1) Les cibles cylindriques présentent un taux d'utilisation supérieur aux cibles planes. Lors du procédé de revêtement, qu'il s'agisse d'une cible cylindrique à pulvérisation cathodique magnétique rotative ou tubulaire rotative, toute la surface du tube cible traverse en continu la zone de pulvérisation générée devant l'aimant permanent pour recevoir la pulvérisation cathodique. La cible est ainsi gravée uniformément, ce qui garantit un taux d'utilisation élevé, de l'ordre de 80 à 90 %.
2) Les cibles cylindriques ne sont pas sujettes à l'« empoisonnement de la cible ». Lors du processus de revêtement, la surface du tube cible est constamment pulvérisée et gravée par des ions, ce qui empêche l'accumulation d'oxydes épais et d'autres films isolants et, par conséquent, le risque d'« empoisonnement de la cible ».
3) La structure de la cible de pulvérisation cylindrique de type tube cible rotatif est simple et facile à installer.
4) Les matériaux utilisés pour les tubes cibles cylindriques sont variés. On trouve des cibles planes en métal refroidies directement à l'eau, ainsi que des cibles cylindriques non usinables, comme les cibles en In₂-SnO₂. Les cibles en poudre sont obtenues par pressage isostatique à chaud pour former des plaques. Cependant, leur taille réduite et leur fragilité nécessitent un brasage et l'utilisation d'une plaque de cuivre pour leur intégration sur le support. Outre les tubes métalliques, il est également possible de réaliser des cibles cylindriques en pulvérisant divers matériaux (Si, Cr, etc.) sur des tubes en acier inoxydable.
Actuellement, la part des cibles cylindriques pour le revêtement dans la production industrielle est en augmentation. Ces cibles sont utilisées non seulement dans les machines de revêtement verticales, mais aussi dans les machines de revêtement continu. Ces dernières années, les cibles planes jumelées ont progressivement été remplacées par des cibles cylindriques jumelées.
Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, une entreprise de technologie de pointe.fabricant de machines de revêtement optique.
Date de publication : 11 mai 2023