1) I target cilindrici hanno un tasso di utilizzo più elevato rispetto ai target planari. Nel processo di rivestimento, sia che si tratti di un target di sputtering cilindrico di tipo magnetico rotante o di tipo a tubo rotante, tutte le parti della superficie del tubo target passano continuamente attraverso l'area di sputtering generata di fronte al magnete permanente per ricevere lo sputtering catodico, e il target può essere inciso uniformemente per sputtering, con un elevato tasso di utilizzo del target. Il tasso di utilizzo dei materiali del target è di circa l'80%~90%.
2) I bersagli cilindrici non sono soggetti a "avvelenamento del bersaglio". Durante il processo di rivestimento, la superficie del tubo bersaglio viene sempre sottoposta a sputtering e incisione ionica, e non si accumulano facilmente spessi strati di ossidi e altri film isolanti sulla superficie, né si verifica facilmente "avvelenamento del bersaglio".
3) La struttura del bersaglio cilindrico per sputtering a tubo rotante è semplice e facile da installare.
4) Il materiale del tubo bersaglio cilindrico è di vario tipo. Bersagli planari con raffreddamento diretto ad acqua per bersagli metallici, e alcuni non possono essere lavorati e formati bersagli cilindrici, come il bersaglio In2-SnO2, ecc. con materiale in polvere per pressatura isostatica a caldo per ottenere bersagli a forma di piastra, poiché le dimensioni non possono essere realizzate in grande e sono fragili, quindi è necessario utilizzare il metodo di brasatura e una piastra posteriore in rame per integrarli e quindi installarli sulla base del bersaglio. Oltre ai tubi metallici, i bersagli colonnari possono anche essere spruzzati sulla superficie di tubi in acciaio inossidabile con vari materiali che necessitano di essere rivestiti, come Si, Cr, ecc.
Attualmente, la percentuale di target cilindrici per la verniciatura nella produzione industriale è in aumento. I target cilindrici non vengono utilizzati solo nelle macchine di verniciatura verticali, ma anche nelle macchine di verniciatura roll-to-roll. Negli ultimi anni, i target doppi planari sono stati gradualmente sostituiti dai target doppi cilindrici.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, unproduttore di macchine per rivestimenti ottici.
Data di pubblicazione: 11 maggio 2023