1) Target silinder nduweni tingkat pemanfaatan sing luwih dhuwur tinimbang target planar. Ing proses pelapisan, apa iku target sputtering silinder tipe magnetik putar utawa tabung putar, kabeh bagean permukaan tabung target terus-terusan ngliwati area sputtering sing diasilake ing ngarep magnet permanen kanggo nampa sputtering katoda, lan target bisa diukir kanthi seragam, lan tingkat pemanfaatan target dhuwur. Tingkat pemanfaatan bahan target udakara 80% ~ 90%.
2) Target silinder ora gampang ngasilake "keracunan target". Sajrone proses pelapisan, permukaan tabung target mesthi kebak lan diukir dening ion, lan ora gampang nglumpukake oksida kandel lan film insulasi liyane ing permukaan, lan ora gampang ngasilake "keracunan target".
3) Struktur target sputtering silinder jinis tabung target rotary iku prasaja lan gampang dipasang.
4) Bahan tabung target silinder duwé maneka warna jinis. target planar nganggo pendinginan banyu langsung target logam, lan sawetara ora bisa diproses lan dibentuk target silinder, kayata target In2-SnO2, lan liya-liyane nganggo bahan bubuk kanggo pengepresan isostatik panas kanggo entuk target kaya pelat, amarga ukurane ora bisa digawe gedhe, lan rapuh, mula perlu nggunakake metode brazing lan backplate tembaga kanggo diintegrasi banjur dipasang ing basis target. Saliyane pipa logam, target kolom uga bisa disemprotake ing permukaan pipa stainless steel nganggo maneka warna bahan sing kudu dilapisi, kayata Si, Cr, lan liya-liyane.
Saiki, proporsi target silinder kanggo lapisan ing produksi industri saya tambah. Target silinder ora mung digunakake kanggo mesin lapisan vertikal nanging uga digunakake ing mesin lapisan roll to roll. Ing taun-taun pungkasan, target kembar planar mboko sithik diganti karo target kembar Silinder.
——Artikel iki dirilis dening Guangdong Zhenhua Technology, sawijiningprodusen mesin lapisan optik.
Wektu kiriman: 11 Mei 2023