1) बेलनाकार लक्ष्यों की उपयोगिता दर समतल लक्ष्यों की तुलना में अधिक होती है। कोटिंग प्रक्रिया में, चाहे वह घूर्णी चुंबकीय प्रकार का हो या घूर्णी ट्यूब प्रकार का बेलनाकार स्पटरिंग लक्ष्य हो, लक्ष्य ट्यूब की सतह के सभी भाग स्थायी चुंबक के सामने उत्पन्न स्पटरिंग क्षेत्र से निरंतर गुजरते हैं और कैथोड स्पटरिंग प्राप्त करते हैं, जिससे लक्ष्य पर समान रूप से स्पटरिंग द्वारा नक्काशी की जा सकती है और लक्ष्य की उपयोगिता दर उच्च होती है। लक्ष्य सामग्री की उपयोगिता दर लगभग 80% से 90% तक होती है।
2) बेलनाकार लक्ष्यों में "लक्ष्य विषाक्तता" उत्पन्न होने की संभावना कम होती है। कोटिंग प्रक्रिया के दौरान, लक्ष्य ट्यूब की सतह पर आयनों द्वारा लगातार स्पटरिंग और एचिंग की जाती है, जिससे सतह पर मोटी ऑक्साइड और अन्य इन्सुलेटिंग परतें जमा नहीं होती हैं और "लक्ष्य विषाक्तता" उत्पन्न होने की संभावना भी कम हो जाती है।
3) रोटरी टारगेट ट्यूब प्रकार के बेलनाकार स्पटरिंग टारगेट की संरचना सरल है और इसे स्थापित करना आसान है।
4) बेलनाकार लक्ष्य ट्यूब सामग्री कई प्रकार की होती है। समतल लक्ष्य धातु लक्ष्य होते हैं जिन्हें सीधे जल शीतलन द्वारा ठंडा किया जाता है, और कुछ ऐसे लक्ष्य होते हैं जिन्हें बेलनाकार रूप में संसाधित और आकार नहीं दिया जा सकता है, जैसे कि In2-SnO2 लक्ष्य, आदि। पाउडर सामग्री से गर्म आइसोस्टैटिक प्रेसिंग द्वारा प्लेट जैसे लक्ष्य प्राप्त किए जाते हैं, क्योंकि इनका आकार बड़ा नहीं बनाया जा सकता और ये भंगुर होते हैं, इसलिए इन्हें जोड़ने और लक्ष्य आधार पर स्थापित करने के लिए ब्रेज़िंग विधि और तांबे की बैकप्लेट का उपयोग करना आवश्यक है। धातु पाइपों के अलावा, स्तंभकार लक्ष्यों को स्टेनलेस स्टील पाइपों की सतह पर भी विभिन्न सामग्रियों, जैसे Si, Cr, आदि के साथ लेपित किया जा सकता है।
वर्तमान में, औद्योगिक उत्पादन में कोटिंग के लिए बेलनाकार लक्ष्यों का अनुपात बढ़ रहा है। बेलनाकार लक्ष्य न केवल ऊर्ध्वाधर कोटिंग मशीन में उपयोग किए जाते हैं, बल्कि रोल-टू-रोल कोटिंग मशीन में भी उपयोग किए जाते हैं। हाल के वर्षों में, समतल दोहरे लक्ष्यों को धीरे-धीरे बेलनाकार दोहरे लक्ष्यों द्वारा प्रतिस्थापित किया जा रहा है।
यह लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ टेक्नोलॉजी द्वारा प्रकाशित किया गया था।ऑप्टिकल कोटिंग मशीनों का निर्माता.
पोस्ट करने का समय: 11 मई 2023