser grabado por pulverización uniforme, con una alta tasa de utilización del blanco. La tasa de utilización de los materiales del blanco es de aproximadamente 80 % a 90 %.
2) Los blancos cilíndricos no son propensos a la "contaminación del blanco". Durante el proceso de recubrimiento, la superficie del tubo del blanco se pulveriza y graba mediante iones, lo que dificulta la acumulación de óxidos gruesos y otras películas aislantes en la superficie, evitando así la contaminación del blanco.
3) La estructura del blanco de pulverización cilíndrico de tipo tubo giratorio es simple y fácil de instalar.
4) El material del tubo objetivo cilíndrico tiene varios tipos. Objetivo plano con objetivo metálico de refrigeración directa por agua, y algunos no se pueden procesar y formar objetivos cilíndricos, como el objetivo In2-SnO2, etc. con material en polvo para prensado isostático en caliente para obtener objetivos en forma de placa, porque el tamaño no se puede hacer grande y es frágil, por lo que es necesario utilizar el método de soldadura fuerte y placa de respaldo de cobre para integrar y luego instalar en la base del objetivo. Además de los tubos metálicos, los objetivos columnares también se pueden rociar en la superficie de tubos de acero inoxidable con varios materiales que necesitan ser recubiertos, como Si, Cr, etc.
Actualmente, la proporción de objetivos cilíndricos para recubrimiento en la producción industrial está en aumento. Estos objetivos no solo se utilizan en máquinas de recubrimiento vertical, sino también en máquinas de recubrimiento rollo a rollo. En los últimos años, los objetivos gemelos planos han sido reemplazados gradualmente por objetivos gemelos cilíndricos.
—Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua Technology, unafabricante de máquinas de recubrimiento óptico.
Fecha de publicación: 11 de mayo de 2023