1) Silindirik hedeflerin kullanım oranı düzlemsel hedeflere göre daha yüksektir. Kaplama işleminde, ister döner manyetik tip ister döner tüp tipi silindirik püskürtme hedefi olsun, hedef tüpünün yüzeyinin tüm kısımları, kalıcı mıknatısın önünde oluşturulan püskürtme alanından sürekli olarak geçerek katot püskürtmesine maruz kalır ve hedef homojen bir şekilde püskürtülerek aşındırılabilir, böylece hedef kullanım oranı yüksektir. Hedef malzemelerin kullanım oranı yaklaşık %80~%90'dır.
2) Silindirik hedeflerde "hedef zehirlenmesi" oluşması kolay değildir. Kaplama işlemi sırasında, hedef tüpün yüzeyi sürekli olarak iyonlar tarafından püskürtülür ve aşındırılır; bu nedenle yüzeyde kalın oksitler ve diğer yalıtım filmlerinin birikmesi ve "hedef zehirlenmesi" oluşması kolay değildir.
3) Döner hedef tüp tipi silindirik püskürtme hedefinin yapısı basittir ve kurulumu kolaydır.
4) Silindirik hedef tüp malzemesi çeşitli tiplerdedir. Düzlemsel metal hedef, doğrudan su soğutmalı olabilir ve bazıları işlenemez ve silindirik hedef haline getirilemez, örneğin In2-SnO2 hedefi vb. Toz malzemeden sıcak izostatik presleme ile plaka benzeri hedefler elde edilir, ancak boyutları büyük yapılamaz ve kırılgandır, bu nedenle lehimleme yöntemi ve bakır arka plaka kullanılarak entegre edilip hedef tabanına monte edilmesi gerekir. Metal boruların yanı sıra, Si, Cr vb. gibi kaplanması gereken çeşitli malzemelerle paslanmaz çelik boruların yüzeyine püskürtülerek de sütun şeklinde hedefler oluşturulabilir.
Günümüzde endüstriyel üretimde silindirik kaplama hedeflerinin oranı artmaktadır. Silindirik kaplama hedefleri sadece dikey kaplama makinelerinde değil, rulo-rulo kaplama makinelerinde de kullanılmaktadır. Son yıllarda, düzlemsel ikiz kaplama hedefleri kademeli olarak silindirik ikiz kaplama hedefleriyle değiştirilmektedir.
—Bu makale Guangdong Zhenhua Teknoloji tarafından yayınlanmıştır.optik kaplama makineleri üreticisi.
Yayın tarihi: 11 Mayıs 2023